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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 k=Pu4:RF  
     )3=oS1p  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 XG@_Lcv*  
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    建模任务 Q6Vy}  
    mLd=+&M  
     QzT)PtX  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) br .jj  
     Mc>]ZAzr  
    某一位置的Talbot图样 z'O$[6m6  
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    某一位置的Talbot图样 Us+|L|/  
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    不同位置的Talbot图样 HDvj{  
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    不同位置的Talbot图样 1"RO)&  
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    +v2Fr}  
    沿Z轴的强度 /zMiy?  
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    走进VirtualLab Fusion ?DzKqsS'  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 Rx<m+=  
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     构建光栅结构 !(~eeE}|lM  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] *&9_+F8ly  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] S;sggeP7,  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 f=]+\0MQ  
    - 参数运行文件的使用 [用例] _W'>?e0i  
    3[B*l@}j  
    j|gQe .,1  
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    VirtualLab Fusion技术 3}e-qFlV8,  
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