时间地点： `l2 h65\
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司；苏州黉论教育咨询有限公司 CT?4A1[aD
授课时间：2023年12月28日（四）-30日(六）共3天 AM 9:00-PM 16:00 ^ 6b27_=
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 |BBo
课程讲师：讯技光电高级工程师 R =kXf/y
课程费用：5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用) (T!#7
课程概要： nvB< pSm
本课程从基本衍射原理开始，逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上，进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上，再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论，并以此为基础阐明多种微纳光学元件（如偏振元件）的设计理念。与理论设计相应的，课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术，是以质量为先还是需要考虑批量加工成本，这些问题也会在课程中讨论。此外，更重要的一点是，衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的，甚至是有所制约的。因此，我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系，并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法，从而做到真正的学以致用，加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 DGbEQiX$\
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课程大纲： IY
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1.波动光学基础 _1G;!e O
□ 双光束干涉及杨氏干涉 b$q~(Z}
□ 相干及非相干光源的传播特性 &'k:?@J[
□ 衍射光学与傅里叶变换 KwNOB _
2.衍射元件概述 > -,$
□ 衍射光学元件概念 h0] bIT{
□ 衍射光学元件优点 U1Y0G[i)
□ 光束分束、整形、扩散 _Un*x5u2O
□ 傅里叶变换 GXi)3I%
□ 角谱理论 ~p?D[]h
□ 工作装置类型 3/y"kl:< -
3.衍射光学元件理念及设计 %/2OP &1<
□ 基本理念 .=N ?;i
□ 透镜和衍射光学元件的作用 :} -VLp4b
□ 分束、整形和扩散的实质 &o]fBdn
□ 衍射光学元件的特征尺寸 QtA@ p
□ 衍射光学元件优化设计方法 ?)g [Xc;K
4.IFTA简介 [Lcy &+
□ 基本设计步骤 dDA,Ps
□ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 =)}Yw)
□ 参数估算——周期和线宽的估算 WMS~Bk+!
□ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 z))rk vL%
□ 配置设计过程的优化评价函数 %Z8w UG
5.衍射元件设计案例 +&r=XJ5:`p
□ 衍射分束器参数选择 LJA
uTg
□ 衍射分束器设计流程：规则和任意形状
_7b4+ L
□ 衍射整形器参数选择 _yp<#q]
□ 衍射整形器设计流程：1D和2D平顶型 XMzQ8|]
□ 衍射扩散器参数选择 ?rY +,nQP
□ 衍射扩散器设计流程：平顶型和任意图案 Yfx?3
6.光栅模拟分析 ~x[(1
□ 构建stack m=TZfa^r
□ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 j$<g8Bg=o
□ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 _FU}IfG>t
□ 2D光栅表面镀膜分析 k*OHI/uiow
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□ 3D表面具有减反结构的光栅分析 w\M"9T
□ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 [b3$em<^JV
7.光栅概述 e5D\m g)
□ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 O;$}j:;KF
□ 标量衍射和傅里叶变换 1)5/a5
□ 矢量衍射和傅里叶模态法 k(xB%>ns
□ 纳米光学元件的应用：抗反射、偏振控制、成像、传感等 ~Rx`:kQ
8.微纳光学元件制作 ~R\ $Z
□ 多阶器件加工 { N
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□ 连续器件加工 ixL[(*V
□ 传统套刻法 J\FLIw4
□ 激光直写法 dGUiMix{N
□ 纳米光子器件制作概述 4b +_|kYb
□ 衍射光学元件公差分析 *to#ZMR;!
9.答疑 C)~%(< D
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