摘要
a>wCBkD rq+_[! 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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CqU <!OBpAq 建模任务
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'!HTE`Aj I'/3_AX 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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F B]Y~;( $%bSRvA 正弦光栅—透射相位
曲线 XkaREE 66yw[,Y
ARH~dN* C O2w-nd74U 正弦光栅—透射相位曲线
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AGlBvRX7e F.9}jd{ 正弦光栅—衍射效率
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0=Z[6Q@: z0z@LA4k6@ 正弦光栅—效率与周期
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vObZ|>.J~O 2HX/@ERhmu 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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[Vd$FDki ,06Sm]4L, 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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-f+#j=FX YT\`R 闪耀光栅—透射相位曲线
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.u-a+ac< zl0{lV 闪耀光栅—衍射效率
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K~W(ZmB qZ1'uln=C- 闪耀光栅—效率与周期
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%OQdUH4x JEUU~L; 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线
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9&+]YYCS- sSM"~_y\ VirtualLab Fusion一瞥
&:&'70Ya 'zyw-1
/%@;t@BK4 epy2}TI VirtualLab Fusion工作流程
C}huU 4cjfn'x • 设置光栅
结构 -TUJ"ep]QJ −使用界面配置光栅结构[用户案例]
L\Se , • 分析光栅衍射效率
;ALWL~Xm −光栅阶次分析器[用户案例]
MAh1tYs4D • 通过
参数运行检查不同参数的影响
ORM>|& − 利用参数运行文档[用户案例]
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H 0l1=y !~#zd]0x; VirtualLab Fusion技术
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