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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 {=IK(H  
     ]0by6hQ  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 -'BJhi\Y]~  
    <8Nh dCO6  
     b')CGqbbmT  
    g2;JJ}  
    建模任务 \6)l(b;  
    H&E c *MT  
     j/3827jw=  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) (S0MqX*  
     v3Tr6[9  
    某一位置的Talbot图样 gSEj/?  
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    某一位置的Talbot图样 yeKzI~  
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     _ot4HmD  
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    不同位置的Talbot图样 Z66akr  
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    不同位置的Talbot图样 s6OnHX\it7  
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    沿Z轴的强度 dl'pl  
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    走进VirtualLab Fusion UMm<HQ  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 %'"#X?jk1  
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     构建光栅结构 (WR&Vt4Rh  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] *I`Sc|A  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] UAnq|NJO  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 " _jIqj6C  
    - 参数运行文件的使用 [用例] ^6#FqK+{u  
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    @R9zLL6#7  
    6b9Ddb*  
    VirtualLab Fusion技术 '$ ~.x|  
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