mh;<lW\K/Z 内容简介
_#xS1sD Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
@'`!2[2'? 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
v
0mc1g+9 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
P.mz$M ,-^Grmr4M 讯技科技股份有限公司
o5KpiibFM 2015年9月3日
1P(rgn:8e 目录
;Ut0tm Preface 1
"']I. 内容简介 2
K5gh7 目录 i
Xwy0dXko 1 引言 1
4hdxqI!y2 2 光学薄膜基础 2
n;8[WR) 2.1 一般规则 2
x>vC;E${" 2.2 正交入射规则 3
|D<J9+ 2.3 斜入射规则 6
j*@^O`^v 2.4 精确计算 7
s^+h> 2.5 相干性 8
4E]w4BG) 2.6 参考文献 10
asqbLtQ 3 Essential Macleod的快速预览 10
r'xZF~}k"~ 4 Essential Macleod的特点 32
Rhh5r0 \5 4.1 容量和局限性 33
f tW- 4.2 程序在哪里? 33
SskvxH+7 4.3 数据文件 35
$,$bZV 4.4 设计规则 35
{]1o($.u 4.5 材料数据库和
资料库 37
_<pSCR0 4.5.1材料损失 38
GJN"43 4.5.1材料数据库和导入材料 39
(c;F%m| 4.5.2 材料库 41
(UWWULV 4.5.3导出材料数据 43
%PozxF: 4.6 常用单位 43
umZy=KHj 4.7 插值和外推法 46
_7es_w}R 4.8 材料数据的平滑 50
a^_\ #,} 4.9 更多光学常数模型 54
eMyh&@7(F 4.10 文档的一般编辑规则 55
&}:'YK*X 4.11 撤销和重做 56
1y@d`k`t: 4.12 设计文档 57
yJ*`OU# 4.10.1 公式 58
d_s=5+Yj 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
+{U0PI82 4.10.3 沉积密度 59
|O3wAxc3W 4.10.4 平行和楔形介质 60
!J`>;& 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
:YaEMQJ^ 4.10.4 性能 61
$SAq/VHI1] 4.10.5 保存设计和性能 64
9IJBK 4.10.6 默认设计 64
o1C1F}gxU 4.11 图表 64
ZXV_Dc 4.11.1 合并曲线图 67
"SC }C 4.11.2 自适应绘制 68
{3n|= 4.11.3 动态绘图 68
!5I;3EN 4.11.4 3D绘图 69
91%QO?hz 4.12 导入和导出 73
,aOi:aaZRT 4.12.1 剪贴板 73
"ee:Z_Sz 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
zOJ4I^^ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
dsck:e5agZ 4.13 背景 77
s2=rj?g&(X 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
buV{O[ 4.15 生成Rugate 84
u#(VR]u\7 4.16 参考文献 91
3!E*h0$} 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
(jb9U k_t 5.1 Jobs 92
`-@8IZ7 5.2 创建一个新Job(工作) 93
v?Dc3 5.3 输入材料 94
)e&U'Fx 5.4 设计数据文件夹 95
vbEAd)*S 5.5 默认设计 95
!p$HS0c 6 细化和合成 97
8~*<s5H 6.1 优化介绍 97
u5D@,wSNz 6.2 细化 (Refinement) 98
dH:z_$Mg 6.3 合成 (Synthesis) 100
k1Z"Qmz 6.4 目标和评价函数 101
@BQJKPF* 6.4.1 目标输入 102
2ZTz{|y 6.4.2 目标 103
.\Gl)W 6.4.3 特殊的评价函数 104
='r86vq 6.5 层锁定和连接 104
dy/\>hu 6.6 细化技术 104
dH]0(aJ 6.6.1 单纯形 105
yM* CA,(c 6.6.1.1 单纯形
参数 106
%L;z ~C 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
h8Wv t's 6.6.2.1 Optimac参数 108
z~Zu>Q1u[ 6.6.3 模拟退火算法 109
])`+
78 6.6.3.1
模拟退火参数 109
_0HCtx ; 6.6.4 共轭梯度 111
\Af25Mcf: 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
+yC ]f
b 6.6.5 拟牛顿法 112
%[3?vX 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
117`=9F 6.6.6 针合成 113
_(A9k{ 6.6.6.1 针合成参数 114
tE|W8=be/ 6.6.7 差分进化 114
:+?eF^5 6.6.8非局部细化 115
>~%!#,C(|U 6.6.8.1非局部细化参数 115
\iN3/J4 6.7 我应该使用哪种技术? 116
ad
<z+a 6.7.1 细化 116
8ckcTNPu 6.7.2 合成 117
kdmmfw 6.8 参考文献 117
!+bLhW` 7 导纳图及其他工具 118
`Uz2(zqS 7.1 简介 118
-@*[
7.2 薄膜作为导纳的变换 118
sd(Yr6~.. 7.2.1 四分之一
波长规则 119
.kbo]P 7.2.2 导纳图 120
R0yPmh,{ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
*\gS 2[S 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
Cd Bsd 7.5 斜入射导纳图 141
sGBm[lplz 7.6 对称周期 141
{TmrWFo 7.7 参考文献 142
@^q|C&j 8 典型的镀膜实例 143
*:r6E 8.1 单层抗反射薄膜 145
FJI%+$] 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
"6^~-`O 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
i sK_t* 8.4 W-膜层 148
V1yY> 8.5 V-膜层 149
2il)@&^ 8.6 V-膜层高折射基底 150
f{i~hVF 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
&-5`Oln 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
^4G%*- 8.9 四层抗反射薄膜 153
p*'%<3ml 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
!'
} 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
~ShoU
m[ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
d17RJW%A 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
k4HE'WY 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
MC'2;, 8.15十五层宽带抗反射膜 159
(ncm]W 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
UrC>n 8.17 1/4波长堆栈 162
wSV}{9}wr% 8.18 陷波滤波器 163
>]ghme 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
\zx &5a
# 8.20 褶皱 165
}q$6^y 8.21 消偏振分光器1 169
m2{DLw". 8.22 消偏振分光器2 171
"d5nVO/ 8.23 消偏振立体分光器 172
p1BMQ?=($ 8.24 消偏振截止滤光片 173
]J '#KT{ 8.25 立体偏振分束器1 174
uGoySt&;( 8.26 立方偏振分束器2 177
CjQ)Bu*4 8.27 相位延迟器 178
`d,v 8.28 红外截止器 179
{s{bnU 8.29 21层长波带通滤波器 180
~[N"Q|D3Y 8.30 49层长波带通滤波器 181
uc~/l4~N 8.31 55层短波带通滤波器 182
z+5ZUS2~& 8.32 47 红外截止器 183
`GpOS_; 8.33 宽带通滤波器 184
RV=Z$ 8.34 诱导透射滤波器 186
_o+z#Fn z 8.35 诱导透射滤波器2 188
qN=l$_UD 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
&s{" Vc9] 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
/N8>>g 8.35 增益平坦滤波器 193
~K2.T7= 8.38 啁啾反射镜 1 196
Yk^clCB{A( 8.39 啁啾反射镜2 198
QjIn0MJ)Xm 8.40 啁啾反射镜3 199
o5(~nQ 8.41 带保护层的铝膜层 200
W5SCm(QS5 8.42 增加铝反射率膜 201
*+UgrsRk 8.43 参考文献 202
~+)sL1lx 9 多层膜 204
`;c{E%qeq 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
):L ; P) 9.2 内部透过率 204
c e\|eN[ 9.3 内部透射率数据 205
f(*ygI 9.4 实例 206
a5dc#f
Kf 9.5 实例2 210
E9bc pup 9.6 圆锥和带宽计算 212
AZ7m=Q97 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
b%TLvV 9F 10 光学薄膜的颜色 216
`zP{E T_Y 10.1 导言 216
W1!Nq` 10.2 色彩 216
=>mx>R`S 10.3 主波长和纯度 220
!7>~=n_,L. 10.4 色相和纯度 221
= }!4%.$ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
+
FG Xx 10.6 色差 226
+t
JEG: 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
X~VJO|k pz 10.8 颜色渲染指数 234
wfMtWXd;KB 10.9 色差计算 235
n7p,{KSQ 10.10 参考文献 236
}~O`(mnD}K 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
;%<R>gDWv 11.1 短脉冲 238
&_o.:SL| 11.2 群速度 239
; !9-I%e 11.3 群速度色散 241
.kqH}{hf 11.4 啁啾(chirped) 245
q(s&2| 11.5 光学薄膜—相变 245
)Kbz gmLr 11.6 群延迟和延迟色散 246
K^Ixu~ 11.7 色度色散 246
2)F~
11.8 色散补偿 249
K9=f`JI9 11.9 空间
光线偏移 256
+#RqQ8\ 11.10 参考文献 258
!?aL_{7J 12 公差与误差 260
&<Iz?AVr 12.1 蒙特卡罗模型 260
_0Z8V[ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
Naa
"^ 12.2.1 误差工具 267
-RBH5+SS2 12.2.2 灵敏度工具 271
;56mkP 12.2.2.1 独立灵敏度 271
mhi^zHpa 12.2.2.2 灵敏度分布 275
OaF[t*]D3 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
E5. @=U,c 12.3 参考文献 276
!)//b] 13 Runsheet 与Simulator 277
@UwDsx&2(t 13.1 原理介绍 277
_!C M 13.2 截止滤光片设计 277
P+gYLX8 14 光学常数提取 289
P>wTp) 14.1 介绍 289
~&%&Z 14.2 电介质薄膜 289
Z~Vups#+f 14.3 n 和k 的提取工具 295
m[$pj~<\ 14.4 基底的参数提取 302
j1i<.,0g 14.5 金属的参数提取 306
f2,\B6+ 14.6 不正确的模型 306
eZvG 14.7 参考文献 311
( SiwO.TZ 15 反演工程 313
'nP;IuMP 15.1 随机性和
系统性 313
'FC#O%l 15.2 常见的系统性问题 314
!McRtxq?~ 15.3 单层膜 314
) mh,F#"L 15.4 多层膜 314
H^JwaF 15.5 含义 319
qGhwbg 15.6 反演工程实例 319
?L(y8b}F( 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
>pj)va[Q 15.6.2 反演工程提取折射率 327
yN:U"]glC 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
>,A&(\rO 16.1 光学性质的热致偏移 329
0~=>:^H'`q 16.2 应力工具 335
"jA?s9 16.3 均匀性误差 339
lCxPR'C| 16.3.1 圆锥工具 339
2E_d$nsJ 16.3.2 波前问题 341
1 R,?kUa 16.4 参考文献 343
!+{$dB>a 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
o`%;*tx 17.1 引言 345
ODyKS; 17.2 操作数 345
6$x9@x8 18 如何在Function中编写脚本 351
5K[MKfT 18.1 简介 351
9 =zZ,dg 18.2 什么是脚本? 351
v7#`b}'W 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
i$"M'BG 18.4 基础 352
Y:KIaYkk 18.4.1 Classes(类别) 352
%=<