时间地点： 6b1AIs8
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司；苏州黉论教育咨询有限公司 TCR|wi]
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授课时间：2023年12月28日（四）-30日(六）共3天 AM 9:00-PM 16:00 P:>]a$Is
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 L .s$|%
课程讲师：讯技光电高级工程师 Js <DVe,
课程费用：5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用) r>ag( ^J\
课程概要： Q*N{3G!
本课程从基本衍射原理开始，逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上，进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上，再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论，并以此为基础阐明多种微纳光学元件（如偏振元件）的设计理念。与理论设计相应的，课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术，是以质量为先还是需要考虑批量加工成本，这些问题也会在课程中讨论。此外，更重要的一点是，衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的，甚至是有所制约的。因此，我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系，并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法，从而做到真正的学以致用，加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 l4 > c
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课程大纲： FN/siw(?3
1.波动光学基础 \ZtKaEXnx
□ 双光束干涉及杨氏干涉 Jr=XVQ(F
□ 相干及非相干光源的传播特性 c2u*<x
□ 衍射光学与傅里叶变换 Bm5\*Xd1(
2.衍射元件概述 ^GS\(eg t
□ 衍射光学元件概念
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□ 衍射光学元件优点 %i.Prckrb
□ 光束分束、整形、扩散 B|"-Ed
□ 傅里叶变换 UP7?9\
□ 角谱理论 f~R+Q/Gtz`
□ 工作装置类型
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3.衍射光学元件理念及设计 f@ILC=c<
□ 基本理念 YrsE
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□ 透镜和衍射光学元件的作用 qfX26<q
□ 分束、整形和扩散的实质 "r~/E|Da<
□ 衍射光学元件的特征尺寸 ^ X-6j[".
□ 衍射光学元件优化设计方法 @R Jr
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4.IFTA简介 \hWac%#
□ 基本设计步骤 NX5 $x/uz
□ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 p^1~o/
□ 参数估算——周期和线宽的估算 :=*V i `
□ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 3RF`F
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□ 配置设计过程的优化评价函数 {DapXx
5.衍射元件设计案例 Ae%AG@L
□ 衍射分束器参数选择 *L~ ?.9R
□ 衍射分束器设计流程：规则和任意形状 Tol"D2cyf
□ 衍射整形器参数选择 Q
ZC\%X8j
□ 衍射整形器设计流程：1D和2D平顶型 vY7 @1_ "
□ 衍射扩散器参数选择 WXY-]ir.
□ 衍射扩散器设计流程：平顶型和任意图案 uvAJJIae'
6.光栅模拟分析 P;eXUF+jn
□ 构建stack A&A{Thz
□ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 ~)VI` 36X
□ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 pqTaN=R8
□ 2D光栅表面镀膜分析 dZo x;_b
CEVisKcE:
□ 3D表面具有减反结构的光栅分析 /I((A /ks
□ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 m @ UrFPZ
7.光栅概述 s\< @v7A
□ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 1Ko4O)L]&
□ 标量衍射和傅里叶变换 os7xwI;T
□ 矢量衍射和傅里叶模态法 aU@1j;se@
□ 纳米光学元件的应用：抗反射、偏振控制、成像、传感等 M?AKJE j5
8.微纳光学元件制作 1IlOU|4
□ 多阶器件加工 eL<jA9cJ9
□ 连续器件加工 7X)4ec9H\
□ 传统套刻法 =ym<yI<
□ 激光直写法 !zsrORF{
□ 纳米光子器件制作概述 /= T:W*C
□ 衍射光学元件公差分析 <xe_t=N
9.答疑 =\ k:]
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