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摘要 H)5QqZ8 @.ZL7$|d KO&:06V{ -k{Jp/-D 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 yp+F<5o X+iK<F$ 建模任务 tS<h8g_ %S`ik!K"I TwFb%YM azX`oU,l 由于组件倾斜引起的干涉条纹 9p`r7: B< hEx@
a,n93-m(m )GJP_*Ab 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 W:O0} fHfY}BQS
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