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摘要 ?0+g.,9 'ShK7j$ ]bpgsW:Xu /5j5\F:33 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ~gNFcJuy T5.^
w 建模任务 )E^4U9v), _jgtZ #V#!@@c;? 've[Mx 由于组件倾斜引起的干涉条纹 #reW)P> ?N!kYTR%} 4fjwC,, g0B%3v 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 rK:cUW0]X 'U0W
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