[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 Txfu%'2)e  
v$w!hYsQ  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 )wo'i]#2:  
[(w_!|S  

图片:1-20021G15353423.png

 s6rdQI]  
1fm\5/}'`1  
建模任务  Jt.dR6,  
Lcf =)GL  

图片:1-20021G15419564.png

t%n1TY,  
光栅特性与参数的严格分析 s$:F^sxb  
ioIUIp+B~u  
不同光栅周期下的衍射效率 ^LE`Y>&m  
Y>{K2#k  

图片:1-20021G15602G5.png

d90B15]gv  
YL=?Nk/  
关于光栅周期选择的考虑 wZ,9~P7  
QSW62]=vV  

图片:1-20021G15641J8.png

LXG,IG  
_+S`[:;a  
偏振相关的衍射特性 kV(}45i]s  
0"kNn5  

图片:1-20021G15G0159.png

+g<2t,  
z"u4t.KpL  

图片:1-20021G15I2201.png

=K=FzV'_~  
mrX3/e  

图片:1-20021G15P2594.png

n@mW
BUM  
5*{U!${a  
通过参数优化进行光栅设计 #qGfo)  
Bl2y~fCA  
固定周期的2D参数优化 7KnZ  
-]~&Pi|  

图片:1-20021G15RaL.png

 Y5$5qQ  
2D参数优化–设计1 !iWPldn&]  
KcglpKV`  

图片:1-20021G15Z4258.png

Pq>r|/~_  
PCH&eTKN  
2D参数优化–设计2 ~&[Wqn@MZ  
0PI
C|  

图片:1-20021G20004394.png

nKp='>Th  
^<'5 V)  
制造公差分析–设计2 r ioNP(  
DF-`nD  

图片:1-20021G2002JX.png

6&S;Nrg9  
_|bIl%W;\'  
变化光栅周期的3D参数优化 "GEJ9_a[  
U,yU-8z/  

图片:1-20021G20100c0.png

^rMkCA@;TZ  
 `@b+'L  
制造公差分析 ZWQrG'$?o8  
f ."bq43(  

图片:1-20021G20120954.png

7c1xB.g   
V~tq _  
走进VirtualLab Fusion v}!eJze
H  
5e~\o}
]  

图片:1-20021G20141219.png

{1;j1|CI  
FN NEh  
VirtualLab Fusion中的工作流程 vcy}ZqWBO  
;t{Ew+s  

图片:1-20021G20205237.png

V.vA~a  
w7cciD|  
•构造光栅结构 ME7jF9d  
−通过使用界面来配置光栅结构 1-r#v  
[用例] iY1%"x  
•分析光栅衍射效率 9}Ud'#E  
−光栅级次分析器[用例] $73 7oV<  
•使用参数运行搜索初始解决方案 ATp7:Q  
−参数运行文档的使用[用例] 9E4H`[EQ  
•通过参数优化找到最终设计 SCs@Q  
S#Tc{@e  
VirtualLab Fusion技术 sy=M#WGS  
/_5I}{  

图片:1-20021G2025W62.png