时间地点:
Xh?4mKgu 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司;苏州黉论教育咨询有限公司
C8ZL*9U 授课时间:2023年12月28日(四)-30日(六)共3天 AM 9:00-PM 16:00
5$kdgFq( 授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室
YxXqI 课程讲师:讯技光电高级工程师
{Ur7#h5 课程费用:5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用)
6hO-H&r++ 课程概要:
"tUwo(K[ 本课程从基本衍射原理开始,逐步阐明光的衍射本质以及衍射
光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上,进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上,再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论,并以此为基础阐明多种微纳光学元件(如偏振元件)的设计理念。与理论设计相应的,课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术,是以质量为先还是需要考虑批量加工成本,这些问题也会在课程中讨论。此外,更重要的一点是,衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的,甚至是有所制约的。因此,我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系,并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法,从而做到真正的学以致用,加速在微纳光学领域的领悟及开拓。
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>p0KFU 课程大纲:
h$>wv` 1.波动光学基础 zEj#arSE4 □ 双光束干涉及杨氏干涉
M%I@<~wl □ 相干及非相干
光源的传播特性
2VA!&`I □ 衍射光学与傅里叶变换
R:M,tL-l 2.衍射元件概述 U6<M/>RG$ □ 衍射光学元件概念
J? .F\`N) □ 衍射光学元件优点
Ke!'gohv □ 光束分束、整形、扩散
-\4zwIH □ 傅里叶变换
-}P7$|O& □ 角谱理论
V^TbP. □ 工作装置类型
Or8kp/d 3.衍射光学元件理念及设计 Rb EKP(uw □ 基本理念
y \D=Z
N@ □
透镜和衍射光学元件的作用
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@(
< □ 分束、整形和扩散的实质
r{_ >ldjq □ 衍射光学元件的特征尺寸
%Ds+GM- □ 衍射光学元件
优化设计方法
5!(?m~jJ 4.IFTA简介 Wpr
,jN8b □ 基本设计步骤
d$G}iJ8$mp □
光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱
?2 f_aY ; □
参数估算——周期和线宽的估算
`XJm=/f □ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率
T7[NcZ:I □ 配置设计过程的优化评价函数
bWmw3w 5.衍射元件设计案例 ^nNitF
□ 衍射分束器参数选择
6@V~0DG □ 衍射分束器设计流程:规则和任意形状
=^tA_AxVw □ 衍射整形器参数选择
d|lpec □ 衍射整形器设计流程:1D和2D平顶型
cE\>f8 I □ 衍射扩散器参数选择
hr/o<#OW □ 衍射扩散器设计流程:平顶型和任意图案
n<7u>;SJQ 6.光栅模拟分析 /<{: I \< □ 构建stack
u5+|Su □ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次
#+k*1Jg □ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析
ac8P\2{" □ 2D光栅表面镀膜分析
iOCqE 5d3 V 1/p_)A □ 3D表面具有减反结构的光栅分析
-1u9t4+` □ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析
~Lz%.a;o 7.光栅概述 }Wh6zT) □ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件
=r9r~SR# □ 标量衍射和傅里叶变换
&%mXYj3y5 □ 矢量衍射和傅里叶模态法
mbxbEqz □
纳米光学元件的应用:抗反射、偏振控制、
成像、传感等
ba@ctkCW 8.微纳光学元件制作 KzV 2MO-$ □ 多阶器件加工
=Vw
5q},3 □ 连续器件加工
'e!J06 □ 传统套刻法
Hy_;nN+e □
激光直写法
CU)|-*uiK □ 纳米
光子器件制作概述
=1.9/hW □ 衍射光学元件公差分析
])}]/Qw 9.答疑 8gy_Yj&{P 有兴趣扫码加微联系