时间地点:
BA_l*h%=Cc 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司;苏州黉论教育咨询有限公司
kLbo |p"cT 授课时间:2023年12月28日(四)-30日(六)共3天 AM 9:00-PM 16:00
C12y_E8Un 授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室
b2YOnV 课程讲师:讯技光电高级工程师
%j ?7O00@ 课程费用:5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用)
K\$z,}0 课程概要:
|sDp>.. 本课程从基本衍射原理开始,逐步阐明光的衍射本质以及衍射
光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上,进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上,再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论,并以此为基础阐明多种微纳光学元件(如偏振元件)的设计理念。与理论设计相应的,课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术,是以质量为先还是需要考虑批量加工成本,这些问题也会在课程中讨论。此外,更重要的一点是,衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的,甚至是有所制约的。因此,我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系,并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法,从而做到真正的学以致用,加速在微纳光学领域的领悟及开拓。
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j{P3o<l&` 课程大纲:
/7C%m: 1.波动光学基础 EZ^M?awB4 □ 双光束干涉及杨氏干涉
bfA9aT □ 相干及非相干
光源的传播特性
n7d`J_%s □ 衍射光学与傅里叶变换
; T WYO 2.衍射元件概述 62#8c~dL □ 衍射光学元件概念
m\ /V 0V\ □ 衍射光学元件优点
LY!.u?D`P □ 光束分束、整形、扩散
~<[]l~` □ 傅里叶变换
cS"PIelR □ 角谱理论
q|e<b □ 工作装置类型
r5&?-G 3.衍射光学元件理念及设计 kZS&q/6A* □ 基本理念
5@~5RNrq2 □
透镜和衍射光学元件的作用
Fr9_!f □ 分束、整形和扩散的实质
{4b8s%:!4 □ 衍射光学元件的特征尺寸
&qZ:"k □ 衍射光学元件
优化设计方法
U&y?3 4.IFTA简介 =JB1 ]b{| □ 基本设计步骤
#NWc<Dd □
光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱
9_pOV%Qs □
参数估算——周期和线宽的估算
E)F"!56lV □ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率
,T7(!)dR □ 配置设计过程的优化评价函数
SL>0 _ 5.衍射元件设计案例 $-f(.S □ 衍射分束器参数选择
xsXf_gGu □ 衍射分束器设计流程:规则和任意形状
!,PoH □ 衍射整形器参数选择
7 *HBb- □ 衍射整形器设计流程:1D和2D平顶型
z>W'Ra6 □ 衍射扩散器参数选择
5[$jrG\! □ 衍射扩散器设计流程:平顶型和任意图案
)UG<KcdI 6.光栅模拟分析 ,?s:s&4 □ 构建stack
)L:p.E □ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次
Sc&p*G □ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析
NeY,Of| □ 2D光栅表面镀膜分析
5}2XnM2 3UQ~U 8 □ 3D表面具有减反结构的光栅分析
Mhze!! □ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析
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[n# 7.光栅概述 C@s;0-qL □ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件
Hf$LWPL)lM □ 标量衍射和傅里叶变换
$9O%,U@ □ 矢量衍射和傅里叶模态法
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□
纳米光学元件的应用:抗反射、偏振控制、
成像、传感等
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],1U 8.微纳光学元件制作 SiSxym □ 多阶器件加工
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s2I&pQ □ 连续器件加工
J2~oIe2!+ □ 传统套刻法
uSK<{UT~3 □
激光直写法
yTL<S ' □ 纳米
光子器件制作概述
_D?`'zN □ 衍射光学元件公差分析
:HG5{zP 9.答疑 ~eHu+pv 有兴趣扫码加微联系