时间地点:
1p7cv~#95 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司;苏州黉论教育咨询有限公司
v[{8G^Z}54 授课时间:2023年12月28日(四)-30日(六)共3天 AM 9:00-PM 16:00
_{LN{iqDv 授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室
*L%6qxl`V 课程讲师:讯技光电高级工程师
L$+d.=] 课程费用:5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用)
.3lGX`d{ 课程概要:
[j)\v^m 本课程从基本衍射原理开始,逐步阐明光的衍射本质以及衍射
光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上,进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上,再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论,并以此为基础阐明多种微纳光学元件(如偏振元件)的设计理念。与理论设计相应的,课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术,是以质量为先还是需要考虑批量加工成本,这些问题也会在课程中讨论。此外,更重要的一点是,衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的,甚至是有所制约的。因此,我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系,并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法,从而做到真正的学以致用,加速在微纳光学领域的领悟及开拓。
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Iv$:`7|crX 课程大纲:
8K\'Z 1.波动光学基础 < /;Q8;0 □ 双光束干涉及杨氏干涉
f^W[;w □ 相干及非相干
光源的传播特性
,vPe}OKj □ 衍射光学与傅里叶变换
[3O^0-:6E 2.衍射元件概述 @br@[RpB □ 衍射光学元件概念
)7&42>t □ 衍射光学元件优点
_ PXG AS □ 光束分束、整形、扩散
hLb;5u&!kW □ 傅里叶变换
\Fj5v$J- □ 角谱理论
7 I_1 #O □ 工作装置类型
Guk.,}9 3.衍射光学元件理念及设计 Vbg10pV0 □ 基本理念
%55@3)V8Rf □
透镜和衍射光学元件的作用
ZCy`2Fir □ 分束、整形和扩散的实质
&w+;N5}3 □ 衍射光学元件的特征尺寸
-1qZqU$h □ 衍射光学元件
优化设计方法
}JRP,YNh 4.IFTA简介 01U
*_\ □ 基本设计步骤
A2m_q>>
! □
光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱
&qJPwO □
参数估算——周期和线宽的估算
;% 2wGT □ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率
s%eyW _ □ 配置设计过程的优化评价函数
P!kw;x 5.衍射元件设计案例 CzYGq □ 衍射分束器参数选择
P DRnW □ 衍射分束器设计流程:规则和任意形状
s K+
(v □ 衍射整形器参数选择
81~Kpx □ 衍射整形器设计流程:1D和2D平顶型
LmP qLH'(Q □ 衍射扩散器参数选择
gks ==|s. □ 衍射扩散器设计流程:平顶型和任意图案
,Pn-ZF 6.光栅模拟分析 IUOxGJ|rO □ 构建stack
p6`Pp"J_tr □ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次
|#{- .r6Y] □ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析
{jvOHu □ 2D光栅表面镀膜分析
25UYOK}! ac9qj □ 3D表面具有减反结构的光栅分析
$:Rn; □ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析
Mr-DGLJ 7.光栅概述 ujU=JlJ7dl □ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件
!RS9%ES_? □ 标量衍射和傅里叶变换
LH4>@YPGE# □ 矢量衍射和傅里叶模态法
{@?G 9UypA □
纳米光学元件的应用:抗反射、偏振控制、
成像、传感等
2@vJ 8.微纳光学元件制作 *c{wtl@ □ 多阶器件加工
:z]}ZZ □ 连续器件加工
CdY8#+"
□ 传统套刻法
Mtm/}I □
激光直写法
OB(pIzSe □ 纳米
光子器件制作概述
_2b9QP p □ 衍射光学元件公差分析
o/C(4q6d 9.答疑 f\fdg].! 有兴趣扫码加微联系