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摘要 TmzEZ<} &7 \P{VJ^)0 DOU\X N g~10K^ 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 G9Xrwk<g4 Qs;bVlp!H 建模任务 YM1@B`yWE "'6KQnpZ #@y4/JS&2 \i`/k( 由于组件倾斜引起的干涉条纹 n6L}#aZG
93o}vy-> s\>$ K%!H? v9M;W+J 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 B[cZEFo\ q'c'rN^
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