1. 摘要
0Lj;t/mG 8WDL.IO 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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QP( 2. 建模任务
Po=:-Of: {s@!N 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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2n>mISy+ >AV9 K 3. 聚焦区域的探测场
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4;~xRg;u&* 4. 来自测试对象的直接反射
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VB/75xK_ '2l[~T$* e?(4lD)d 5. 待测目标成的像
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qK;J:GT> M GC=L . 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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}c8e t'HYf y46sL~HRv 7. 走进VirtualLab Fusion
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^&F.T-( A /!&eP3^ 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
-;Mh|!yg hHMp=8J7 uAYDX<Ja9 使用界面构造光栅结构
s;<]gaonB_ - 使用界面配置光栅结构[用例]
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