1. 摘要
R]b! $6Lt 2eok@1 高NA物镜广泛用于光刻,显微等技术。因此,聚焦
仿真中考虑光的矢量性质至关重要。
VirtualLab可以非常便捷地对此类
镜头进行
光线追迹和场追迹分析。通过场追迹,可以清楚地观察由于矢量效应引起的聚焦
光斑失对称现象。利用
相机探测器和电磁场探测器能够对聚焦区域进行灵活全面的研究,进而加深对矢量效应的理解。
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aIGn9:\ #q4*]qGHm 2. 建模任务
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L:U4N* kl{6]39 3. 概述
Hbr^vYs5 0 K3Hf^>m 示例
系统包含了高数值
孔径物镜 3sC:jIp 下一步,我们将阐述如何遵循VirtualLab中推荐的工作流程执行示例系统的仿真。
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]Ti $ztJ aG3k4 4. 光线追迹仿真
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! 首先,选择“Ray Tracing System Analyzer”作为仿真引擎。
>_#)3K1y8 点击“Go!”。
P06.1 随即获得3D光线追迹结果
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4 ?2g&B\ 然后,选择“Ray Tracing”作为仿真引擎。
[a D:A 点击“Go!”。
wG:$6 随即获得点列图(2D光线追迹结果)。
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JFJIls 5. 场追迹仿真
1E^{B8cm }wkaQQh 转换到场追迹,并选择“Field Tracing 2nd Generation”作为仿真引擎。
n` #+L~X 点击“Go!”。
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{3SdX b7f0#*(? 6. 场追迹结果(相机探测器)
xc*!W*04 x?>!UqgkY 上图所示为仅通过叠加Ex和Ey场分量得到的强度分布。
3#<'[TF00t 下图所示为通过叠加Ex,Ey和Ez分量得到的强度分布:由于在高NA条件下相对较大Ez分量,导致聚焦光斑明显的失对称性。
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{*nEKPq(_* 7. 场追迹结果(电磁场探测器)
4 f3=`[% 利用电磁场探测器,我们可以获得多有电磁场分量的结果
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