[技术]用于光学检测的斐索干涉仪 [复制链接]

摘要 ?*){%eE  
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斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器，常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术，我们建立了斐索干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，如柱面和球面，可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 0 fX  
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建模任务 <KlG#7M>  
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观测倾斜平面 bS[;d5  
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观测柱面 ckG`^<  
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观测球面 _Z'[-rcXWh  
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走进VirtualLab Fusion V/"P};n  
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VirtualLab Fusion的工作流程 0<(F 8  
 设置输入场 d)d\h`=Z  
- 基本光源模型 [教学视频] S&N[@G  
 使用表面构造真实元件 U(*k:Fw  
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 定义元件的位置和方向 rRgP/E#_  
- LPD II：位置和方向 [教学视频] RHe'L36W  
 为非序列场追迹设置合适的通道 jr,j1K@_t  
- 非序列场追迹的频道设置 [用例] t{A/Lq9AM  
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VirtualLab Fusion技术 u^5X@.  
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