时间地点： 5==hyIy
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司；苏州黉论教育咨询有限公司 /73ANQ"
授课时间：2023年12月28日（四）-30日(六）共3天 AM 9:00-PM 16:00 jV 98 2Y
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 j#rj_ uP
课程讲师：讯技光电高级工程师 9=5xt;mEs}
课程费用：5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用) {"vTaY@
课程概要： 0=erf62=
本课程从基本衍射原理开始，逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上，进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上，再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论，并以此为基础阐明多种微纳光学元件（如偏振元件）的设计理念。与理论设计相应的，课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术，是以质量为先还是需要考虑批量加工成本，这些问题也会在课程中讨论。此外，更重要的一点是，衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的，甚至是有所制约的。因此，我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系，并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法，从而做到真正的学以致用，加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 *$ kpS ph
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课程大纲： (`)ZR %i
1.波动光学基础 G v\:Agi
□ 双光束干涉及杨氏干涉 Yj{-|2YzL
□ 相干及非相干光源的传播特性 Usl963A#'F
□ 衍射光学与傅里叶变换 4Je[ !X@C
2.衍射元件概述 H/''lI{k)
□ 衍射光学元件概念 0@LC8Bz+'
□ 衍射光学元件优点 $i9</Es
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□ 光束分束、整形、扩散 |6o!]~&e$1
□ 傅里叶变换 ~m6b6Aj@6
□ 角谱理论 bB+ 4
□ 工作装置类型 n]x%xnt
3.衍射光学元件理念及设计 iY;>LJmp
□ 基本理念 DcRvZ H
□ 透镜和衍射光学元件的作用 !e?2
x@J
□ 分束、整形和扩散的实质 ,vcd>"PK
□ 衍射光学元件的特征尺寸 &\m=|S
□ 衍射光学元件优化设计方法 Rc2JgV
4.IFTA简介 _u q[D`=
□ 基本设计步骤 4d6 3+iM+}
□ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 a \ZNN k
□ 参数估算——周期和线宽的估算 mhW*rH*m
□ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 JuD&121N*
□ 配置设计过程的优化评价函数 ]S+KH
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5.衍射元件设计案例 r0/a w
□ 衍射分束器参数选择 ? ^gq
□ 衍射分束器设计流程：规则和任意形状 zFm:=,9
□ 衍射整形器参数选择 rGm xK|R
□ 衍射整形器设计流程：1D和2D平顶型 A/TCJ#>l
□ 衍射扩散器参数选择 C0gO^A.d
□ 衍射扩散器设计流程：平顶型和任意图案 z2U^z *n{
6.光栅模拟分析 3,y z Rb
□ 构建stack ddzMwucjp
□ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 k@|Go )~
□ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 1" S~#
□ 2D光栅表面镀膜分析 V/Q/Ujgg
□ 3D表面具有减反结构的光栅分析 C17$ qdV/
□ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 jT*?Z:U
7.光栅概述 +5"Pm]oRbx
□ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 ApT E:Fm1
□ 标量衍射和傅里叶变换 ;iO5
8S3
□ 矢量衍射和傅里叶模态法 @ MKf $O4K
□ 纳米光学元件的应用：抗反射、偏振控制、成像、传感等 tLzb*U8'1w
8.微纳光学元件制作 2?nEHIUT
□ 多阶器件加工 })umg8s
□ 连续器件加工 S0w:R:q}L
□ 传统套刻法 `5
Iaz
□ 激光直写法 Q" G;L
□ 纳米光子器件制作概述 L>&9+<-B
□ 衍射光学元件公差分析 oH;9s-Be
9.答疑 m[qW)N:w
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