z|ves&lRa 内容简介
]}Pl%. Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
ezp<@'0ZT 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
Bi]D{m9 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
81Z4>F: U.: sK* 讯技科技股份有限公司
Bwjg#1 E 2015年9月3日
osl=[pm 目录
0pD
W _ Preface 1
)8;{nqoC 内容简介 2
/Zc#j^_ 目录 i
kLJlS,nh\r 1 引言 1
v"rl5x 2 光学薄膜基础 2
3[VWTq)D= 2.1 一般规则 2
J' W}7r 2.2 正交入射规则 3
XdpF&B&K7Q 2.3 斜入射规则 6
:/B:FY= 2.4 精确计算 7
Q uB+vL 2.5 相干性 8
~z5@V5z 2.6 参考文献 10
=yo{[&Jz 3 Essential Macleod的快速预览 10
RU6KIg{H 4 Essential Macleod的特点 32
[g#s&bF 4.1 容量和局限性 33
[OzzL\)3l 4.2 程序在哪里? 33
lzEb5mg 4.3 数据文件 35
lWbZ=x_0 4.4 设计规则 35
NCi>S%pD`< 4.5 材料数据库和
资料库 37
&&WDo(r3 4.5.1材料损失 38
r@iASITX 4.5.1材料数据库和导入材料 39
x=.tiM {# 4.5.2 材料库 41
8W;2oQN7 4.5.3导出材料数据 43
}qAVN 4.6 常用单位 43
`fz,Lh*v 4.7 插值和外推法 46
ym\(PCa5` 4.8 材料数据的平滑 50
c5("-xB 4.9 更多光学常数模型 54
),=@q+{E{ 4.10 文档的一般编辑规则 55
oU8>Llt=$ 4.11 撤销和重做 56
JkU1daTe 4.12 设计文档 57
{b1UX9y 4.10.1 公式 58
&1_U1 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
nd:E9: 4.10.3 沉积密度 59
Vv8_\^g] 4.10.4 平行和楔形介质 60
X8b|]Nr 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
]*3:DU 4.10.4 性能 61
2U}m RgJu 4.10.5 保存设计和性能 64
# ORO&78 4.10.6 默认设计 64
nLj&Uf& 4.11 图表 64
"b]#MO}P 4.11.1 合并曲线图 67
cD2+hp|9 4.11.2 自适应绘制 68
]dG\j^e| 4.11.3 动态绘图 68
:I
\9YzSs@ 4.11.4 3D绘图 69
y])).p P 4.12 导入和导出 73
\vCGU>UY 4.12.1 剪贴板 73
h*3{6X#(/ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
;#&fgj 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
4PWAGuN^ 4.13 背景 77
JO=1ivZl 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
=1Z;Ma<; 4.15 生成Rugate 84
` H
XEZ| 4.16 参考文献 91
Ly7!R$X 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
8gC)5Y 5.1 Jobs 92
OR4!YVVQ 5.2 创建一个新Job(工作) 93
'eyJS`
5.3 输入材料 94
pjwaL^ 5.4 设计数据文件夹 95
EB!daZH, 5.5 默认设计 95
[
]^X`R 6 细化和合成 97
KzphNHd 6.1 优化介绍 97
*V1J4 u 6.2 细化 (Refinement) 98
=X-Tcj?3g 6.3 合成 (Synthesis) 100
yfEb
6.4 目标和评价函数 101
nWJ:=JQ i" 6.4.1 目标输入 102
$*\L4<( 6.4.2 目标 103
f<<rTE6 6.4.3 特殊的评价函数 104
gsPl _ 6.5 层锁定和连接 104
mI7~c;~ 6.6 细化技术 104
\?Mf _ 6.6.1 单纯形 105
-.iNNM&a 6.6.1.1 单纯形
参数 106
uP@\#/4u 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
bA@P}M)X 6.6.2.1 Optimac参数 108
P`jL]x 6.6.3 模拟退火算法 109
uLk]LT 6.6.3.1
模拟退火参数 109
aDL*W@1S 6.6.4 共轭梯度 111
l-Nly>~ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
y&oNv
xG- 6.6.5 拟牛顿法 112
9o0!m Cq 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
KrcgIB8X 6.6.6 针合成 113
B$vr'U
6.6.6.1 针合成参数 114
XiQkrZ 6.6.7 差分进化 114
Tycq1i^ 6.6.8非局部细化 115
syPWs57pH 6.6.8.1非局部细化参数 115
yGj.)$1},@ 6.7 我应该使用哪种技术? 116
iY0>lDFm. 6.7.1 细化 116
DC Q^fZ/ 6.7.2 合成 117
qAY%nA>jO 6.8 参考文献 117
'dJ/RJ~ 7 导纳图及其他工具 118
A8DFm{})c 7.1 简介 118
fuX'~$b.fA 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
"D][e' 7.2.1 四分之一
波长规则 119
&dR=?bz-A 7.2.2 导纳图 120
r$(~j^<s 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
:I1_X 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
p
fT60W[m 7.5 斜入射导纳图 141
H'= (` 7.6 对称周期 141
l= }~v 7.7 参考文献 142
p$E8Bn%[ 8 典型的镀膜实例 143
YB,t0%vTJw 8.1 单层抗反射薄膜 145
~1kXUWq3 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
+&|S'7&{ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
q|.dez' 8.4 W-膜层 148
D@oCP =m< 8.5 V-膜层 149
'h1b1,b~
8.6 V-膜层高折射基底 150
:5fAPK2r< 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
mXzrEI 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
ArK]0$T 8.9 四层抗反射薄膜 153
)|bC^{kH!l 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
z=7|{ G 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
'gso'&Uaj 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
ut2~rRiK 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
G?c-79]U 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
k1
-~ 8.15十五层宽带抗反射膜 159
qe$^q 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
#z'uRHx%=0 8.17 1/4波长堆栈 162
3)=c]@N0 8.18 陷波滤波器 163
%G3(,Qz 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
I5m][~6.? 8.20 褶皱 165
.dMVoG5 8.21 消偏振分光器1 169
q'Wr[A40j 8.22 消偏振分光器2 171
BB$oq' 8.23 消偏振立体分光器 172
.L6Zm U 8.24 消偏振截止滤光片 173
bM,1 f/^ 8.25 立体偏振分束器1 174
5ETip'<KT6 8.26 立方偏振分束器2 177
WjSc/3Qy 8.27 相位延迟器 178
jE2}p-2Q0 8.28 红外截止器 179
>Z.\J2wM<j 8.29 21层长波带通滤波器 180
*l&S-=] 8.30 49层长波带通滤波器 181
hr05L<?H 8.31 55层短波带通滤波器 182
kzn[
=P 8.32 47 红外截止器 183
Z;l`YK^- 8.33 宽带通滤波器 184
*hLQ 8.34 诱导透射滤波器 186
"KX=ow#z| 8.35 诱导透射滤波器2 188
@%ip7Y]e 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
tCG76LH 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
mEyK1h1G@ 8.35 增益平坦滤波器 193
LUX*P7*B 8.38 啁啾反射镜 1 196
2{Vcb 8.39 啁啾反射镜2 198
T:]L/wCj 8.40 啁啾反射镜3 199
u"1rF^j6k 8.41 带保护层的铝膜层 200
:#k &\f-Y 8.42 增加铝反射率膜 201
B~
S6R
8.43 参考文献 202
Cqii} 9 多层膜 204
q#w8wH" 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
2dp>Z", 9.2 内部透过率 204
YKmsQ(q`N 9.3 内部透射率数据 205
B.r4$:+jb2 9.4 实例 206
uj>WgU 9.5 实例2 210
1NQbl+w#I 9.6 圆锥和带宽计算 212
v3d&*I 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
YOr:sb 10 光学薄膜的颜色 216
7/7Z` 10.1 导言 216
NA3\ 10.2 色彩 216
k3?rp`V1 10.3 主波长和纯度 220
P 3MhU; 10.4 色相和纯度 221
!-`Cp3gqHr 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
zZcnijWb 10.6 色差 226
D:^$4}h
f 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
[/s&K{+c 10.8 颜色渲染指数 234
8r"+bhGx~ 10.9 色差计算 235
~x#w<0e> 10.10 参考文献 236
n1
6 `y} 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
No]~jnqDM 11.1 短脉冲 238
8UC xnf# 11.2 群速度 239
QrO\jAZ{Ag 11.3 群速度色散 241
3(TsgP>` 11.4 啁啾(chirped) 245
akw,P$i 11.5 光学薄膜—相变 245
1I@8A>2^OX 11.6 群延迟和延迟色散 246
}_=eT] 11.7 色度色散 246
)i+2X5B`S 11.8 色散补偿 249
ljl^ GFo 11.9 空间
光线偏移 256
6T 8!xyi-+ 11.10 参考文献 258
W>-Et7&2 12 公差与误差 260
,h"- 12.1 蒙特卡罗模型 260
f&v9Q97= 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
*5 w{8 12.2.1 误差工具 267
qC
F5~;7 12.2.2 灵敏度工具 271
}D+}DPL{^ 12.2.2.1 独立灵敏度 271
CLvX!O(~ 12.2.2.2 灵敏度分布 275
'y8]_K* 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
__mF?m 12.3 参考文献 276
*m?/O}R 13 Runsheet 与Simulator 277
{( r6e 13.1 原理介绍 277
D %Xo&V[ 13.2 截止滤光片设计 277
&0f5:M{P 14 光学常数提取 289
;WR,eI.. 14.1 介绍 289
q,
O$ %-70 14.2 电介质薄膜 289
:y7c k/> 14.3 n 和k 的提取工具 295
:
]C~gc 14.4 基底的参数提取 302
tcxcup% 14.5 金属的参数提取 306
4apL4E"r 14.6 不正确的模型 306
jLg9H/w{ 14.7 参考文献 311
]_N|L|]M 15 反演工程 313
cnTaJ/o 15.1 随机性和
系统性 313
oudxm[/U 15.2 常见的系统性问题 314
@)J+,tg/7 15.3 单层膜 314
U&O:
_>~ 15.4 多层膜 314
L3CP`cx 15.5 含义 319
&b:1I7Cp* 15.6 反演工程实例 319
.W js~0c 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
13taFVdU 15.6.2 反演工程提取折射率 327
v:H$<~)E| 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
#%DE; 16.1 光学性质的热致偏移 329
s[UHe{^T 16.2 应力工具 335
T=ev[ mS 16.3 均匀性误差 339
H%D$(W 16.3.1 圆锥工具 339
UX7t`l2R 16.3.2 波前问题 341
c/sC&i;%O 16.4 参考文献 343
!qG7V:6 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
Y]&j,j& 17.1 引言 345
HTG%t/S 17.2 操作数 345
FSND>\> 18 如何在Function中编写脚本 351
KCs[/] 18.1 简介 351
B_.%i+ZZ 18.2 什么是脚本? 351
;+ "+3 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
yqPdl1{Qr= 18.4 基础 352
]q4rlT.i 18.4.1 Classes(类别) 352
Ofs<EQ 18.4.2 对象 352
wb0L.'jyR) 18.4.3 信息(Messages) 352
z<Nfm 18.4.4 属性 352
_bNzXF 18.4.5 方法 353
q.;u?,|E/ 18.4.6 变量声明 353
GWfL 18.5 创建对象 354
v/ _ 18.5.1 创建对象函数 355
JD|=>) 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
'dn]rV0(C 18.5.3 丢弃对象 356
094o'k 18.5.4 总结 356
W)bLSL]`E 18.6 脚本中的表格 357
?32&]iM
oW 18.6.1 方法1 357
{tWf 18.6.2 方法2 357
V-BiF>+ 18.7 2D Plots in Scripts 358
o2F)%T DY 18.8 3D Plots in Scripts 359
F%RRd/' 18.9 注释 360
{e 14[0U- 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
?{ryGhb ~ 18.11 一个更高级的脚本 362
5?x>9Ca 18.12 <esc>键 364
Qnsi`1mASr 18.13 包含文件 365
[1S|dc>.O% 18.14 脚本被
优化调用 366
F'21jy& 18.15 脚本中的对话框 368
rbWP78 18.15.1 介绍 368
e~=;c 18.15.2 消息框-MsgBox 368
)?anOD[ 18.15.3 输入框函数 370
;>Ib^ov 18.15.4 自定义对话框 371
xA$XT[D 18.15.5 对话框编辑器 371
2fL;-\!y( 18.15.6 控制对话框 377
dl.p\t(1 18.15.7 更高级的对话框 380
,
K~}\CR 18.16 Types语句 384
U2W|:~KM 18.17 打开文件 385
MDn ua 18.18 Bags 387
7fZDsj: 18.13 进一步研究 388
gi1^3R[ 19 vStack 389
[<@.eH$hU/ 19.1 vStack基本原理 389
<eWf< 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
[_EZhq 19.3 五棱镜 393
W:pIPDx1=! 19.4 光束距离 396
(5-FV p
fb 19.5 误差 399
g,!L$,/F 19.6 二向分色棱镜 399
_9F9W{' 19.7 偏振泄漏 404
vg32y /l]S 19.8 波前误差—相位 405
M /"I2m
19.9 其它计算参数 405
rX2.i7i, 20 报表生成器 406
W')Yg5T 20.1 入门 406
n-tgX?1' 20.2 指令(Instructions) 406
N5lDS 20.3 页面布局指令 406
*Q
"wwpl? 20.4 常见的参数图和三维图 407
$Nhs1st*8 20.5 表格中的常见参数 408
p8Qk'F=h 20.6 迭代指令 408
*RJG!t*t 20.7 报表模版 408
n{argI8wF 20.8 开始设计一个报表模版 409
@niHl 21 一个新的project 413
t.i 8
2Q 21.1 创建一个新Job 414
f.KN-f8<F 21.2 默认设计 415
Ng2twfSl$ 21.3 薄膜设计 416
pmyXLT 21.4 误差的灵敏度计算 420
G[uK -U 21.5 显色指数计算 422
h-`? {k&e 21.6 电场分布 424
#lL^?|M 后记 426
P@V0Mi), 有兴趣可以扫码加微咨询
K0|FY=#2y