G7yxCU(I\ 内容简介
PHoW|K_e Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
"6ZatRUd 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
VybiuP 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
*KMCU
m R ~b$7jpd 讯技科技股份有限公司
"^\ 4xI 2015年9月3日
~I'hiV^- 目录
E5rNC/Ul$$ Preface 1
h*Ej}_
内容简介 2
i^8Zp;O"f 目录 i
q+z,{K 1 引言 1
~7*HZ:. 2 光学薄膜基础 2
gaJS6*P# 2.1 一般规则 2
L6FUC6x" 2.2 正交入射规则 3
-Fb/GZt| 2.3 斜入射规则 6
i9\Pks#l% 2.4 精确计算 7
R_lNC]b0 2.5 相干性 8
7YsFe6D" 2.6 参考文献 10
^E9@L?? 3 Essential Macleod的快速预览 10
(C!fIRY 4 Essential Macleod的特点 32
MRs8l 4.1 容量和局限性 33
T+\BX$w/4e 4.2 程序在哪里? 33
Qtk'^Fc 4.3 数据文件 35
Qr/?tMALc 4.4 设计规则 35
+}^ 4.5 材料数据库和
资料库 37
&B)
F_E I 4.5.1材料损失 38
EV9m\'=j 4.5.1材料数据库和导入材料 39
}MoCUN)I 4.5.2 材料库 41
|(w x6H: 4.5.3导出材料数据 43
} nQHP4' 4.6 常用单位 43
6A%Y/oU+2 4.7 插值和外推法 46
bBZvL 4.8 材料数据的平滑 50
%j=7e@ 4.9 更多光学常数模型 54
-V9Cx_]y 4.10 文档的一般编辑规则 55
{MIs%w.G 4.11 撤销和重做 56
NY_Oo!)3 4.12 设计文档 57
S"lcePN 4.10.1 公式 58
cewQQ& 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
M+Dkn3bx 4.10.3 沉积密度 59
?&?y-&.5- 4.10.4 平行和楔形介质 60
2WKA] l; 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
k|w6&k3 4.10.4 性能 61
PoC24#vS 4.10.5 保存设计和性能 64
}ts?ZR^V, 4.10.6 默认设计 64
Rq;R{a 4.11 图表 64
p{.EFa>H 4.11.1 合并曲线图 67
%bddR;c 4.11.2 自适应绘制 68
KxY|:-"Tt 4.11.3 动态绘图 68
fz:F*zT1 4.11.4 3D绘图 69
ek.L(n,J| 4.12 导入和导出 73
r8@:Ko= a 4.12.1 剪贴板 73
uu(.,11` 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
py)V7*CgH 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
Am-JB 4.13 背景 77
'A4Lr
4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
\&SP7~-eq 4.15 生成Rugate 84
KBXdr5 2" 4.16 参考文献 91
p_[k^@$ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
iE$0-Qe[3 5.1 Jobs 92
B
[03,zVf 5.2 创建一个新Job(工作) 93
?vvjwys@ 5.3 输入材料 94
<;=X7l+ 5.4 设计数据文件夹 95
T1D7H~\lG 5.5 默认设计 95
K2NnA 6 细化和合成 97
puDy&T 6.1 优化介绍 97
iHTxD1D+H 6.2 细化 (Refinement) 98
<>p\9rVp*^ 6.3 合成 (Synthesis) 100
t@b';Cuv 6.4 目标和评价函数 101
GAQVeL1 6.4.1 目标输入 102
l'c|I
&Y] 6.4.2 目标 103
nc([e9_9v 6.4.3 特殊的评价函数 104
wN;o++6V 6.5 层锁定和连接 104
^M8\ 3G 6.6 细化技术 104
+i{&"o4} 6.6.1 单纯形 105
9-9`;Z 6.6.1.1 单纯形
参数 106
7HFw*; 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
)KkA<O}f 6.6.2.1 Optimac参数 108
sA:0b5_a 6.6.3 模拟退火算法 109
AM,@BnEcuT 6.6.3.1
模拟退火参数 109
)0!hw|0| 6.6.4 共轭梯度 111
}KJ/WyYW 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
Zb3E-'G+ 6.6.5 拟牛顿法 112
9].!mpR 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
XVE(p3- 6.6.6 针合成 113
Gu9Ap<>! 6.6.6.1 针合成参数 114
gr yC# 6.6.7 差分进化 114
i
yMIP~N,$ 6.6.8非局部细化 115
!i0:1{. 6.6.8.1非局部细化参数 115
pl'n
0L<l 6.7 我应该使用哪种技术? 116
v"\Q/5p 6.7.1 细化 116
-SZ^;t 6.7.2 合成 117
u:<%!? 6.8 参考文献 117
L7C!rS 7 导纳图及其他工具 118
.z)E 7.1 简介 118
-&%#R_RV 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
cl)%qIXj}H 7.2.1 四分之一
波长规则 119
s:,BcVLx^ 7.2.2 导纳图 120
"m(HQ5e)* 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
nTp? 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
R8?Xz5 7.5 斜入射导纳图 141
rWAJL9M 7.6 对称周期 141
>4b-NS/}0 7.7 参考文献 142
`TBau:E lI 8 典型的镀膜实例 143
(hs[B4nV 8.1 单层抗反射薄膜 145
(?;Fnq 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
P]1`=- 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
#|xK>; 8.4 W-膜层 148
d%\en&:la 8.5 V-膜层 149
e\tcP 8.6 V-膜层高折射基底 150
44]/rP_m 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
u 6$fF= 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
<Hig,(=`. 8.9 四层抗反射薄膜 153
WR%x4\,d# 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
V1,O7m+F2 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
g;D
[XBp 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
{H=DeQ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
Sc`W'q^X 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
1s"6 8.15十五层宽带抗反射膜 159
2y`rS
_2 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
/2tgxm$} 8.17 1/4波长堆栈 162
T\NvN&h- 8.18 陷波滤波器 163
ix [aS 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
[2WJ>2r}6 8.20 褶皱 165
IhhB^E| 8.21 消偏振分光器1 169
T&j_7Q\;vI 8.22 消偏振分光器2 171
$i7iv 8.23 消偏振立体分光器 172
ag+$qU 8.24 消偏振截止滤光片 173
:?O+EE 8.25 立体偏振分束器1 174
g#2Q1t,~U 8.26 立方偏振分束器2 177
vdyLwBz: 8.27 相位延迟器 178
f4@>7K]9TA 8.28 红外截止器 179
g/'CX}g` 8.29 21层长波带通滤波器 180
NffZttN 8.30 49层长波带通滤波器 181
Zx@/5!_n. 8.31 55层短波带通滤波器 182
@rB!47! 8.32 47 红外截止器 183
z
GhJ 8.33 宽带通滤波器 184
E%FCOKw_ 8.34 诱导透射滤波器 186
Xb@lKX5Re 8.35 诱导透射滤波器2 188
|kB1>$ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
gf$5pp- 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
_e
E(P1 8.35 增益平坦滤波器 193
FFQ=<(Ki 8.38 啁啾反射镜 1 196
WPPz/c|j 8.39 啁啾反射镜2 198
A'^y+42jY 8.40 啁啾反射镜3 199
.v?Ir) 8.41 带保护层的铝膜层 200
8!(4;fN$j. 8.42 增加铝反射率膜 201
c*sK| U7) 8.43 参考文献 202
]2`PS<a2 9 多层膜 204
60c cQ7= 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
0pYO-@E 9.2 内部透过率 204
:OT~xU==H 9.3 内部透射率数据 205
6nRXRO 9.4 实例 206
.KSPr 9.5 实例2 210
Oc8]A=M12 9.6 圆锥和带宽计算 212
t2Q40'
` 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
ky0Fm
W 10 光学薄膜的颜色 216
Y]!8Ymuww@ 10.1 导言 216
(qG |.a 10.2 色彩 216
{x$jGiag+8 10.3 主波长和纯度 220
yhhW4rz 10.4 色相和纯度 221
w
4-E@>% 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
zkHwoAD;t8 10.6 色差 226
8FYcUvxfT 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
\3a(8Em 10.8 颜色渲染指数 234
?0QoYA@.$ 10.9 色差计算 235
J\VG/)E 10.10 参考文献 236
nG
hFY Ql 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
<!g q9 11.1 短脉冲 238
k`[ L 11.2 群速度 239
k<x
% 11.3 群速度色散 241
Wyh
11.4 啁啾(chirped) 245
p^S]O\;M7 11.5 光学薄膜—相变 245
mMo<C_~w& 11.6 群延迟和延迟色散 246
ky*-THS 11.7 色度色散 246
R-CFF 11.8 色散补偿 249
V bQ9o 11.9 空间
光线偏移 256
tai 11.10 参考文献 258
WtlPgT;wE 12 公差与误差 260
t F^|,9_< 12.1 蒙特卡罗模型 260
vF,\{sgW 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
=23JE'^= 12.2.1 误差工具 267
8JvF4'zx 12.2.2 灵敏度工具 271
DWT4D)C,U 12.2.2.1 独立灵敏度 271
j<[+vrj 12.2.2.2 灵敏度分布 275
}$E cNm$% 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
2@ 4^ 81 12.3 参考文献 276
yv2BbrYyy 13 Runsheet 与Simulator 277
0tV" X 13.1 原理介绍 277
BCN<l +u 13.2 截止滤光片设计 277
N]qX^RSb 14 光学常数提取 289
woIcW 14.1 介绍 289
$7
1(g$6# 14.2 电介质薄膜 289
3N%%69JN) 14.3 n 和k 的提取工具 295
9;,_Qq 14.4 基底的参数提取 302
Gc6`]7 s 14.5 金属的参数提取 306
bj)dYjf 14.6 不正确的模型 306
R?bF
b|5t 14.7 参考文献 311
B]jI^(P 15 反演工程 313
3e~X`K1Q< 15.1 随机性和
系统性 313
s+m,ASj 15.2 常见的系统性问题 314
A'(v]w 15.3 单层膜 314
'Y`.0T[& 15.4 多层膜 314
%*d(1?\o 15.5 含义 319
v"x{oD$R 15.6 反演工程实例 319
1~X~"M 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
dfkmIO%9X 15.6.2 反演工程提取折射率 327
@#sBom+K` 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
LZC)vF5 16.1 光学性质的热致偏移 329
OFS` ?> 16.2 应力工具 335
E*rnk4Y 16.3 均匀性误差 339
%*4Gx +b 16.3.1 圆锥工具 339
%) A-zzj 16.3.2 波前问题 341
/y2upu*! 16.4 参考文献 343
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