时间地点: JfxD-9U^>u
主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司;苏州黉论教育咨询有限公司 Z*tB=
授课时间:2023年12月28日(四)-30日(六)共3天 AM 9:00-PM 16:00 1.+0=M[h
授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 m=j xTZK
课程讲师:讯技光电高级工程师 -|\V'
课程费用:5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用) {f((x1{HZx
课程概要: !f2f
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本课程从基本衍射原理开始,逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上,进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上,再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论,并以此为基础阐明多种微纳光学元件(如偏振元件)的设计理念。与理论设计相应的,课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术,是以质量为先还是需要考虑批量加工成本,这些问题也会在课程中讨论。此外,更重要的一点是,衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的,甚至是有所制约的。因此,我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系,并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法,从而做到真正的学以致用,加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 @Hw#O33/'
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课程大纲: 1Jg&L~Ws"
1.波动光学基础 =3$JeNK9
□ 双光束干涉及杨氏干涉 ~2@+#1[g8z
□ 相干及非相干光源的传播特性 ?){V7<'?y
□ 衍射光学与傅里叶变换 |k1(|)%G
2.衍射元件概述 "_WOtJr
□ 衍射光学元件概念 J.W0F# ?
□ 衍射光学元件优点 {U?/u93~
□ 光束分束、整形、扩散 lQj3#!1}
□ 傅里叶变换 i2j_=X-
□ 角谱理论 ghq [oK
□ 工作装置类型 [v( \y
3.衍射光学元件理念及设计 I(y:Td
□ 基本理念 2kzm(K
□ 透镜和衍射光学元件的作用 b-ZC~#?|b
□ 分束、整形和扩散的实质 ?9'Ukw`
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□ 衍射光学元件的特征尺寸 VRQ'sn@
□ 衍射光学元件优化设计方法 xTiC[<j
4.IFTA简介 U2m86@E
□ 基本设计步骤 -7,xjn
□ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 @xIKYJyU
□ 参数估算——周期和线宽的估算 hC2 @Gq
□ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 2L Kpwz?
□ 配置设计过程的优化评价函数 4WU%K`jnXb
5.衍射元件设计案例 luXcr
H+w
□ 衍射分束器参数选择 Y`
t-Bg!~
□ 衍射分束器设计流程:规则和任意形状 "i0{E!,XL
□ 衍射整形器参数选择 K,(37Id'
□ 衍射整形器设计流程:1D和2D平顶型 q;a"M7
□ 衍射扩散器参数选择 (Qq;ySZ#
□ 衍射扩散器设计流程:平顶型和任意图案 [hC-} 9
6.光栅模拟分析 V_+XZ+7Lx}
□ 构建stack fGS5{dti
□ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 i
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□ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 g:<2yT
□ 2D光栅表面镀膜分析 +)YU/41W
K,_d/(T4
□ 3D表面具有减反结构的光栅分析 }8tD|t[
□ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 4+46z|
7.光栅概述 h[HFZv~{
□ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 _voU^-
□ 标量衍射和傅里叶变换 f/+UD-@%m
□ 矢量衍射和傅里叶模态法 zv/owK
□ 纳米光学元件的应用:抗反射、偏振控制、成像、传感等 6WUP#c@{
8.微纳光学元件制作 bit@Kv1<C
□ 多阶器件加工 DvL/xlN
□ 连续器件加工 H|@R+
□ 传统套刻法 >wx1M1
□ 激光直写法 LWwWxerZ
□ 纳米光子器件制作概述 a2Q_K2t
□ 衍射光学元件公差分析 ,F^Rz.
9.答疑 VaKBS/y"
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