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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-10-12
    关键词: 光学系统光栅
    摘要 |R\>@Mg#B  
    a]tVd#  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 "y/?WQ>,3  
    |3yL&"  
    2{G:=U  
    F,)%?<!I  
    系统内光栅建模 O2dW6bt  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 t "'7m^j  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 * U=s\  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 uT7B#b7  
    5>N2:9We  
    =CVBBuVy  
    \%N!5>cZ{  
    附着光栅堆栈 g:Xhw$x9  
    t$#jL5  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 R)ITy!z  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 xCl1g4N  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。  dZ0vA\z|  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 G.dTvLv  
    +8d1|cB"  
    DG ;_Vg  
    q0r>2c-d  
    堆栈的方向 0-yp,G  
    z]`k#O%%)  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: g0Gf6o>2  
    $#pP Z  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 l &5QZI0I  
    =\wxsL  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 UH-*(MfB  
    !1{e|p 7  
    k:F9. j%*  
    dD|OSB7 I7  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 jeH~<t{  
    OGg>#vj,s  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 LKOwxF#TKT  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 fd<:_f]v  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 W~9tKT4  
    RM]M@%,K  
    22M1j5  
    A5R<p+t6  
    高级选项和信息 +kO!Xc%P&  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 "x*e gI  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 MUREiL9L|  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 4Vi`* !  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 0C irfcs}Z  
    pRIhFf  
    T)TfB(  
    ,J^b0@S  
    结构分解 nR}sNl1  
    .e=:RkI,  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 YS@ypzc/  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 Be=u&T:~  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 q?DTMKx  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 <[\`qX  
    1o;J,dYu  
    }v!$dr,j '  
    QaS7z#/?.  
    光栅级次通道选择 %GA"GYL9'  
    I]<_rN8~o  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 eWtZ]kB  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 #W'HR  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 >qjq=Ege  
    ()Y4v  
    ],FMwCI  
    Yu[ t\/  
    光栅的角度响应 MVTMwwO\[  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 sRx63{  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 aM2l2  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 2w_WAdi  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 3U.88{y  
    4c$ zKqz  
    "2P&X  
    +"cq(Y@  
    例:谐振波导光栅的角响应 A3no~)wZn  
    1[qLA!+  
    o( RG-$  
    K/b_22]CC  
    谐振波导光栅的角响应 5eoska#y   
    Z&4&-RCi  
     
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