摘要
Km qMFB62 +%+tr*04O 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
66g9l9wm( td(li., S3q&rqarC% \T4v|Pw\ 设计任务
OV1_|##LC Eq% } /K+r?
]kf sQYkQ81 仅位相透射设计(IFTA)
M1k{t%M+S 1h^:[[!c
-WY<zJ .M qP_Z', 仅位相透射设计(IFTA)
p2hB8zL UE8kpa)cQ fe\mL mK9 bBiE 超表面晶胞分析
!8TlD-ZT/ 4V{:uuI;f bZ dNibN eQ$Y0qH1E 构建超光栅
KI.q@zO6| j
b!x: b:U$x20n$ }fp-pe69z 初始超表面设计的评估
FI)17i$
.yMEIUm 9e<.lb^tP PIJr{6B/PA 参数优化
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=+3b 8+~
>E 优化超光栅设计的评估
6gL#C& S.mG?zbw LGq'WU31:) I5X|(0es 走进VirtualLab
2bv=N4ly U&g@.,Y# )%`c_FL@N= h&M{]E9= VirtualLab Fusion的工作流程
3$9s\<j 分析超表面晶胞
]{sU&GqBLe - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
034iK[ib" 构造超光栅
?1*cO:O 分析光栅衍射效率
^-TE([ bW - 光栅级次分析 [用例]
/74QMx? 光栅
结构参数优化
;(b9#b. M-$%Rzl_ s,"]aew y;4OY VirtualLab Fusion技术
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