时间地点: \WPy9kRU
主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司;苏州黉论教育咨询有限公司 #9e 2+5s
授课时间:2023年12月28日(四)-30日(六)共3天 AM 9:00-PM 16:00 [fZhfZ)<
授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 qvC 2BQ
课程讲师:讯技光电高级工程师 ?[!_f$50]P
课程费用:5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用) =_=0l+\}
课程概要: o5;|14O
本课程从基本衍射原理开始,逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上,进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上,再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论,并以此为基础阐明多种微纳光学元件(如偏振元件)的设计理念。与理论设计相应的,课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术,是以质量为先还是需要考虑批量加工成本,这些问题也会在课程中讨论。此外,更重要的一点是,衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的,甚至是有所制约的。因此,我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系,并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法,从而做到真正的学以致用,加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 3'zL,W W
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课程大纲: 'Y22HVUX
1.波动光学基础 'TO/i:{\
□ 双光束干涉及杨氏干涉 lKBI3oYn
□ 相干及非相干光源的传播特性 Y1-=H)G
□ 衍射光学与傅里叶变换 W!R7D%nX
2.衍射元件概述 Sah!|9
□ 衍射光学元件概念 -,qGEJ
□ 衍射光学元件优点 49tJ+J- N
□ 光束分束、整形、扩散 ql I1<Jx
□ 傅里叶变换 9WT{~PGj
□ 角谱理论 iit 5IV
□ 工作装置类型 XYze*8xUb
3.衍射光学元件理念及设计 R
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□ 基本理念 9|l6.$Me/
□ 透镜和衍射光学元件的作用 RH^;M-'
□ 分束、整形和扩散的实质 08_<G`r
□ 衍射光学元件的特征尺寸 #}+_Hy
□ 衍射光学元件优化设计方法 B,4
3b O
4.IFTA简介 ]vjMfT%]W
□ 基本设计步骤 ow4|GLU^;
□ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 f3SAK!V+s
□ 参数估算——周期和线宽的估算 R,+"^:}
□ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 S9E<)L
□ 配置设计过程的优化评价函数 p?'
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5.衍射元件设计案例 j)mi~i*U
□ 衍射分束器参数选择 ZK`x(h{p)
□ 衍射分束器设计流程:规则和任意形状 bC,SE*F\
□ 衍射整形器参数选择 us )NgG
□ 衍射整形器设计流程:1D和2D平顶型 Mi<}q@]e
□ 衍射扩散器参数选择 {k)H.zwe
□ 衍射扩散器设计流程:平顶型和任意图案 I#-T/1N
6.光栅模拟分析 o@qI!?p&
□ 构建stack L"'L@A|U
□ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 =zRjb>
□ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 q9B5>Ye)
□ 2D光栅表面镀膜分析 |k<5yj4?
ch)#NHZ9F
□ 3D表面具有减反结构的光栅分析 b4CXif
□ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 =/kT|
7.光栅概述 NC%)SG \
□ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 k8w:8*y'.
□ 标量衍射和傅里叶变换 7
aN}lQM
□ 矢量衍射和傅里叶模态法 bJB*w
□ 纳米光学元件的应用:抗反射、偏振控制、成像、传感等 ,A9{x\1!
8.微纳光学元件制作 t]6
4=
□ 多阶器件加工 S~\u]j^%y
□ 连续器件加工 eo<=Q|nI&
□ 传统套刻法 zJTSg
□ 激光直写法 tRXR/;3O
□ 纳米光子器件制作概述 vJg^uf)
□ 衍射光学元件公差分析 5[A4K%EL
9.答疑 Ql9
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