时间地点:
oH4zW5 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司;苏州黉论教育咨询有限公司
QsPg4y3?D 授课时间:2023年12月28日(四)-30日(六)共3天 AM 9:00-PM 16:00
416}# Mk 授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室
s+_8U}R 课程讲师:讯技光电高级工程师
/C'_-U? 课程费用:5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用)
|Wck-+}U 课程概要:
5`&@3
m9/ 本课程从基本衍射原理开始,逐步阐明光的衍射本质以及衍射
光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上,进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上,再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论,并以此为基础阐明多种微纳光学元件(如偏振元件)的设计理念。与理论设计相应的,课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术,是以质量为先还是需要考虑批量加工成本,这些问题也会在课程中讨论。此外,更重要的一点是,衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的,甚至是有所制约的。因此,我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系,并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法,从而做到真正的学以致用,加速在微纳光学领域的领悟及开拓。
I+W,%)vb
7gOu|t @g`|ob]9
,>qtnwvlHP 课程大纲:
*qL'WrB1 1.波动光学基础 1,zc8 >M □ 双光束干涉及杨氏干涉
Ui"$A/ □ 相干及非相干
光源的传播特性
:{S@KsPqE □ 衍射光学与傅里叶变换
%@ >^JTkY8 2.衍射元件概述 /g%RIzgW □ 衍射光学元件概念
Q~Nq5[ □ 衍射光学元件优点
?HOnDw.v1 □ 光束分束、整形、扩散
)bYOy+2g □ 傅里叶变换
0H%zkJ>Q □ 角谱理论
CD#U`jf □ 工作装置类型
CUc , 3.衍射光学元件理念及设计 4_2oDcdf □ 基本理念
\Js*>xA
□
透镜和衍射光学元件的作用
t{s>B]i^_w □ 分束、整形和扩散的实质
xh<{lZ)KJ □ 衍射光学元件的特征尺寸
~#so4<A`3 □ 衍射光学元件
优化设计方法
OhaoLmA}6 4.IFTA简介 HnFH|H<Uf □ 基本设计步骤
h7.jWJTo □
光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱
;#Qv
)kS* □
参数估算——周期和线宽的估算
(I;81h`1G □ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率
I5[@C<b □ 配置设计过程的优化评价函数
@@R&OR 5.衍射元件设计案例 sm[zE/2b □ 衍射分束器参数选择
txMC^-J2l □ 衍射分束器设计流程:规则和任意形状
YsiH=x □ 衍射整形器参数选择
o,_F;ZhE □ 衍射整形器设计流程:1D和2D平顶型
<WmjjD □ 衍射扩散器参数选择
F 3q<j$y □ 衍射扩散器设计流程:平顶型和任意图案
.*595SuF 6.光栅模拟分析 1PWi~1q{Q □ 构建stack
{@x-T □ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次
#@V<{/;49 □ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析
DuAix)#FN9 □ 2D光栅表面镀膜分析
RxPD44jVA tNqSCjQ~_c □ 3D表面具有减反结构的光栅分析
D'D IC □ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析
d7&d
FvG 7.光栅概述 8In~qf □ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件
i-WP#\s □ 标量衍射和傅里叶变换
&0ymAf5R □ 矢量衍射和傅里叶模态法
j+lcj&V# □
纳米光学元件的应用:抗反射、偏振控制、
成像、传感等
XfIsf9 8.微纳光学元件制作 xu]Kt+QnSk □ 多阶器件加工
jgEYlZ □ 连续器件加工
NYxL7 :9 □ 传统套刻法
5[*8CY □
激光直写法
FSkX95 □ 纳米
光子器件制作概述
!iX/Ni: □ 衍射光学元件公差分析
g38MF 9.答疑 6I_4{ 有兴趣扫码加微联系