1. 摘要
+1@AGJU3 {Y_Nj`#BT 高NA物镜广泛用于光刻,显微等技术。因此,聚焦
仿真中考虑光的矢量性质至关重要。
VirtualLab可以非常便捷地对此类
镜头进行
光线追迹和场追迹分析。通过场追迹,可以清楚地观察由于矢量效应引起的聚焦
光斑失对称现象。利用
相机探测器和电磁场探测器能够对聚焦区域进行灵活全面的研究,进而加深对矢量效应的理解。
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lbkLyp2 rn" pKUd 2. 建模任务
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uec|S\~M mJMq{6; 3. 概述
E`)Qs[?Gk dAxp ,):&J 示例
系统包含了高数值
孔径物镜 DuNcX$%% 下一步,我们将阐述如何遵循VirtualLab中推荐的工作流程执行示例系统的仿真。
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`&g:d E(j ~:2K#q5C 4. 光线追迹仿真
`clB43i ~@fR[sg< 首先,选择“Ray Tracing System Analyzer”作为仿真引擎。
Yx1 D) 点击“Go!”。
Efr&12YSS 随即获得3D光线追迹结果
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OoaY j=j+Nf$ 然后,选择“Ray Tracing”作为仿真引擎。
\cZfg%PN 点击“Go!”。
D# v?gPo4 随即获得点列图(2D光线追迹结果)。
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YzV(nEW 5. 场追迹仿真
O5-;I,)H 9^zx8MRXd 转换到场追迹,并选择“Field Tracing 2nd Generation”作为仿真引擎。
F]5\YYXO 点击“Go!”。
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@HEPc95 e2Jp'93o' 6. 场追迹结果(相机探测器)
0QoLS|voA/ j9xXKa5 上图所示为仅通过叠加Ex和Ey场分量得到的强度分布。
fn1pa@P 下图所示为通过叠加Ex,Ey和Ez分量得到的强度分布:由于在高NA条件下相对较大Ez分量,导致聚焦光斑明显的失对称性。
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"G-A 7. 场追迹结果(电磁场探测器)
vlQ0gsXK 利用电磁场探测器,我们可以获得多有电磁场分量的结果
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