1. 摘要
|K^"3`SJ 1<<kA:d 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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j}AFE d.2mT?`# 2. 建模任务
`W-&0|%Ta )Y8",Ig 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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ne>g?"Pex{ ~-83Q5/[ 3. 聚焦区域的探测场
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`+/H^ 07/L}b`P 4. 来自测试对象的直接反射
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1H,g=Y4f% q,2]5' oiH|uIsqR 5. 待测目标成的像
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yt+}K)Hz 4"vaMa 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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=9LC<2 CZEW-PIhj 7. 走进VirtualLab Fusion
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pAu72O? 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
EHlytG}@ 4{qB X? K{l5m{:% 使用界面构造光栅结构
Se!)n;?7Sw - 使用界面配置光栅结构[用例]
=_[Z W 复杂
系统中的光栅建模
s(_+!d6 -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
9Z6C8Jv 正确设置通道以进行多通道
仿真 3qQUpm+ - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
.]|Zf!>}s •使用
参数运行检查影响/更改
L;QY<b - 参数运行文档的使用[用例]
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g8'DoHJ* jFerYv&K~ 9. VirtualLab Fusion 技术
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