摘要
bUwn}_7b 56lCwXCgA 光栅是
光学中最常用的衍射元件之一。如今，它们经常被用于复杂的
系统中，并与其他元件一起工作。在这种情况下，非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来
模拟，而是与系统的其余部分结合，以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件，允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅，无论是一维周期光栅(层状)，二维周期光栅，或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能，包括光栅级次的设置和堆栈的定位。
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BaI $S>/Q #N(= 3Cj 系统内光栅建模
/^SAC%PD 在一般光路中，光栅元件可以插入到系统的任何位置。
"ww|&-W9 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模，并因此评估整个系统的性能成为可能，同时考虑光栅的可能影响。
796\ jf$ 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。
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3f.b\4 U yF}OfK?0f 附着光栅堆栈
2j JmE&)7, <*ZJaBwWU~ 为了描述系统内的光栅，光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。
`:8J46or 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示；
仿真中不考虑孔径效应。
{PP9$>4`l 参考面可以在三维系统视图中可视化，以帮助排列光栅。
a ] 17qMl 所应用的光栅
结构可以是一维周期(层状)，也可以是二维周期(交叉光栅)。
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SvM6iZ] (_kp{0r# 堆栈的方向
(tah]Bx +M ewo 堆栈的方向可以用两种方式指定：
~)LH='|h\} Xaz o 9J 它既可以应用在表面的正面，也可以应用在背面(在固体标签中定义)。
V]Om fPve i$G;f^Z!Y
请注意，如果堆栈位于正面，堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系，需要在定义高度轮廓时加以考虑。
E:sz$\Ht) J?@DGp+t 
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Dl <~ad: [ 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角
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n A p6i iX u]e;6 作为一种惯例，往往忽略基底的影响，例如衍射效率的计算。
,[S+T.Cu 然而，任何实际的光栅结构必须建立在基底上，因此，我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。
l& 4,v 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。
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%PfrJ 高级选项和信息
h^,8r d 在求解器菜单中有几个高级选项可用。
~vmd XR`'T 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”，也被称为RCWA，“严格耦合波分析”)算法的精度设置。
gTgMqvt 既可以设置考虑的总级次数，也可以设置倏逝级次数。
CTt vyr 如果考虑金属光栅，这可能是有用的。相反，对于介质光栅，默认设置就足够了。
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t*z~5_/ Re:jVJg Bz 结构分解
h~&g Iub />¬$> 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。
!TZhQiorC 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。
N8qDdr9p?c 此外，还提供了有关层数和转换点数的信息。
Wcb7
;~K 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。
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t* @2 OW`! ~$' \L 光栅级次通道选择
LmlXMia sK{l 9 可以定义具体的透射和反射级次，以供模拟中考虑。在表面被从背面
照明的情况下，也可以有不同的级次。
D3|oOOoG 并不总是需要考虑所有的衍射级，我们建议只使用那些感兴趣的，以确保更有效的模拟。
kKD`rfyG \ 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。
M02uO`Y9 gu #-O ?B 
.s#;s'>g jV .g}F+1m 光栅的角度响应
{x'GJtpb 在VirtualLab Fusion中，光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。
Fk(JSiU 对于给定的光栅，其衍射行为与输入场有关。
(P&4d~) m 不同波长/偏振态下的衍射效率不同，不同入射角度下的衍射效率也不同。
9lB]~,z 为了解决角度相关的衍射行为，可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。
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*f ,DhT/P R' kyrEO 例：谐振波导光栅的角响应
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*~m+Nc`D,N &1+X\c+t b 谐振波导光栅的角响应
&/Ro lIHF Bo<>e~6P 
