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    [技术]用于光学检测的斐索干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-10-11
    摘要 H*h7Y*([  
    e2P ds`  
    @Yl&Jg2l'  
    nw)yK%`;M  
    斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 u>YC4&  
    &~6W!w  
    建模任务 $_u9Y!  
    ZQ0R3=52r  
    O.9r'n4f  
    Kt 0 3F$  
    观测倾斜平面 YhZmyYamE  
    >~D-\,d|f  
    V>Zw" #Q  
    T&/ ]|4  
    观测柱面 5y1:oiE/  
    "< c,I=A  
    {hE\ECT-  
    zx(=ArCRr  
    观测球面 =Eh~ wm  
    3Dm`8Xt  
    <z=d5g{n  
    F/QRgXV  
    走进VirtualLab Fusion U)3*7D  
    d=6FL" .o  
    .5'_5>tkv  
    qZcRK9l]F1  
    VirtualLab Fusion的工作流程 @_+B'<2  
     设置输入场 Q#Vg5H4  
    - 基本光源模型 [教学视频] HqZ3]  
     使用表面构造真实元件 !n?8'eqWru  
    HZ+l){u  
     定义元件的位置和方向 Y[8GoqE|  
    - LPD II:位置和方向 [教学视频] 6UXDIg=  
     为非序列场追迹设置合适的通道 Q)$RE{*-  
    - 非序列场追迹的频道设置 [用例] "E6*.EtTN#  
    da,Bnze0  
    y\M Kd[G7  
    +W8L^Wl  
    VirtualLab Fusion技术 #7Pnw.s3zz  
    _T{ "F  
     
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