时间地点: SfL`JNi)
主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司;苏州黉论教育咨询有限公司 l{o{=]x1
授课时间:2023年12月28日(四)-30日(六)共3天 AM 9:00-PM 16:00 rK)
授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 y]4`d
课程讲师:讯技光电高级工程师 f:&OOD o
课程费用:5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用) }/0dfes
课程概要: j$oZIV7
本课程从基本衍射原理开始,逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上,进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上,再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论,并以此为基础阐明多种微纳光学元件(如偏振元件)的设计理念。与理论设计相应的,课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术,是以质量为先还是需要考虑批量加工成本,这些问题也会在课程中讨论。此外,更重要的一点是,衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的,甚至是有所制约的。因此,我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系,并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法,从而做到真正的学以致用,加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 ~'.yhPog
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课程大纲: 9,eR=M]+:
1.波动光学基础 !QS<;)N@
□ 双光束干涉及杨氏干涉 " z'!il#
□ 相干及非相干光源的传播特性 'k Z1&_{
□ 衍射光学与傅里叶变换 /- 4B)mL
2.衍射元件概述 J4 #]8!A
□ 衍射光学元件概念 S5a<L_
□ 衍射光学元件优点 + qqN
□ 光束分束、整形、扩散 wT yM9wz&
□ 傅里叶变换 JW'acD
□ 角谱理论 a\_,_psK
□ 工作装置类型 lFY8^#@
3.衍射光学元件理念及设计 j1+Y=@MA
□ 基本理念 >v,j;[(
□ 透镜和衍射光学元件的作用 }l!_m.#e
□ 分束、整形和扩散的实质 Yb{t!KL
□ 衍射光学元件的特征尺寸 Hvo27THLo
□ 衍射光学元件优化设计方法 &:K? -ac
4.IFTA简介 _ u2
□ 基本设计步骤 $Xc<K_Z
□ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 -V/i%_+Ze
□ 参数估算——周期和线宽的估算 PzDgl6C
□ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 -V<"Ay
□ 配置设计过程的优化评价函数 jloyJ@ck
5.衍射元件设计案例 uwA3!5
□ 衍射分束器参数选择 ,`@|C
Z-4A
□ 衍射分束器设计流程:规则和任意形状 lXKZNCL
□ 衍射整形器参数选择 6J+ZeBk??
□ 衍射整形器设计流程:1D和2D平顶型 TLgVuY
□ 衍射扩散器参数选择 r^^C9"
□ 衍射扩散器设计流程:平顶型和任意图案 ".D +#
2Kl
6.光栅模拟分析 b.;}Hq>
□ 构建stack qG]PUc>j
□ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 \"Iy<zG
□ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 B{ "<\g
□ 2D光栅表面镀膜分析 y8z%s/gRh
JvaaBXkS\
□ 3D表面具有减反结构的光栅分析 K_n%`5
□ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 EPy/6-5b
7.光栅概述 pj]<i.p
□ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 HCK4h DKo}
□ 标量衍射和傅里叶变换 <=M }[
□ 矢量衍射和傅里叶模态法 #KW:OFT
□ 纳米光学元件的应用:抗反射、偏振控制、成像、传感等 >.\E'e5^C
8.微纳光学元件制作 ( mlc']F
□ 多阶器件加工 L ai"D[N
□ 连续器件加工 *Fws]y2t~
□ 传统套刻法 ^&HYnwk
□ 激光直写法 0aWb s$FyU
□ 纳米光子器件制作概述 j83
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□ 衍射光学元件公差分析 idy:Jei}
9.答疑 GNOC5 E$I
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