摘要
Y%KowgP\ Na0^csPm 光栅是
光学中最常用的衍射元件之一。如今，它们经常被用于复杂的
系统中，并与其他元件一起工作。在这种情况下，非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来
模拟，而是与系统的其余部分结合，以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件，允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅，无论是一维周期光栅(层状)，二维周期光栅，或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能，包括光栅级次的设置和堆栈的定位。
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s s cbf sxNf"C=-. 系统内光栅建模
*u},(4Qf 在一般光路中，光栅元件可以插入到系统的任何位置。
dyQ7@K.E 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模，并因此评估整个系统的性能成为可能，同时考虑光栅的可能影响。
gIB3 DuUo 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。
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z?byNd8 JR l=j2z 附着光栅堆栈
]s\r3I] $$9H1)Ny 为了描述系统内的光栅，光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。
iLy^U*y K 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示；
仿真中不考虑孔径效应。
fn}E1w 参考面可以在三维系统视图中可视化，以帮助排列光栅。
|AYii-g 所应用的光栅
结构可以是一维周期(层状)，也可以是二维周期(交叉光栅)。
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x-%O1frc 0L}`fYf 堆栈的方向
{ DYY9MG8 UmR)L!QT8 堆栈的方向可以用两种方式指定：
<Lb LMV % 1 ?t)Bg 它既可以应用在表面的正面，也可以应用在背面(在固体标签中定义)。
%' DO FiU 5rsz2;#p 请注意，如果堆栈位于正面，堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系，需要在定义高度轮廓时加以考虑。
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N :`_Vl Phn^0 iF 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角
i}m'#b P(aBJ*((~ 作为一种惯例，往往忽略基底的影响，例如衍射效率的计算。
|"*P`C= 然而，任何实际的光栅结构必须建立在基底上，因此，我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。
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|$p\;/ 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。
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V( ELrjB0 Cy-p1s 高级选项和信息
SeHrj&5U 在求解器菜单中有几个高级选项可用。
L^q CE-[ 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”，也被称为RCWA，“严格耦合波分析”)算法的精度设置。
13?:a[~=Y 既可以设置考虑的总级次数，也可以设置倏逝级次数。
Xu-~j! 如果考虑金属光栅，这可能是有用的。相反，对于介质光栅，默认设置就足够了。
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:<g0Ho?e RP~nLh3=\ 结构分解
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@bU@H 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。
wDvu2iC= 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。
bF _]j/ 此外，还提供了有关层数和转换点数的信息。
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j_-iF 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。
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?o(284sV3 'Xik2PaO 光栅级次通道选择
[{Wo:c9Qq1 Ta[2uv> 可以定义具体的透射和反射级次，以供模拟中考虑。在表面被从背面
照明的情况下，也可以有不同的级次。
0moA mfc 并不总是需要考虑所有的衍射级，我们建议只使用那些感兴趣的，以确保更有效的模拟。
jf)cDj 2 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。
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b%l H=u &4OOW;,?< 光栅的角度响应
R+!U. :-yz 在VirtualLab Fusion中，光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。
P5my]4|x 对于给定的光栅，其衍射行为与输入场有关。
W3~u J( 不同波长/偏振态下的衍射效率不同，不同入射角度下的衍射效率也不同。
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bnV@ 为了解决角度相关的衍射行为，可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。
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(Z<@dkO?) b_s asZo 例：谐振波导光栅的角响应
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(AE%eA faO iNR7;h 谐振波导光栅的角响应
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