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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-10-12
    关键词: 光学系统光栅
    摘要 J^a"1|  
    '{*>hj5.8  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 N~KRwsDH  
    2cL )sP}  
    1^>g>bn_"  
    tLXw&hFk`g  
    系统内光栅建模 n\p\*wb  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 *w,gi.Y3  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 dct#E CT  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 (`Mz.VN  
    6N)1/=)  
    6EWB3.x19  
    JU.%;e7  
    附着光栅堆栈 .O.R  
    OkUpgXU  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 A+DYIS  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 tP{$}cEY  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 \8aF(Y^H  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 <BA&S _=4  
    {f3fc8(p  
    lhj2u]yU0S  
    -y.AJ~T  
    堆栈的方向 -;-"i J0  
    0.0!5D[  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: T+D]bfjr&&  
    N+75wtLy&  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 BAHx7x#(  
    c `; LF'!  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。  RZ%X1$  
    r/2:O92E  
    V~Lq, oth  
    _AbEQ\P{  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 4pT|r6!<  
    ]l%.X7M9  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 >#|Yoc  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 )&Bv\Tfjt  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 SqB|(~S  
    H/Q)zDP  
    BB$>h-M/%#  
    eov-"SJB  
    高级选项和信息 Ghc0{M<  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 -+_&#twU  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 +r_[Tj|Er  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 MNC!3d(D\R  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 p04+"  
    BH a>2N  
    2s%M,Nb  
    KL]!E ~i  
    结构分解 8$Yf#;m[  
    @x +#ZD(  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 0B/a$NC  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 Hc|U@G  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 g1 ,  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 *`T &Dlt'8  
    F9r*ZyNlx  
    3=7h+ZgB  
    ^iS:mt  
    光栅级次通道选择 %$| k3[4V  
    vI}S6-"<  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 3HR]TQ%r  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 e8<nP t`C  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 [)vwg`]   
    A"iD4Q  
    (OQ @!R&  
    i]%"s_l  
    光栅的角度响应 ZY$@_DOB}  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 :Xh`.*{EX  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 ,8nZzVo  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 w{EU9C  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 eH/\7)z  
    2_b'mepV  
    vaJXX  
    z>;+'>XXgx  
    例:谐振波导光栅的角响应 E9 q;>)}  
    z}2e;d 7  
    C?|3\@7  
    F>(#Af9  
    谐振波导光栅的角响应 HTyF<K  
    >1I2R/'  
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