摘要
4Y.o RB =#z8CFq[O 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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wR(>'? He1hgJ)N 设计任务
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dm:2:A8^ 仅位相透射设计(IFTA)
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1+Z@4;fk $yoIz.?V 仅位相透射设计(IFTA)
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zt2 超表面晶胞分析
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=XJ< 构建超光栅
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io 初始超表面设计的评估
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rYc 参数优化
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#*~3gMI{= ]*&`J4i 优化超光栅设计的评估
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VEGp!~D v1aE[Q 走进VirtualLab
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p?H2W- Ja[7/ VirtualLab Fusion的工作流程
wpK[; 分析超表面晶胞
}7+`[g - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
$a.,;: 构造超光栅
3;<Vv*a"Dm 分析光栅衍射效率
k"pN - 光栅级次分析 [用例]
`#c36 光栅
结构参数优化
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dml,|k= #J`MR05 VirtualLab Fusion技术
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