时间地点： |`5 IP8Z
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司；苏州黉论教育咨询有限公司 5`QcPDp{z
授课时间：2023年12月28日（四）-30日(六）共3天 AM 9:00-PM 16:00 hzqJ!
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 Q5+1'm zAB
课程讲师：讯技光电高级工程师 G mz^vpQ]t
课程费用：5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用) 4+RR`I8$Ge
课程概要： { qNP hi
本课程从基本衍射原理开始，逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上，进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上，再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论，并以此为基础阐明多种微纳光学元件（如偏振元件）的设计理念。与理论设计相应的，课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术，是以质量为先还是需要考虑批量加工成本，这些问题也会在课程中讨论。此外，更重要的一点是，衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的，甚至是有所制约的。因此，我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系，并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法，从而做到真正的学以致用，加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 +3)r
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课程大纲： d~LoHp
1.波动光学基础 Fl BhCZ|^
□ 双光束干涉及杨氏干涉 [0 F~e
□ 相干及非相干光源的传播特性
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□ 衍射光学与傅里叶变换 zw/AZLS
2.衍射元件概述 \CL8 ~
□ 衍射光学元件概念 k6(7G@@}
□ 衍射光学元件优点 P!eo#b^S
□ 光束分束、整形、扩散 oN7S m P_
□ 傅里叶变换 +1ICX
□ 角谱理论 pM?;QG;jA
□ 工作装置类型 r
)F;8(
3.衍射光学元件理念及设计 ml nF,+s
□ 基本理念 3
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□ 透镜和衍射光学元件的作用 k?+ 7%A]
□ 分束、整形和扩散的实质 R6+)&:Ab{R
□ 衍射光学元件的特征尺寸 #S}orWj
□ 衍射光学元件优化设计方法 53HA6:Q[
4.IFTA简介 i(}Pr A
□ 基本设计步骤 b3ohTmy4(
□ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 kA:mB;:
□ 参数估算——周期和线宽的估算 <^5!]8* O
□ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 #,%bW[L<N
□ 配置设计过程的优化评价函数 (Rw<1q`,
5.衍射元件设计案例 zBF~:Uc`B
□ 衍射分束器参数选择 C= ~c`V5>r
□ 衍射分束器设计流程：规则和任意形状 *]$B 9zVs!
□ 衍射整形器参数选择 XB) D".\
□ 衍射整形器设计流程：1D和2D平顶型 J2bvHxb Rd
□ 衍射扩散器参数选择 [C'bfX5HB5
□ 衍射扩散器设计流程：平顶型和任意图案 3U[O :
6.光栅模拟分析 _f1o!4ocx
□ 构建stack VW-q Qe
□ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 H+v&4} f
□ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 NJUKH1lIhR
□ 2D光栅表面镀膜分析 <J/ =$u/
AI|vL4*Xd
□ 3D表面具有减反结构的光栅分析 Y6` xb `
□ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 Z>hTL_|]a{
7.光栅概述 VmS_(bM
□ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 oz) [ -
□ 标量衍射和傅里叶变换 <!OBpAq
□ 矢量衍射和傅里叶模态法 s|=lKa]d!"
□ 纳米光学元件的应用：抗反射、偏振控制、成像、传感等 <DF3! r
8.微纳光学元件制作 PTQ#8(_ ,
□ 多阶器件加工 I'/ 3_AX
□ 连续器件加工 O M 86C
□ 传统套刻法 [h/T IGE\
□ 激光直写法 n(: <pz
□ 纳米光子器件制作概述 lSxb:$g
□ 衍射光学元件公差分析 M 5dYcCDE
9.答疑 %B s. XW,
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