[培训]上海｜薄膜设计与镀膜工艺 2023年10月25（三）-27日（五） [复制链接]

特邀专家介绍 n:."ZBtY*  

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易葵：中国科学院上海光机所正高级工程师，研究生导师，主要从事光学薄膜设计、制备工艺和测试相关方面的研究工作，尤其是在高功率激光薄膜、空间激光薄膜、X射线多层膜、真空镀膜技术与薄膜制备工艺研究等方面有较为深入的研究。 >MY.Fr#.m  
获得国家技术发明奖二等奖、上海市技术发明奖一等奖、上海市科技进步二等奖、军队科技进步二等奖等奖项，入选2014年度中科院“现有关键技术人才”。课程概要 WB[G!'  
随着现代科技的飞速发展，光学薄膜的应用越来越广泛。光学薄膜的发展极大地促进了现代光学仪器性能的提高，其种类非常广泛，如增透膜，高反膜，分光膜，滤光片等，光学薄膜器件如今已经广泛应用到光通信技术、光伏产业技术、激光技术、光刻技术、航空航天技术等诸多领域。 LtWU
"42  
本次课程第一天主要为国际知名的光学薄膜分析软件Essential Macleod的使用，第二天为各种类型的光学薄膜的设计模拟方法，前两天主讲人为讯技光电高级工程师，第三天特别邀请上海光学精密机械研究所专家易葵，分享光学薄膜制备工艺、激光薄膜关键技术以及光学薄膜的测量方法等相关内容。课程大纲 EI+/%.,  
1. Essential Macleod软件介绍 F1*rUsRKN  
1.1 介绍软件 m`q>_*  
1.2 创建一个简单的设计 ;/3/R/^g  
1.3 绘图和制表来表示性能 +ENW=N  
1.4 通过剪贴板和文件导入导出数据 =\7p
0cq&*  
1.5 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） CWsv#XOg]  
1.6 特定设计的公式技术 g*.(! !  
1.7 交互式绘图 _rVX_   
2. 光学薄膜理论基础 _`
[6jhNa!  
2.1 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 nGgc~E$j  
2.2 后表面对光学薄膜特性的影响 GZVl384@  
3. 材料管理 ZDJWd
=E  
3.1 材料模型 Cwf$`?|W  
3.2 介质薄膜光学常数的提取 W&f Py%g  
3.3 金属薄膜光学常数的提取 I/V#[KC  
3.4 基板光学常数的提取 gO!h<1!  
4. 光学薄膜设计优化方法 5(`GF|  
4.1 参考波长与g wSF#;lqd  
4.2 四分之一规则 R+hS;F nh%  
4.3 导纳与导纳图 lfeWtzOf  
4.4 斜入射光学导纳 AlaN;  
4.5 光学薄膜设计的进展 c} ET#2,  
4.6 Macleod软件的设计与优化功能 &+^ Y>Ke  
4.6.1 优化目标设置 eaP$/U D?  
4.6.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化，差分演化法） :Fp
Bz~!a  
4.6.3 膜层锁定和链接 u3brb'Y+  
5. Essential Macleod中各个模块的应用 7]zZha4X  
5.1 非平行平面镀膜-棱镜镀膜透反吞吐量评估 >F_Ne)}qTQ  
5.2 光通信用窄带滤光片模拟 DC7}Xly(  
5.3 光控机器设置显示镀膜过程中预期的监测信号 lD#1"$Coz  
5.4 镀膜沉积过程噪声信号模拟 Ao0PFY  
5.5 如何在Function中编写脚本 &YKzK)@  
6. 光学薄膜系统案例 Q9zpX{JT  
6.1 常规光学薄膜案例-高反、增透、滤光片等 _cN)q  
6.2 仿生蛾眼/复眼结构等
:"IH*7xp  
6.3 Stack应用范例说明 k T>}(G||  
7. 薄膜性能分析 () ;7+  
7.1 电场分布 !$#4D&T  
7.2 公差与灵敏度分析 FY*0gp  
7.3 反演工程 $_5v^QL  
7.4 均匀性，掺杂/孔隙材料仿真 B4Oa7$M/U  
8. 真空技术 $0 zL  
8.1 常用真空泵介绍 *3($s_r>  
8.2 真空密封和检漏 (1]@ fCd +  
9. 薄膜制备技术 y36aoKH  
9.1 常见薄膜制备技术 ofCP>Z-  
10. 薄膜制备工艺 ur7a%NH  
10.1 薄膜制备工艺因素 x:lf=DlA  
10.2 薄膜均匀性修正技术 RE$-{i  
10.3 光学薄膜监控技术 E|3aiC,5  
11. 激光薄膜 dsuW4^l  
11.1 薄膜的损伤问题 Te#[+B?  
11.2 激光薄膜的制备流程 yo6IY  
11.3 激光薄膜的制备技术 _'a4I;  
12. 光学薄膜特性测量 \Da$bJ  
12.1 薄膜光谱测量 `"Pd$jW  
12.2 薄膜光学常数测量 n\9*B##  
12.3 薄膜应力测量 t[,\TM^h}0  
12.4 薄膜损伤测量 iO`f{?b  
12.5 薄膜形貌、结构与组分分析内容简介 QNEaj\  
Macleod软件自带的用户手册功能全面，其介绍涵盖了软件的方方面面，能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而，为了顺应目前薄膜行业的需求，急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍，以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作，因此，我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 kICYPy  
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》（原著第二版）是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结，结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod，其内容丰富，实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法，还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题，如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节，首先，从光学薄膜的基本理论出发（第2章），为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次，在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作，以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后，从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合，从而使大家将理论知识与实际经验结合起来，对实际镀膜提出实用的建议，以减少设计时间并降低生产成本。 b6BIDuRb  
薄膜光学涵盖范围很广，书中并附设计光盘和参考文献，有兴趣者可依此深入研究，为精准起见，在不影响理解的情况下，尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助，通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限，书中错误纰漏之处在所难免，本书若有不周之处，尚请读者不吝赐教。 !iqz 4E  
8!Kfe  
SUhP e+  
9z}kkYk  
目录 W#\4"'=I  
Preface 1 -E"o)1Pj6C  
内容简介 2 li^E$9oWC  
目录 i A???s,F_  
1  引言 1 e~dU "  
2  光学薄膜基础 2 -+/|  
2.1  一般规则 2 30"G%DFd  
2.2  正交入射规则 3 h,G$e|[?  
2.3  斜入射规则 6 !>j-j  
2.4  精确计算 7 b\mN^P~>A  
2.5  相干性 8 YN[D^;}  
2.6 参考文献 10 9,+LNZ'k  
3  Essential Macleod的快速预览 10 F$C:4c  
4  Essential Macleod的特点 32 ?zqXHv#x  
4.1  容量和局限性 33 GvY8O|a  
4.2  程序在哪里？ 33 me" <+6  
4.3  数据文件 35 '#?hm-Ga  
4.4  设计规则 35 l[Oxf|  
4.5  材料数据库和资料库 37 3{z }[@N  
4.5.1材料损失 38 %l,EA#89s  
4.5.1材料数据库和导入材料 39 yMxS'j1  
4.5.2 材料库 41 5/<Y,eZ/  
4.5.3导出材料数据 43 UPsh Y  
4.6  常用单位 43 ?##GY;#  
4.7  插值和外推法 46 FMiY
Z1^r  
4.8  材料数据的平滑 50 hQO~9mQ+!  
4.9 更多光学常数模型 54 X.Kxio $o  
4.10  文档的一般编辑规则 55 ( ;q$cKy  
4.11 撤销和重做 56
1Mqz+@~11  
4.12  设计文档 57 1Cthi[B  
4.10.1  公式 58 "]% L{aP  
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 =n!8>8d  
4.10.3  沉积密度 59 ~QXNOtVsN  
4.10.4 平行和楔形介质 60 Bvwk6NBN  
4.10.5  渐变折射率和散射层 60 O;r8l+  
4.10.4  性能 61 (RF6K6~  
4.10.5  保存设计和性能 64 }T6jQ:?@  
4.10.6  默认设计 64 .KV?;{~q@  
4.11  图表 64 <JlKtR&nSo  
4.11.1  合并曲线图 67 BScysoeD  
4.11.2  自适应绘制 68 aj:+"X-;  
4.11.3  动态绘图 68 (1R,  
4.11.4  3D绘图 69 zKZ6Qjd8!  
4.12  导入和导出 73 aOOY_S E  
4.12.1  剪贴板 73 EC7o 3LoND  
4.12.2  不通过剪贴板导入 76 {k>m5L  
4.12.3  不通过剪贴板导出 76 #~Q0s)Ze  
4.13  背景 77 K>-m8.~\E  
4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 %u#pl=k}  
4.15  生成Rugate 84 ]yyfE7{q  
4.16  参考文献 91 :98Pe6  
5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 8K$:9+OY  
5.1  Jobs 92 +] uY  
5.2  创建一个新Job（工作） 93 ^#%[  
5.3  输入材料 94 ;2$^=:8  
5.4  设计数据文件夹 95
J{91 t
|  
5.5  默认设计 95 b]Jh0B~Y  
6  细化和合成 97 nt4>9;  
6.1  优化介绍 97 ){/y-ixH  
6.2  细化 (Refinement) 98 {3?g8e]zr  
6.3  合成 (Synthesis) 100 IV\@GM:ait  
6.4  目标和评价函数 101 N$.''D?7D  
6.4.1  目标输入 102 edm&,ph]  
6.4.2  目标 103 X|b~,X%N  
6.4.3  特殊的评价函数 104 2'++G[z  
6.5  层锁定和连接 104 _)ERi*}x8  
6.6  细化技术 104 ks! G \<I  
6.6.1  单纯形 105 -7lJ   
6.6.1.1 单纯形参数 106 4Hu.o7  
6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 BPW:W }  
6.6.2.1 Optimac参数 108 -Q,lUP  
6.6.3  模拟退火算法 109 sI`Lsd'V  
6.6.3.1　模拟退火参数 109 b2z~C{l  
6.6.4  共轭梯度 111 '&\km~&  
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 z19y>j
 
6.6.5  拟牛顿法 112 [!v:fj  
6.6.5.1 拟牛顿参数： 112 |*!I(wm2i  
6.6.6  针合成 113 \!-X&
ws  
6.6.6.1 针合成参数 114 B1Xn<Wv  
6.6.7 差分进化 114 gB?#T  
6.6.8非局部细化 115 .L8S_Mz  
6.6.8.1非局部细化参数 115 (fq>P1-  
6.7  我应该使用哪种技术？ 116 )@Ly{cw  
6.7.1 　细化 116 *.20YruU;j  
6.7.2　 合成 117 G|.>p<q  
6.8  参考文献 117 &B[$l`1  
7  导纳图及其他工具 118 Z$T1nm%lo:  
7.1  简介 118 Mk7#qiPo  
7.2  薄膜作为导纳的变换 118 8K{ TRPy  
7.2.1  四分之一波长规则 119 I#m5Tl|#  
7.2.2  导纳图 120 KyDQ<Dq&  
7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 S&9{kt|BI  
7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 9Y~A2C  
7.5  斜入射导纳图 141 C:W}hA!  
7.6  对称周期 141 #;H+Kb5O  
7.7  参考文献 142 T-eeYw?Yf  
8  典型的镀膜实例 143 7kHEY5s "  
8.1  单层抗反射薄膜 145 i9_ZK/*  
8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 nx=Zl:Q}  
8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ><dSwwu  
8.4  W-膜层 148 8LB+}N(8f  
8.5  V-膜层 149 lQldW|S>  
8.6  V-膜层高折射基底 150 ?%F*{3IP  
8.7  V-膜层高折射率基底b 151 -k=02?0p+  
8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 10{ZW@!7  
8.9  四层抗反射薄膜 153 J'|qFS  
8.10  Reichert抗反射薄膜 154 !|hv49!H  
8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 2BEF8o]Np  
8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 4$@)yZ  
8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 ]k5l]JB  
8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 Ydh]EO0'  
8.15十五层宽带抗反射膜 159 @MS;qoc  
8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 <Jv %}r  
8.17  1/4波长堆栈 162 ggfL d r  
8.18  陷波滤波器 163 B<x)^[<v  
8.19 厚度调制陷波滤波器 164
sd xl@  
8.20  褶皱 165 r1
)Og  
8.21  消偏振分光器1 169 '*|Wi}0R  
8.22  消偏振分光器2 171 XX#YiG4|J  
8.23  消偏振立体分光器 172 rXd
I`l#  
8.24  消偏振截止滤光片 173 $xJVUV  
8.25  立体偏振分束器1 174 ~Qeyh^wo  
8.26  立方偏振分束器2 177 5Z,^46J  
8.27  相位延迟器 178 Pl9/1YhD/  
8.28  红外截止器 179 }>>lgW>n,;  
8.29  21层长波带通滤波器 180 ({87311%  
8.30  49层长波带通滤波器 181 .-Ggvw  
8.31  55层短波带通滤波器 182 p=V (_  
8.32  47 红外截止器 183 KpA i
Ke  
8.33  宽带通滤波器 184 VD#`1g<  
8.34  诱导透射滤波器 186 C AVqjT7  
8.35  诱导透射滤波器2 188 dUyit-  
8.36  简单密集型光波复用（DWDM）滤波器 190 x!"S`AM  
8.37  高级密集型光波复用技术（DWDM）滤波器 192 -$!`8[fM  
8.35  增益平坦滤波器 193 Ni7~ Mjjt  
8.38  啁啾反射镜 1 196 UB|f{7~&  
8.39  啁啾反射镜2 198 ppP7jiGo  
8.40  啁啾反射镜3 199 icOh/G=N;  
8.41  带保护层的铝膜层 200 VnAJOR7lrx  
8.42  增加铝反射率膜 201 80U07tJ  
8.43  参考文献 202 l1fP@|  
9  多层膜 204 >r6`bh [4  
9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 R-+k>_96|  
9.2  内部透过率 204 ;9MsV.n  
9.3 内部透射率数据 205 s>~ h<B  
9.4  实例 206 x >hnH{~w  
9.5  实例2 210 x'tYf^Va28  
9.6  圆锥和带宽计算 212 o|FRG{TJ  
9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 ^NKB  
10  光学薄膜的颜色 216 sS7r)HV&GI  
10.1  导言 216 $yS7
u  
10.2  色彩 216 EW7heIT$  
10.3  主波长和纯度 220 l6IpyIex  
10.4  色相和纯度 221 q{?Po;\D  
10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 jr29+>  
10.6 色差 226 `'H"|WsT  
10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 G'T/I\tB  
10.8  颜色渲染指数 234 cPZD#";f  
10.9  色差计算 235 v0&E!4q*'  
10.10  参考文献 236 1'@/jR  
11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 P]hS0,sE<(  
11.1  短脉冲 238 `],'fT|,S  
11.2  群速度 239 >jMq-#*4  
11.3  群速度色散 241 H*BzwbM?  
11.4  啁啾(chirped) 245 xFvDKW)_X7  
11.5  光学薄膜—相变 245 m08:EXP  
11.6  群延迟和延迟色散 246 z'OY6  
11.7  色度色散 246 UT!gAU  
11.8  色散补偿 249 0 UdAF  
11.9  空间光线偏移 256 N'[bA  
11.10  参考文献 258 ". #=_/op  
12  公差与误差 260 AvnK?*5!@  
12.1  蒙特卡罗模型 260 oVk*G  
12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 R%B"Gtl)  
12.2.1  误差工具 267 Gu?OyL  
12.2.2  灵敏度工具 271 QwPLy O  
12.2.2.1 独立灵敏度 271 #-?C{$2I  
12.2.2.2 灵敏度分布 275 $J}d6%   
12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 ocOzQ13@Y  
12.3  参考文献 276 "e4;xU-  
13  Runsheet 与Simulator 277 ,5`pe%W7  
13.1  原理介绍 277 e}>8rnR{  
13.2  截止滤光片设计 277 /3`#ldb%}  
14  光学常数提取 289 F/GfEMSE  
14.1  介绍 289 l,5<g-r V  
14.2  电介质薄膜 289 wi]ya\(*yl  
14.3  n 和k 的提取工具 295 KZ_d..l*W  
14.4  基底的参数提取 302 r#ES|  
14.5  金属的参数提取 306 M| r6"~i  
14.6  不正确的模型 306 "#Ov!t  
14.7  参考文献 311 ".ay
pD)W  
15  反演工程 313 {hYH4a&Hb  
15.1  随机性和系统性 313 AfAg#75q  
15.2  常见的系统性问题 314 =xzDpn>f  
15.3  单层膜 314 -XNjyXm2  
15.4  多层膜 314  }NX9"}/  
15.5  含义 319 ti6\~SY  
15.6  反演工程实例 319 )\fAy  
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 *j9{+yO{ZE  
15.6.2 反演工程提取折射率 327 fT9z 4[M  
16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 Ucnj7>+"  
16.1  光学性质的热致偏移 329 rw>X JE  
16.2  应力工具 335 ?S&pq?   
16.3  均匀性误差 339 5cLq6[uO  
16.3.1  圆锥工具 339 M->/vi  
16.3.2  波前问题 341 bMWL^*I  
16.4  参考文献 343 "p]bsJG  
17  如何在Function（模块）中编写操作数 345 L%4[,Rsw  
17.1  引言 345 N$#518  
17.2  操作数 345 %tx~CD  
18  如何在Function中编写脚本 351 R1.No_`PHq  
18.1  简介 351 _m3}0q  
18.2  什么是脚本？ 351 /B>p.%M[&  
18.3  Function中脚本和操作数对比 351 NR3]MGBKv  
18.4  基础 352 S<), ,(  
18.4.1  Classes（类别） 352 $gKMVgD"  
18.4.2  对象 352 #H]b Xr  
18.4.3  信息（Messages） 352 dV+%x"[:  
18.4.4  属性 352 1O" Mo  
18.4.5  方法 353 #XSs.i{  
18.4.6  变量声明 353 Ml &Cr  
18.5  创建对象 354 (S~|hk^  
18.5.1  创建对象函数 355 BGAqg=nDV  
18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 )C>4?)  
18.5.3 丢弃对象 356 ]WLQ q4q  
18.5.4  总结 356 Ec!fx\  
18.6  脚本中的表格 357 %C&HR2  
18.6.1  方法1 357 iCA!=%M@D  
18.6.2  方法2 357 m(Hb! RT  
18.7 2D Plots in Scripts 358 dOm`p W^  
18.8 3D Plots in Scripts 359 ?,Z[)5 ZN  
18.9  注释 360 yO@KjCv"  
18.10  脚本管理器调用Scripts 360 c,WRgXL  
18.11  一个更高级的脚本 362 9Z! j
 
18.12  <esc>键 364 G/Ll4 :  
18.13 包含文件 365 :^ 9sy  
18.14  脚本被优化调用 366 IYtM'!u  
18.15  脚本中的对话框 368 WxNPAJ6YH  
18.15.1  介绍 368 "6.JpUf  
18.15.2  消息框-MsgBox 368 %EC{O@EAk  
18.15.3  输入框函数 370 >:5^4/fo*  
18.15.4  自定义对话框 371 bj6-0`  
18.15.5  对话框编辑器 371 ]-  
18.15.6  控制对话框 377 $L|YllD%  
18.15.7  更高级的对话框 380 8<cD+Jtj  
18.16 Types语句 384 %;5AF8#c  
18.17 打开文件 385 S;0,UgB
1  
18.18 Bags 387 SSi-Z  
18.13  进一步研究 388 B o@B9/ABv  
19  vStack 389 ;Od;q]G7L  
19.1  vStack基本原理 389 P(z#Wk  
19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 We^!(G  
19.3  五棱镜 393 YyI4T/0s_  
19.4 光束距离 396 ^1d"Rqtv  
19.5 误差 399 6.]x@=Wm  
19.6  二向分色棱镜 399 XhF7%KR  
19.7  偏振泄漏 404 1UR;}  
19.8  波前误差—相位 405 qE
d!g,Sx  
19.9  其它计算参数 405 C[cNwvz  
20  报表生成器 406 ["'0vQ  
20.1  入门 406 hY5G=nbO*  
20.2  指令(Instructions) 406 Vwj^h
 
20.3  页面布局指令 406 ujF*'*@\  
20.4  常见的参数图和三维图 407 aBV{Xr~#(  
20.5  表格中的常见参数 408 d,"?tip/SX  
20.6  迭代指令 408 4JlB\8rc  
20.7  报表模版 408 6mH0|:CsY  
20.8  开始设计一个报表模版 409 99T_y`df  
21  一个新的project 413 xRZ9.
Agv_  
21.1  创建一个新Job 414 rh;@|/<l  
21.2  默认设计 415 ],rtSUO  
21.3  薄膜设计 416 XwlAW7lU=  
21.4  误差的灵敏度计算 420 M[wd.\ %  
21.5  显色指数计算 422 9S"c-"y\#  
21.6  电场分布 424 zB6u%uWR  
后记 426 .r~!d|
  
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igNZe."V  
书籍名称：《Essential Macleod中文手册》 'jv[Gcss3L  
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《Essential Macleod中文手册》 EC6&#)g;CO  
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目  录 h-rPLU;Bw  
ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 x Bn+-V  
第1章 介绍 ..........................................................1第2章 软件安装 ..................................................... 3 w#v8a$tT  
第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 ,Lt+*!;m  
第5章 软件结构 ............................................................... 21第6章 应用窗口 ................................................................. 44 zo*YPDEm"  
第7章 设计窗口 .................................................................. 62第8章 图形窗口 .................................................................. 100 mmC&xZ5f  
第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 P19nF[A  
第11章 表格窗口 ................................................................. 116第12章 优化和综合 ..................................................................120 p"9
a`/  
第13章 材料管理 ........................................................................ 149第14章 多层膜 ........................................................................... 167 i#I+    
第15章 分析和设计工具 ........................................................180第16章 逆向工程 ................................................................ 200 aL\vQ(1zO  
第17章 报告生成器 ............................................................. 208第18章 堆栈 ......................................................................... 213 d/>owCwQ  
第19章 功能扩展 .................................................................. 229第20章 运行表单 .................................................................... 251 Y)@mL~){  
第21章 模拟器 ...................................................................... 271第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 r3a$n$Qw  
第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 U1?*vwfKZ  
第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 S4RvWTtQV  
第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 }wmn v  
第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 hX#s3)87  
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价  格：400元