摘要
B1 Y
)zAATBb4. 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中，可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与
参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定
结构在不同配置下的性能。
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pv"QgH k< $( 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）
DDBf89$\ XE($t2x,M 建模任务
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z `:tl 7 yF@72tK 单次FMM仿真结果
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参数扫描（1D）
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9 S/X ,|i D!rD-e 参数扫描（2D）
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