摘要
{=Y.Z1E: (oYM}#Q 光栅是
光学中最常用的衍射元件之一。如今，它们经常被用于复杂的
系统中，并与其他元件一起工作。在这种情况下，非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来
模拟，而是与系统的其余部分结合，以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件，允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅，无论是一维周期光栅(层状)，二维周期光栅，或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能，包括光栅级次的设置和堆栈的定位。
nI -^ Qo!/n`1 9 
DKjkO5R\ l ~/g^lN 系统内光栅建模
-qPYm ?$ 在一般光路中，光栅元件可以插入到系统的任何位置。
~t $zypw 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模，并因此评估整个系统的性能成为可能，同时考虑光栅的可能影响。
hY?x14m$3 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。
c&+p{hH+ kc3dWWPe 
483BrF V SLa\F 附着光栅堆栈
9K>$ 5df~] -=0Y 为了描述系统内的光栅，光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。
O;N QJ$^bI 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示；
仿真中不考虑孔径效应。
!;YmLJk;hN 参考面可以在三维系统视图中可视化，以帮助排列光栅。
*
7ki$f! 所应用的光栅
结构可以是一维周期(层状)，也可以是二维周期(交叉光栅)。
]yxRaW9f tr] =q9
JVzU'd;1! {jOCz1J 堆栈的方向
/A U&
X Y6|8;2E 堆栈的方向可以用两种方式指定：
l%aiG+z%6} O l,Tw=? 它既可以应用在表面的正面，也可以应用在背面(在固体标签中定义)。
X0=#e54 a!1 \,. 请注意，如果堆栈位于正面，堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系，需要在定义高度轮廓时加以考虑。
24TQl<H{ (W<n<sl:- 
; 7`y## #1:&uC1vj 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角
6$}hb|j `YDe<@6' 作为一种惯例，往往忽略基底的影响，例如衍射效率的计算。
n$* 'J9W~ 然而，任何实际的光栅结构必须建立在基底上，因此，我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。
7R 40t3 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。
p Zu2[ AeqxH1 % 
a'LM6A8~x ,FvBZ.4c3= 高级选项和信息
YQzs0t , 在求解器菜单中有几个高级选项可用。
0L
"+, 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”，也被称为RCWA，“严格耦合波分析”)算法的精度设置。
^K4#_H#" 既可以设置考虑的总级次数，也可以设置倏逝级次数。
QMGMXa 如果考虑金属光栅，这可能是有用的。相反，对于介质光栅，默认设置就足够了。
1D42+cy /7$3R V( 
t7rz]EN [@U2a$k+d 结构分解
:nuMakZZ By| y: 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。
OY'490 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。
*&b~cyC 此外，还提供了有关层数和转换点数的信息。
dMAd-q5{ 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。
p{knQ], `%lgT+~T 
\vBpH'hR,' $z-zscco 光栅级次通道选择
Hq.ys> _ %&L]k>n^ 可以定义具体的透射和反射级次，以供模拟中考虑。在表面被从背面
照明的情况下，也可以有不同的级次。
^^[MDjNy@ 并不总是需要考虑所有的衍射级，我们建议只使用那些感兴趣的，以确保更有效的模拟。
>&K1+FSmyJ 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。
[vuq H:Ln ,Db+c3 
%KxL{ HY ?@"B:#l 光栅的角度响应
u:+wuyu 在VirtualLab Fusion中，光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。
^<0u~u)%T 对于给定的光栅，其衍射行为与输入场有关。
&J~vXk:
! 不同波长/偏振态下的衍射效率不同，不同入射角度下的衍射效率也不同。
S ^? &a5{o 为了解决角度相关的衍射行为，可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。
4%Q8>mEvT F&r+"O)^-R 
s 2t'jIB ^ c1%$@H 例：谐振波导光栅的角响应
;<Dou7= :IFTiq5a; 
}(AgXvRq +k F$I7LN 谐振波导光栅的角响应
bP% 0T++vo #4. S2m4 
