1. 摘要
\QvoL <1%(%KdN[ 高NA物镜广泛用于光刻,显微等技术。因此,聚焦
仿真中考虑光的矢量性质至关重要。
VirtualLab可以非常便捷地对此类
镜头进行
光线追迹和场追迹分析。通过场追迹,可以清楚地观察由于矢量效应引起的聚焦
光斑失对称现象。利用
相机探测器和电磁场探测器能够对聚焦区域进行灵活全面的研究,进而加深对矢量效应的理解。
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``?79MJ5 V*<`!w 2. 建模任务
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N|@jHxy r&y0`M 3. 概述
sW^e D; m0Geq. 示例
系统包含了高数值
孔径物镜 [Xyu_I-c 下一步,我们将阐述如何遵循VirtualLab中推荐的工作流程执行示例系统的仿真。
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|8q:sr_ 6Lc{SR 4. 光线追迹仿真
I?&/J4o: kfV}ta'^S 首先,选择“Ray Tracing System Analyzer”作为仿真引擎。
e=^^TX`I 点击“Go!”。
DEw>f%&4 随即获得3D光线追迹结果
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@u @~gEt [o"<DP6w 然后,选择“Ray Tracing”作为仿真引擎。
('k9XcTPP 点击“Go!”。
!sG#3sUe[ 随即获得点列图(2D光线追迹结果)。
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:;hz!6! 5. 场追迹仿真
`+m:@0&L :o 8XG 转换到场追迹,并选择“Field Tracing 2nd Generation”作为仿真引擎。
48IrC_0j 点击“Go!”。
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?XbM w7@TM%nS 6. 场追迹结果(相机探测器)
KTq+JT u er8T:.Py 上图所示为仅通过叠加Ex和Ey场分量得到的强度分布。
V1&qgAy~ 下图所示为通过叠加Ex,Ey和Ez分量得到的强度分布:由于在高NA条件下相对较大Ez分量,导致聚焦光斑明显的失对称性。
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'_(.Z: 7. 场追迹结果(电磁场探测器)
SK*z4p 利用电磁场探测器,我们可以获得多有电磁场分量的结果
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