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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-10-12
    关键词: 光学系统光栅
    摘要 t#eTV@-  
    G'aDb/  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 Tc3yS(aq  
    )IZ~G\Ra'  
    }|5Pr(I  
    fL7xq$K  
    系统内光栅建模 >t_6B~x9  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 dzrio-QU~  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 ! #2{hQRu  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 GF=g<H M  
    4)o  
    =kG@a(-  
    )p%E%6p  
    附着光栅堆栈 `%WU8Yv  
    R<N ]B  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 YLn?.sV{[0  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 :tv,]05t  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 FH+s s!  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 zjoq6  
    \=0Vi6!Mc  
    ] {HI?V  
    0'?L#K  
    堆栈的方向 "OnGE$   
    y9}>:pj4  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: lQkQ9##*   
    %FIE\9  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 fIv*T[  
    0}q uG^%_  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 Z!X0U7& U  
    ;q6Ki.D  
    LTx,cP  
    5iyd Z  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 j]/RC(;?  
    RF0HjgP  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 J!U}iD@occ  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 QWHug:c  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 d <JM36j?  
    [-oc>; `=l  
    C#Iybg  
    c.F6~IHu7  
    高级选项和信息 !5uGd`^I  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 ) M BQuiL  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 j9+w#G]hV  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 G,Azm }+  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 Dy8r 9  
    P;]F(in=  
    Y#$%iF  
    K1!j fp  
    结构分解 LW_ f  
    >%8KK|V{  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 _D(rI#q  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 =xx]@  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 7,9=uk>0\  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 "y/?WQ>,3  
    [!]2 djc  
    Y,t={HiclX  
    SPmq4  
    光栅级次通道选择 |T)6yDL  
    2Gaa(rJ5o  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 JKGe"  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 T\ >a!  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 ; _1 at  
    KE3;V2Ym f  
    CDR@ `1-  
    q\p:X"j|  
    光栅的角度响应 5 -RsnF  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 ls:w8 &`*  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 6wECo  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 ?\s+EE&-  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 .rqhi  
    \WB<86+z  
    M>ruKHipFE  
    /F'sb[  
    例:谐振波导光栅的角响应 |kV*Jc k  
    ly_HWuFJ3  
    g0Gf6o>2  
    $#pP Z  
    谐振波导光栅的角响应 l &5QZI0I  
    =\wxsL  
     
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