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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-10-12
    关键词: 光学系统光栅
    摘要 <kbnu7?a*  
    ^c'f<<z|7r  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 WZK :.y  
    Z= ik{/  
    |j# ^@R  
    (9'be\  
    系统内光栅建模 L*^ V5^-  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 !gJzg*{u@  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 rKIRNc#d  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 bd{\{[^S!  
    m1y `v"  
    zbg+6qs})  
    I>hmbBlDv  
    附着光栅堆栈 b9#m m  
    . s-5N\  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 xVTo4-[p  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 Hz?,#>{  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 2@ *<9-9  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 5L3{w+V  
    Xi+n`T'i  
    nl9kYE [  
    K0 QH?F  
    堆栈的方向 R8ZD#,;  
    %mL5+d-oP  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: D2$^"  
    _.-#E$6s#q  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 ?RJdn]`4j  
    oX{@'B  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 ^XNw$@&',  
    Z9f/-|r5  
    Y{j7Q4{  
    e# <4/FR  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 %2YN,a4  
    IywiCMjH  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 PJ;.31u  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 c dDY]"k  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 l.uN$B  
    ->3uOF!q  
    &t_A0z  
    R. O  
    高级选项和信息 lJlhl7  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 wBE7Bv45  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 OOfy Gvs  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 }pK v.  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 GI?PGAT  
    FvAbh]/4  
    '(TmV#3  
    BPh".RJ  
    结构分解 "R8.P/ 3  
    y]7%$* <  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 @"0uM?_)-  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 fw:7U %MGv  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 HS(U4   
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 J ZA*{n2  
    'H!V54 \j  
    2'Y{FY_Z  
    [0wP\{%  
    光栅级次通道选择 <c(&T<$  
    {N "*olx  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 :q(D(mK  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 .Jptj  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 %uj[`  
    9@Q&B+!  
    X:U=MWc>  
    "~_$T@^k>  
    光栅的角度响应 3Fgz)*Gu]  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 JV&Zwbu  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 )=y.^@UT@  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 ?THa5%8f  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 O/(3 87=U  
    i},d[  
    40R"^*  
    =,O /,2)  
    例:谐振波导光栅的角响应 Qg[heND  
    n%n'1AUP:  
    z1kBNOr  
    (VfwLo>#  
    谐振波导光栅的角响应 - Sx0qi'%  
    l},dQ4R  
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