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    [培训]线下课程-衍射及微纳光学系统的分析、设计及加工 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-10-13
    时间地点 u(? U[pe[  
    主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司;苏州黉论教育咨询有限公司 F{.g05^y  
    授课时间:2023年12月28日(四)-30日(六)共3天 AM 9:00-PM 16:00 *-q &~  
    授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 l=S!cj;  
    课程讲师:讯技光电高级工程师 ;p fN  
    课程费用:5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用) tI#65ox#  
    课程概要 f4NN?"W)  
    本课程从基本衍射原理开始,逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上,进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上,再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论,并以此为基础阐明多种微纳光学元件(如偏振元件)的设计理念。与理论设计相应的,课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术,是以质量为先还是需要考虑批量加工成本,这些问题也会在课程中讨论。此外,更重要的一点是,衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的,甚至是有所制约的。因此,我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系,并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法,从而做到真正的学以致用,加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 2e3AmR@*  
    j> dZ26 >N  
    .W2w/RayC  
    `_ZbA#R,  
    课程大纲 85] 'I%gT  
    1.波动光学基础 ]*U; }  
    □ 双光束干涉及杨氏干涉 $ kMe8F_  
    □ 相干及非相干光源的传播特性 "SWL@}8vx  
    □ 衍射光学与傅里叶变换 V|HO*HiB3  
    2.衍射元件概述 S==0/  
    □ 衍射光学元件概念 aM,g@'.=  
    □ 衍射光学元件优点 s- 0Xt<  
    □ 光束分束、整形、扩散 ;G"!y<F  
    □ 傅里叶变换 xt`a":lru  
    □ 角谱理论 1Ak0A6E  
    □ 工作装置类型 FJ?]|S.?,  
    3.衍射光学元件理念及设计 i??+5o@uTF  
    □ 基本理念 4 EA$<n(A-  
    透镜和衍射光学元件的作用 .N\t3\9}  
    □ 分束、整形和扩散的实质 Ag2Q!cq  
    □ 衍射光学元件的特征尺寸 |Dq?<Ha  
    □ 衍射光学元件优化设计方法 8(S|=cR  
    4.IFTA简介 $`t2SD  
    □ 基本设计步骤 )fS6H<*  
    光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 o@aXzF2  
    参数估算——周期和线宽的估算 Py+ B 2G|  
    □ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 ~=oCou`XF  
    □ 配置设计过程的优化评价函数 p#r qe<Ua  
    5.衍射元件设计案例 '9<8<d7?  
    □ 衍射分束器参数选择 ]<q!pE;t  
    □ 衍射分束器设计流程:规则和任意形状 4ISIg\:c*  
    □ 衍射整形器参数选择 j0 Os]a  
    □ 衍射整形器设计流程:1D和2D平顶型 #E<~WpP  
    □ 衍射扩散器参数选择 o`'4EVw*  
    □ 衍射扩散器设计流程:平顶型和任意图案 \lDh"  
    6.光栅模拟分析 ?A*<Z%}1?  
    □ 构建stack )2Y]A^Y   
    □ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 ~52'iI)Mw  
    □ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 H,j_2JOY=  
    □ 2D光栅表面镀膜分析 wp4  .~E  
    !Ow M-t  
    □ 3D表面具有减反结构的光栅分析 As tuM]  
    □ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 pB%oFWqK  
    7.光栅概述 nU#K=e =W  
    □ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 Z*NTF:6c  
    □ 标量衍射和傅里叶变换 X .K*</(g  
    □ 矢量衍射和傅里叶模态法 8Vt'X2  
    纳米光学元件的应用:抗反射、偏振控制、成像、传感等 RgM=g8}M  
    8.微纳光学元件制作 u'Hh||La"  
    □ 多阶器件加工 g^i\7'  
    □ 连续器件加工 {sq:vu@NC  
    □ 传统套刻法 ZR{YpLFQ  
    激光直写法 Y2g%{keo  
    □ 纳米光子器件制作概述 L}g#h+GP[  
    □ 衍射光学元件公差分析 a^O>i#i  
    9.答疑 U2Ky4UFm  
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