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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-10-12
    关键词: 光学系统光栅
    摘要 /mp!%j~  
    `?[,1   
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 OY81|N j  
    A9]& w  
    WQN`y>1#@_  
    x%H,ta%  
    系统内光栅建模 W+8s>  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 y"7*u 3>"  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 6A =k;do  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 8EJP~bt  
    9 5j`^M)Q  
    LcA7f'GVK  
    A2L"&dl  
    附着光栅堆栈 B0Z>di:  
    x<rS2d-Y  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。  `5(F'o  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 N}#"o  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 }.8yKj^p  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 vN_ 8qzWk  
    /%jX=S.5h<  
    {0+WVZ4u  
    Q;z!]hjBM  
    堆栈的方向 pZ*%zt]-a  
    -@]b7J?`k  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: *CQZ6&^  
    FAc^[~E  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 KlS#f  
    j$ lf>.[I  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 -'D ~nd${  
    cl4 _M{~  
    =<PEvIn  
    ^ZS!1%1  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 hP.Km%C)0n  
    #U w X~  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 4:**d[|1  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 b+arnKo1fk  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 fdwP@6eh  
    >/ A'G  
    'xnI N u  
    +C,/BuG  
    高级选项和信息 z>y# ^f)r  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 ?>V>6cDQ  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 ^\`a-l^  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 +%klS `_  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 a-F I`Dv  
    aqQ+A:g  
    FZ]+(Q"]:  
    #M'V%^xP  
    结构分解 #+U1QOsz  
    `s UY$Q  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 y4IQa.F  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 d8 Jf3Mo  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 Z'!ORn#M  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 / bH2Z  
    |`o1B;lc  
    s>\^dtG7  
    -z-yk~F  
    光栅级次通道选择 6:; >id${  
    /~;!Ew|q  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 xw_)~Y%\  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 /hVwrt(  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 "zXrfn  
    ;;Z'd@  
    ns\I Y<Yo  
    /)K;XtcN  
    光栅的角度响应 { 29aNm  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。  |xg#Q`O  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 T!41[vm(  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 m`q&[:  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 ]yqE6Lf9  
    m2l9([u=^  
    =23@"ji@D  
    +U_1B%e(%  
    例:谐振波导光栅的角响应 A! HJ  
    M&faa7  
     s7:H  
    .o C! ~'  
    谐振波导光栅的角响应 k%O3\q  
    a:HN#P)12  
     
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