切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 411阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5734
    光币
    22822
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 k5;Vl0Ho  
     *8.@aX3  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ]Bd3d%  
    N^( lUba  
     i(yAmo9h  
    6mpg&'>  
    建模任务 vF6*c  
    9Jy2T/l  
     oA;Ty7s  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) DwY<qNWT  
     R=9~*9  
    某一位置的Talbot图样 ~J>gVg%66  
    ?t0zsq  
     ~@uY?jr  
       yC 7Vb P  
    某一位置的Talbot图样 #>m, Cm  
    IgVo%)n  
     DxKfWb5 R  
    Wd` QpW  
    不同位置的Talbot图样 SU%rWH  
    d9-mWz(V+  
     ?(/j<,m^  
    O(D5A?tv!  
    不同位置的Talbot图样 iQ|,&K0d]  
    Ly)(_Tp@+  
     k'ZUBTRq!  
    '`]n_$f'  
    沿Z轴的强度 &H4uvJ_<  
    gJ3OK!/  
     ?l, X!o6  
    O/Y\ps3r  
    走进VirtualLab Fusion 12tJrS*Z  
    ewAH'H]o  
     JU'WiR bcb  
    :qAc= IC%  
    VirtualLab Fusion的工作流程 XnE %$NJ  
    UROj9CO v  
     构建光栅结构 wAu[pWD'6;  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 6i]Nr@1C  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] C^/ -lc  
    S"P9Nf?9  
     通过参数运行计算不同位置的强度 'z-;*!A}j  
    - 参数运行文件的使用 [用例] &8]#RQy{f  
    9'n))%CZ.  
    )pjjW"C+  
    b$?Xn{Y  
    VirtualLab Fusion技术 WjY{rM,K  
    ,l$NJt   
     =|E 09  
       3'[Rvy{  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表