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    [讨论]RF源暖机时间问题请教 [复制链接]

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    离线xzaxd
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-10-24
    请教各位大佬: ib~EQ?u{  
    1、RF源最少暖机时间设置多少合适?source和beam ^-7-jZ@jz  
    2、暖机时间少了或者不暖机,会不会直接导致离子源容易灭弧,影响机理是什么?
     
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-10-24
    一般不是两分钟吗?容易灭弧是因为脏,没保养到位罢了。