摘要 Mno4z/4{A
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光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今，它们经常被用于复杂的系统中，并与其他元件一起工作。在这种情况下，非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟，而是与系统的其余部分结合，以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件，允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅，无论是一维周期光栅(层状)，二维周期光栅，或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能，包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 qSMST mnQ
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系统内光栅建模 ~LHG
在一般光路中，光栅元件可以插入到系统的任何位置。 f6^H
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这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模，并因此评估整个系统的性能成为可能，同时考虑光栅的可能影响。 Gy
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光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 vN 7a)s
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附着光栅堆栈 (ui"vLk8PP
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为了描述系统内的光栅，光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 " 9 h]P^
元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示；仿真中不考虑孔径效应。 rjQ V;kX>
参考面可以在三维系统视图中可视化，以帮助排列光栅。 }9>W41
所应用的光栅结构可以是一维周期(层状)，也可以是二维周期(交叉光栅)。 vgHMVzxj
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堆栈的方向 Kw &J< H
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堆栈的方向可以用两种方式指定： [Pby
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它既可以应用在表面的正面，也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 &B Cl>^wn}
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请注意，如果堆栈位于正面，堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系，需要在定义高度轮廓时加以考虑。 =wPl;SDf!
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基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 O@ '/B" &
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作为一种惯例，往往忽略基底的影响，例如衍射效率的计算。 A/W0O;*q
然而，任何实际的光栅结构必须建立在基底上，因此，我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 mE%H5&VSI
平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 {*`qL0u]^
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高级选项和信息 L/"XIMI*Xg
在求解器菜单中有几个高级选项可用。 y0M^oL x
求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”，也被称为RCWA，“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 gx#xB 8n
既可以设置考虑的总级次数，也可以设置倏逝级次数。 !CTchk<{(
如果考虑金属光栅，这可能是有用的。相反，对于介质光栅，默认设置就足够了。 QK% { \qu
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结构分解 : 7<spd(%"
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结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 .4^Ep\\
层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 zdzTJiY2[Z
此外，还提供了有关层数和转换点数的信息。 ; ob>$ _
分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 +tkD T@ `
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光栅级次通道选择 <6)Ogv",
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可以定义具体的透射和反射级次，以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下，也可以有不同的级次。 /G9wW+1
并不总是需要考虑所有的衍射级，我们建议只使用那些感兴趣的，以确保更有效的模拟。 S2 kFdx*Zf
光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 6UG7lH!M
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光栅的角度响应 Vi?[yu<F
在VirtualLab Fusion中，光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 b<P9@h~:
对于给定的光栅，其衍射行为与输入场有关。 U
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不同波长/偏振态下的衍射效率不同，不同入射角度下的衍射效率也不同。 Pb]: i+c)
为了解决角度相关的衍射行为，可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 |`1lCyV\tE
u K6R+a
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P B_ +:S^8
例：谐振波导光栅的角响应 :Gsh
GF*8(2h2
l<>syHCH;L
PxNp'PZr9
谐振波导光栅的角响应 F" 1)y>2k
@#hd8_)A.
