8|#p D4e 内容简介
~rU{Q>c Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
j]_"MMwk$< 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
Mj@ 0F
2hy 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
G@n%P~ W%7m3/d 讯技科技股份有限公司
[R[Suf 2015年9月3日
A|U_$!cLZ 目录
wms8z Preface 1
?_c*(2i&^ 内容简介 2
?l<u %o 目录 i
Aa/lKiiz 1 引言 1
Z)zmT%t 2 光学薄膜基础 2
|LDo<pE*V4 2.1 一般规则 2
BK:S: 2.2 正交入射规则 3
KuO5` 2.3 斜入射规则 6
FPPGf!Eq 2.4 精确计算 7
_7zER6#} 2.5 相干性 8
(yel 2.6 参考文献 10
8.Ty
,7Z 3 Essential Macleod的快速预览 10
xcYYo'U 4 Essential Macleod的特点 32
[0e}%!%M 4.1 容量和局限性 33
L);kwx7{LW 4.2 程序在哪里? 33
f&ym'S 4.3 数据文件 35
Gv}h/zu- 4.4 设计规则 35
cx8H.L 4.5 材料数据库和
资料库 37
cy6P=k* 4.5.1材料损失 38
;-d :!* 4.5.1材料数据库和导入材料 39
|f0KIb}d 4.5.2 材料库 41
\/9uS.Kw 4.5.3导出材料数据 43
^4yFLqrC 4.6 常用单位 43
@kLpK 4.7 插值和外推法 46
MW+]w~7_Q 4.8 材料数据的平滑 50
7Jm9,4] 4.9 更多光学常数模型 54
<vV?VV([ 4.10 文档的一般编辑规则 55
m+Yj"RMx& 4.11 撤销和重做 56
`_'I 9,.a 4.12 设计文档 57
L6O@ q`\z 4.10.1 公式 58
@BN cIJk9 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
B jR:#*<qD 4.10.3 沉积密度 59
r,x;q 4.10.4 平行和楔形介质 60
+'x`rk 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
'N0/;k0ax 4.10.4 性能 61
E0}jEl/{ 4.10.5 保存设计和性能 64
<c6C+OWT, 4.10.6 默认设计 64
BS#@ehdig 4.11 图表 64
T%xB|^lf 4.11.1 合并曲线图 67
X] /r'Tz 4.11.2 自适应绘制 68
(6G5UwSt 4.11.3 动态绘图 68
f[!QR 4.11.4 3D绘图 69
dt
4_x1 4.12 导入和导出 73
tsZrn 4.12.1 剪贴板 73
W<3nF5! 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
4
|N&Y 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
@W^A%6"j 4.13 背景 77
_Ucj)Ud k 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
m4*Rr 4.15 生成Rugate 84
TUiXE~8= 4.16 参考文献 91
LRv-q{jP; 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
HQ+:0"B 5.1 Jobs 92
CV4r31w 5.2 创建一个新Job(工作) 93
]v 6u 5.3 输入材料 94
kG+CT 5.4 设计数据文件夹 95
M#d_kDMw 5.5 默认设计 95
lYeot8 6 细化和合成 97
mD)_quz.sk 6.1 优化介绍 97
0QDm3V0n 6.2 细化 (Refinement) 98
3e:"tus~ 6.3 合成 (Synthesis) 100
8lt P)K4 6.4 目标和评价函数 101
3
$Uv 6.4.1 目标输入 102
UPPDs " 6.4.2 目标 103
5HioxHL 6.4.3 特殊的评价函数 104
N@^?J@#V 6.5 层锁定和连接 104
;EE*#"IJ 6.6 细化技术 104
5Y)!q?#H 6.6.1 单纯形 105
#T n~hnW 6.6.1.1 单纯形
参数 106
]5' 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
Srz.-,2 PF 6.6.2.1 Optimac参数 108
]`y4n=L. 6.6.3 模拟退火算法 109
<Dt,FWWkv' 6.6.3.1
模拟退火参数 109
6pQ#Zg()vp 6.6.4 共轭梯度 111
o_EXbS]C 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
I, .`w/I+ 6.6.5 拟牛顿法 112
TjlKy 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
X1i6CEa< 6.6.6 针合成 113
zie])_8|h 6.6.6.1 针合成参数 114
JMOQDo 6.6.7 差分进化 114
xZL`<3? 6.6.8非局部细化 115
KC?h sID{ 6.6.8.1非局部细化参数 115
3`k1 6.7 我应该使用哪种技术? 116
>&aFSL,f 6.7.1 细化 116
zpIl'/i 6.7.2 合成 117
yIbz\3 6.8 参考文献 117
f
7et 7 导纳图及其他工具 118
6U7z8NV&[ 7.1 简介 118
bUp%87<*X 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
o'%F*>#v 7.2.1 四分之一
波长规则 119
Sy'/%[+goJ 7.2.2 导纳图 120
klKAwC Q, 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
B.K"1o 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
*6q8kQsz^1 7.5 斜入射导纳图 141
fh
)QX 7.6 对称周期 141
{`KgyCW: 7.7 参考文献 142
y^hpmTB3" 8 典型的镀膜实例 143
hX 9.%-@sR 8.1 单层抗反射薄膜 145
s+tS4E? 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
-^$CGRE6A 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
{{[).o/ 8.4 W-膜层 148
r['T.yo 8.5 V-膜层 149
usR19 _E- 8.6 V-膜层高折射基底 150
|VlAt#E 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
Fkz+Qz 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
'9*wr* 8.9 四层抗反射薄膜 153
zY\v|l<T 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
3>0/WbA:7E 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
jY:(Tv3~ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
^;NM'Z 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
q!""pr<n 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
]NuY{T&: 8.15十五层宽带抗反射膜 159
u-pE
;| 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
g84~d(\? 8.17 1/4波长堆栈 162
} ~=53$+ 8.18 陷波滤波器 163
s:R>uGYOd 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
Zx55mSfx: 8.20 褶皱 165
hof$0Fg 8.21 消偏振分光器1 169
A!<R? 8.22 消偏振分光器2 171
mh.0%
9`9 8.23 消偏振立体分光器 172
A,lcR:@w 8.24 消偏振截止滤光片 173
L,waQk / @ 8.25 立体偏振分束器1 174
KHcfP7 8.26 立方偏振分束器2 177
E`XUK,b 8.27 相位延迟器 178
e1}h|HLj 8.28 红外截止器 179
K,|Gtaa~ 8.29 21层长波带通滤波器 180
0FjSa\ZH 8.30 49层长波带通滤波器 181
1<<`T%& 8.31 55层短波带通滤波器 182
20zIO.&o 8.32 47 红外截止器 183
/I$g .f/# 8.33 宽带通滤波器 184
-CT?JB 8.34 诱导透射滤波器 186
/%Rz`} 8.35 诱导透射滤波器2 188
VV?+q) 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
)`-9WCd& 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
&]pW## 8.35 增益平坦滤波器 193
# u^F B 8.38 啁啾反射镜 1 196
AvEJX0"\df 8.39 啁啾反射镜2 198
z6|P]u 8.40 啁啾反射镜3 199
\[]36|$LS 8.41 带保护层的铝膜层 200
/_x?PiL 8.42 增加铝反射率膜 201
isDBNXV: 8.43 参考文献 202
:5U(}\dL{ 9 多层膜 204
;'}1 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
Xn$]DE/r}N 9.2 内部透过率 204
wR nt$1 9.3 内部透射率数据 205
!7AW_l9`i 9.4 实例 206
H `),PY2 9.5 实例2 210
1-r1hZ- 9.6 圆锥和带宽计算 212
F{]dq/{ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
ZaH<\`=% 10 光学薄膜的颜色 216
lb{*,S 10.1 导言 216
b&HA_G4 10.2 色彩 216
1xL2f&bG 10.3 主波长和纯度 220
8$OE<c?#5n 10.4 色相和纯度 221
[% |i 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
i?qS8h{ 10.6 色差 226
Rw^4S@~T 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
#kA/,qyM 10.8 颜色渲染指数 234
E:&=A 4% 10.9 色差计算 235
]*%0CDY6`N 10.10 参考文献 236
7$Bq.Lc#z 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
k
U*\Fa*E 11.1 短脉冲 238
3PpycJ} 11.2 群速度 239
P9G c)$6{p 11.3 群速度色散 241
d01bt$8> 11.4 啁啾(chirped) 245
_9Iz'-LgB 11.5 光学薄膜—相变 245
2o6KVQ
11.6 群延迟和延迟色散 246
BtVuI5*h 11.7 色度色散 246
IObGmc 11.8 色散补偿 249
zK k;&y|{ 11.9 空间
光线偏移 256
?bmP<(N5/ 11.10 参考文献 258
(/v(.t 12 公差与误差 260
Y71io^td~j 12.1 蒙特卡罗模型 260
u~bk~3.I 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
F.c,F R2 12.2.1 误差工具 267
Zh{Pzyp 12.2.2 灵敏度工具 271
<^
@1wg 12.2.2.1 独立灵敏度 271
zp!{u{ 12.2.2.2 灵敏度分布 275
< :<E~anH 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
9y>dDNM\< 12.3 参考文献 276
(05/}PhB` 13 Runsheet 与Simulator 277
|@sUN:G4k 13.1 原理介绍 277
x`WP*a7Fk] 13.2 截止滤光片设计 277
S'9T>&<Kn 14 光学常数提取 289
`rbTB3? 14.1 介绍 289
J5*krH2i 14.2 电介质薄膜 289
Eu l,1yR 14.3 n 和k 的提取工具 295
:JV=Kt 14.4 基底的参数提取 302
Ldf< 14.5 金属的参数提取 306
yS@c2I602 14.6 不正确的模型 306
}NMA($@A 14.7 参考文献 311
g"`BNI]Qp 15 反演工程 313
W[AX? 15.1 随机性和
系统性 313
pBL,kqYNA> 15.2 常见的系统性问题 314
qTj7mUk 15.3 单层膜 314
Xg^`fRg =T 15.4 多层膜 314
;
"ux{ . 15.5 含义 319
P5P:_hr 15.6 反演工程实例 319
GXr9J rs.e 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
plh.-" 15.6.2 反演工程提取折射率 327
?k TVC 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
z4HIDb 16.1 光学性质的热致偏移 329
"|{NRIE 16.2 应力工具 335
Zz!XH8sH 16.3 均匀性误差 339
WUvrC 16.3.1 圆锥工具 339
~4"adOv 16.3.2 波前问题 341
ylUxK{ 16.4 参考文献 343
P6u9Ngay 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
fINF;TK 17.1 引言 345
07[A&