摘要
4`Fbl]Q i]Kq 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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OmU.9PDg- OY[N%wr! 设计任务
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dr9I+c7u UKX'A)$ 仅位相透射设计(IFTA)
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_^SNI ~ 6GJ?rE E/ 仅位相透射设计(IFTA)
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bZ3CJ f&mE #lJF$ 超表面晶胞分析
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+Q.Q ]t#,{%h 构建超光栅
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&<!I]:Y ia?8Z"&lK 初始超表面设计的评估
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[dt1%DD`M /]+t$K\cBq 参数优化
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v {0Leua 优化超光栅设计的评估
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["@K~my~D* Rjh/M`| 走进VirtualLab
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yYF80mnJz T_B$ VirtualLab Fusion的工作流程
$e<3z6 分析超表面晶胞
r--"JO%2 - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
;itz`9T 构造超光栅
jfgAI7;b 分析光栅衍射效率
g{a_{P - 光栅级次分析 [用例]
eb:u h! 光栅
结构参数优化
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L{\B9b2 eqjl$QWPJS VirtualLab Fusion技术
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