时间地点:
89db5Dx 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司;苏州黉论教育咨询有限公司
,T/GW,? 授课时间:2023年12月28日(四)-30日(六)共3天 AM 9:00-PM 16:00
sD2*x T 授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室
~K_ ]N/ > 课程讲师:讯技光电高级工程师
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课程费用:5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用)
gj[zka0_ 课程概要:
k"5`: qL 本课程从基本衍射原理开始,逐步阐明光的衍射本质以及衍射
光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上,进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上,再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论,并以此为基础阐明多种微纳光学元件(如偏振元件)的设计理念。与理论设计相应的,课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术,是以质量为先还是需要考虑批量加工成本,这些问题也会在课程中讨论。此外,更重要的一点是,衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的,甚至是有所制约的。因此,我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系,并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法,从而做到真正的学以致用,加速在微纳光学领域的领悟及开拓。
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3_C98ClE 课程大纲:
KUlB2Fqi 1.波动光学基础 G2=F8kL □ 双光束干涉及杨氏干涉
N/(ofy □ 相干及非相干
光源的传播特性
A\Lr<{Jh □ 衍射光学与傅里叶变换
"IOC[ #&G 2.衍射元件概述 a^%8QJW □ 衍射光学元件概念
gHp'3SnS □ 衍射光学元件优点
K<RmaXZ □ 光束分束、整形、扩散
H U:1f)aa □ 傅里叶变换
! Zno[R □ 角谱理论
f%vHx, □ 工作装置类型
H]Y#pLu| 3.衍射光学元件理念及设计 9qnuR'BDu □ 基本理念
1 d=0q?nH □
透镜和衍射光学元件的作用
7zOhyl? □ 分束、整形和扩散的实质
dko [ □ 衍射光学元件的特征尺寸
UIO6|*ka □ 衍射光学元件
优化设计方法
0T7M_G'5Q 4.IFTA简介 jM6uT'Io □ 基本设计步骤
!&'# a □
光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱
FrgW7`s[A □
参数估算——周期和线宽的估算
}~myf\$ □ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率
q2[+-B)m □ 配置设计过程的优化评价函数
un.G6| S 5.衍射元件设计案例 %j~9O~- □ 衍射分束器参数选择
I/u'bDq □ 衍射分束器设计流程:规则和任意形状
s'R~r □ 衍射整形器参数选择
qJ#L) □ 衍射整形器设计流程:1D和2D平顶型
Tbe_xs^ □ 衍射扩散器参数选择
ac2}3$u □ 衍射扩散器设计流程:平顶型和任意图案
'~ jy 6.光栅模拟分析 ]R97n|s_ □ 构建stack
pI'8>_o □ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次
&gY;`*< □ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析
emGV]A%nss □ 2D光栅表面镀膜分析
HR/k{"8W4Q □ 3D表面具有减反结构的光栅分析
j:3A;r\ □ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析
p*A^0DN'Fn 7.光栅概述 _bN))9
3 □ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件
~5-~q0Ge □ 标量衍射和傅里叶变换
P&qy.0 □ 矢量衍射和傅里叶模态法
`=_7I? □
纳米光学元件的应用:抗反射、偏振控制、
成像、传感等
}`+O$0A 8.微纳光学元件制作 *uk\O] □ 多阶器件加工
]hCWe0F □ 连续器件加工
sV9{4T~#| □ 传统套刻法
$K=K?BV[ □
激光直写法
TKj/6Jz| □ 纳米
光子器件制作概述
a7QlU=\ □ 衍射光学元件公差分析
>=.ch5h3J) 9.答疑 aRFi0h
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