!!o8N<NU 内容简介
&)oOeRwi]. Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
U8(Nk\"X\ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
#Eb5: ; 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
D13Rx 6b ^V%rag
讯技科技股份有限公司
xTGxvGv8 2015年9月3日
@JW@-9/ 目录
*Y@nVi Preface 1
o!~Jzd.=h 内容简介 2
C4}*)a 目录 i
}y%oT
P&
1 引言 1
!p1qJ [ 2 光学薄膜基础 2
U?!>Nd 2.1 一般规则 2
0 u?{\ 2.2 正交入射规则 3
4tx|=;@0 2.3 斜入射规则 6
apk4j\i?5 2.4 精确计算 7
dik9 >*"|o 2.5 相干性 8
*9p |HX= 2.6 参考文献 10
7n90f2"m 3 Essential Macleod的快速预览 10
{-A^g!jT& 4 Essential Macleod的特点 32
X";@T.ZGut 4.1 容量和局限性 33
%0Y=WYUH> 4.2 程序在哪里? 33
]x&u`$F 4.3 数据文件 35
2r%lA\,h$ 4.4 设计规则 35
jLJ1u/l>; 4.5 材料数据库和
资料库 37
Erk?}E 4.5.1材料损失 38
MC,>pR{ 4.5.1材料数据库和导入材料 39
hd 0'u 4.5.2 材料库 41
MC&\bf 4.5.3导出材料数据 43
Uje|`<X 4.6 常用单位 43
y ?G_y 4.7 插值和外推法 46
>q7BVF6V| 4.8 材料数据的平滑 50
:pRpvhm 4.9 更多光学常数模型 54
Y4IGDY* 4.10 文档的一般编辑规则 55
A6oq.I0 4.11 撤销和重做 56
}KD;0t4 4.12 设计文档 57
L>Mpi$L 4.10.1 公式 58
pN\Vr8tJ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
AfC>Q!-w 4.10.3 沉积密度 59
DKVT(#@T 4.10.4 平行和楔形介质 60
t!K*pM 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
%{;Qls%[t 4.10.4 性能 61
-VZRujl 4.10.5 保存设计和性能 64
wC-Rr^q 4.10.6 默认设计 64
U4G}DCU 4.11 图表 64
3DaQo0N 4.11.1 合并曲线图 67
N S#TW 4.11.2 自适应绘制 68
s6o>m*{ 4.11.3 动态绘图 68
NU(AEfF 4.11.4 3D绘图 69
{J5JYdK 4.12 导入和导出 73
Vpp;\ 4.12.1 剪贴板 73
t\v+ogbk) 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
iBudmT8 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
xug)aE 4.13 背景 77
pG"5!42M! 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
?r_l8 4.15 生成Rugate 84
:D7|%KK 4.16 参考文献 91
'lZ.j& 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
\C5%\4 5.1 Jobs 92
H.G!A6bd 5.2 创建一个新Job(工作) 93
#%@MGrsK 5.3 输入材料 94
AnZclqtb 5.4 设计数据文件夹 95
AOrHU M[I 5.5 默认设计 95
0J~Qq]g 6 细化和合成 97
:c8n[+5 6.1 优化介绍 97
fa.0I~ 6.2 细化 (Refinement) 98
6b~28 6.3 合成 (Synthesis) 100
}1-I[q6 6.4 目标和评价函数 101
3?&h^UX 6.4.1 目标输入 102
F~U!1) 6.4.2 目标 103
F^!mI7Z|(2 6.4.3 特殊的评价函数 104
#=}$OFg 6.5 层锁定和连接 104
M2@^bB\J 6.6 细化技术 104
69#8Z+dw7 6.6.1 单纯形 105
mDFlz1J,e 6.6.1.1 单纯形
参数 106
8&V_$+ U 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
H(Ms^8Vs~: 6.6.2.1 Optimac参数 108
t5
a7DD 6.6.3 模拟退火算法 109
Lv1{k\aw 6.6.3.1
模拟退火参数 109
Eaad,VBtU 6.6.4 共轭梯度 111
Fl>]&x*~ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
^%y`u1ab 6.6.5 拟牛顿法 112
g<\z= H 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
+ E"[ 6.6.6 针合成 113
ezTZnutZ 6.6.6.1 针合成参数 114
*@V*~^V"J[ 6.6.7 差分进化 114
Hoz5 6y 6.6.8非局部细化 115
0=v{RQ;W4 6.6.8.1非局部细化参数 115
z 2/!m[U 6.7 我应该使用哪种技术? 116
;LJ3c7$@lf 6.7.1 细化 116
u~Tg&0V30 6.7.2 合成 117
ZEbLL4n 6.8 参考文献 117
jJwkuh8R 7 导纳图及其他工具 118
}1+%_|Y-E 7.1 简介 118
?TEK=mD#u 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
bdh(WJh% 7.2.1 四分之一
波长规则 119
,ZI\dtl 7.2.2 导纳图 120
Ua*&_~7kJ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
_>bRv+RVR 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
"r.2]R3 7.5 斜入射导纳图 141
^&c$[~W 7.6 对称周期 141
iz}sM>^ 7.7 参考文献 142
MmU%%2QG 8 典型的镀膜实例 143
8
|h9sn;P 8.1 单层抗反射薄膜 145
`{FwTZ=6{ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
KO]N%]:&~ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
|;;!8VO3J 8.4 W-膜层 148
F}ukZ
DB 8.5 V-膜层 149
xQt 3[(Z 8.6 V-膜层高折射基底 150
>R,?hWT 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
YT2'!R
1 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
VTe.M[: 8.9 四层抗反射薄膜 153
I^Qx/uTKw 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
heD,&OX 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
@Hr+/52B 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
V"d=.Hb> 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
Ae|P"^kZ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
dU;upS_- 8.15十五层宽带抗反射膜 159
M/jb}*xDR 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
m =&j@ 8.17 1/4波长堆栈 162
VTh$a_P> 8.18 陷波滤波器 163
lQt% Qx 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
)}X5u%woV 8.20 褶皱 165
Z}cIA87U 8.21 消偏振分光器1 169
rH}fLu8,;Q 8.22 消偏振分光器2 171
P%o44|[][ 8.23 消偏振立体分光器 172
A1JzW)B 8.24 消偏振截止滤光片 173
Mz|L-62 8.25 立体偏振分束器1 174
!
sYf< 8.26 立方偏振分束器2 177
y' tRANxQ 8.27 相位延迟器 178
N
<pbO#e 8.28 红外截止器 179
lpEDPvD_Vm 8.29 21层长波带通滤波器 180
Q&+c.S 8.30 49层长波带通滤波器 181
|6B6?' 8.31 55层短波带通滤波器 182
%RFYm 8.32 47 红外截止器 183
Kd{#r/HZ 8.33 宽带通滤波器 184
ZzL@[g 8.34 诱导透射滤波器 186
WV_`1hZX 8.35 诱导透射滤波器2 188
Lbq_~ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
$j`<SxJ> 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
)W9_qmYd" 8.35 增益平坦滤波器 193
e(\Q)re5Q 8.38 啁啾反射镜 1 196
Yk>8g;< 8.39 啁啾反射镜2 198
ul}'{|4 8.40 啁啾反射镜3 199
b:B[3|
8.41 带保护层的铝膜层 200
c/$*%J< 8.42 增加铝反射率膜 201
t.z$j 8.43 参考文献 202
/>Jm Rdf 9 多层膜 204
+{&+L0DfH~ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
HU[oR4E 9.2 内部透过率 204
4_<
nQ9K 9.3 内部透射率数据 205
u`p_.n:5) 9.4 实例 206
i^S2%qz 9.5 实例2 210
g5TkD~w" 9.6 圆锥和带宽计算 212
}vsO^4Sjc 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
6e:P.HqjA 10 光学薄膜的颜色 216
H0tF 10.1 导言 216
83?1<v0% 10.2 色彩 216
eYDgEM
10.3 主波长和纯度 220
}*-u$=2 10.4 色相和纯度 221
f=oeF]=I" 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
}@*I+\W/ 10.6 色差 226
y$h"ty{g 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
rys<-i( 10.8 颜色渲染指数 234
C*j9Iaj 10.9 色差计算 235
HwW6tQ 10.10 参考文献 236
8}K"IW 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
!Ud:?U 11.1 短脉冲 238
w@-b 11.2 群速度 239
O"QHb|j 11.3 群速度色散 241
CSH`pU 11.4 啁啾(chirped) 245
B$DZ]/< 11.5 光学薄膜—相变 245
l qXc 11.6 群延迟和延迟色散 246
4a 4N
C 11.7 色度色散 246
~1d!hq?/q 11.8 色散补偿 249
THr8o V5 11.9 空间
光线偏移 256
YME[%c2x 11.10 参考文献 258
=?+w)(*0c 12 公差与误差 260
4[(?L{ 12.1 蒙特卡罗模型 260
aYBTrOd z 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
FRS28D 12.2.1 误差工具 267
`;}H% 12.2.2 灵敏度工具 271
-+ko}He
12.2.2.1 独立灵敏度 271
,N0uR@GN 12.2.2.2 灵敏度分布 275
+0U#.|? 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
F1\`l{B,\ 12.3 参考文献 276
O*ImLR)i+s 13 Runsheet 与Simulator 277
:F9q> 13.1 原理介绍 277
uNg'h/^NZ| 13.2 截止滤光片设计 277
Q-jf8A] 14 光学常数提取 289
-3\7vpcdN 14.1 介绍 289
k~R{Y~W!! 14.2 电介质薄膜 289
(>mi!: 14.3 n 和k 的提取工具 295
?'Oj=k"c7 14.4 基底的参数提取 302
g?gqkoI 14.5 金属的参数提取 306
,FY-d$3) 14.6 不正确的模型 306
yz8-&4YRNd 14.7 参考文献 311
quY " 15 反演工程 313
u8^Y,LN 15.1 随机性和
系统性 313
{&0mK"z_ 15.2 常见的系统性问题 314
[jy0@Q9 15.3 单层膜 314
=g >.X9lr 15.4 多层膜 314
]79~:m[C 15.5 含义 319
x'zihDOI 15.6 反演工程实例 319
CJm.K 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
/ =-6:L 15.6.2 反演工程提取折射率 327
wLpkUa 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
p %L1uwLG 16.1 光学性质的热致偏移 329
_HLC>pH~# 16.2 应力工具 335
#n=A)#'my 16.3 均匀性误差 339
pFEZDf}: 16.3.1 圆锥工具 339
YsZ{1W 16.3.2 波前问题 341
5Yn{?r\#F 16.4 参考文献 343
Oy:QkV9 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
wZ$tJQO 17.1 引言 345
pXve02b1B 17.2 操作数 345
eN2dy-0 18 如何在Function中编写脚本 351
C1KfXC*|L 18.1 简介 351
qw5&Y$(( 18.2 什么是脚本? 351
"Wo.8 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
Y~:}l9Qs 18.4 基础 352
OI*ZVD)J 18.4.1 Classes(类别) 352
KS
b(R/T 18.4.2 对象 352
1B6C<cL:sU 18.4.3 信息(Messages) 352
A%h~Z
a 18.4.4 属性 352
;]{{)dst 18.4.5 方法 353
|O57N'/ 18.4.6 变量声明 353
;CA ?eI 18.5 创建对象 354
pF|8OB% 18.5.1 创建对象函数 355
B*y;>q "{U 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
IhUW=1&J 18.5.3 丢弃对象 356
<njIXa{ 18.5.4 总结 356
Cca6L9% 18.6 脚本中的表格 357
K2*1T+?X 18.6.1 方法1 357
Y 5Qb4Sa 18.6.2 方法2 357
a#^_"GX 18.7 2D Plots in Scripts 358
D*CIE\+ 18.8 3D Plots in Scripts 359
JOJh,8C)6 18.9 注释 360
>~h>#{& 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
VPWxHVf 18.11 一个更高级的脚本 362
u/_Gq[Q,u 18.12 <esc>键 364
zwMQXI'k83 18.13 包含文件 365
%I_&Ehu 18.14 脚本被
优化调用 366
~l(G6/R 18.15 脚本中的对话框 368
Lwp-2`% 18.15.1 介绍 368
v>rqOI 18.15.2 消息框-MsgBox 368
be&6kG 18.15.3 输入框函数 370
Rl y jOf{0 18.15.4 自定义对话框 371
)!N2'Ld 18.15.5 对话框编辑器 371
y=-{Q 18.15.6 控制对话框 377
b;Hm\aK 18.15.7 更高级的对话框 380
6 lN?) <uQ 18.16 Types语句 384
l{nB.m2 18.17 打开文件 385
}Vs~RJM)} 18.18 Bags 387
=t@:F 18.13 进一步研究 388
'&RZ3@}+ 19 vStack 389
Dm>T"4B`/ 19.1 vStack基本原理 389
sVE>=0TVP 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
I h5/=_n 19.3 五棱镜 393
iSOD&J_ 19.4 光束距离 396
_u#/u2< 19.5 误差 399
Tf9&,!>V 19.6 二向分色棱镜 399
WH{cJ7wCL 19.7 偏振泄漏 404
'wCS6_K 19.8 波前误差—相位 405
D9}d]9]$ 19.9 其它计算参数 405
!}iLO0 20 报表生成器 406
)o05Vda 20.1 入门 406
"g
x5XW& 20.2 指令(Instructions) 406
6>@(/mh* 20.3 页面布局指令 406
lf?Z{^ 20.4 常见的参数图和三维图 407
:jZ*,d%1={ 20.5 表格中的常见参数 408
$.ymby 20.6 迭代指令 408
db{NKwpj' 20.7 报表模版 408
cFRSd
}p= 20.8 开始设计一个报表模版 409
6$W -? 21 一个新的project 413
2Som0T<2 21.1 创建一个新Job 414
RH<@c^ S 21.2 默认设计 415
p+u{W"I` 21.3 薄膜设计 416
wk-Mu\ 21.4 误差的灵敏度计算 420
{Uik| 21.5 显色指数计算 422
E`oSi
ez) 21.6 电场分布 424
N%|^;4}k 后记 426
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