1. 摘要
~%SmH[i 9g*O;0 uz 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
cT2&nZ i!H)@4jX c$Vu/dgx OT1 2. 建模任务
#6t 4 vJ1 vNMndo! 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
3Go/5X/ 7_OC&hhL ``;.Oy6jS baLO~C 3. 聚焦区域的探测场
oXC|q-(C ?]*WVjskE F52%og~N 9((BOq 4. 来自测试对象的直接反射
tcDWx:Q QO1pwrX< ew13qpt)<L k#eH
Q!
j,DF' h "_LDs(& 5. 待测目标成的像
CbvP1*1 L/ L#[ s9[?{}gd a0wSXd g mdJ8$ 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
FEC`dSTI /KU9sIE; m:6^yfS 7+N0$0w%r 7. 走进VirtualLab Fusion
+3>)r{#k ]=gNA [b2KBww\ .<m${yU{3 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
/M,C%.- 7 XNZEi9o L3/SIoqd 使用界面构造光栅结构
Zz,j,w0 Z - 使用界面配置光栅结构[用例]
u%t/W0xi 复杂
系统中的光栅建模
(Q]Ww_r~ -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
dd+hX$, 正确设置通道以进行多通道
仿真 :VkuK@Th` - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
G '1K6 •使用
参数运行检查影响/更改
T!f+H?6 - 参数运行文档的使用[用例]
_p^?_ #QUQC2P(~ ?[Sac]h
ys {yzo#"4Oy 9. VirtualLab Fusion 技术
ff;9P5X r,43 gg x/S:)z%X