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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 B 6,X)  
    ~Q 1%DV.  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       =+wkjTO  
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    2. 建模任务 " gi 1{  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) j [y+'O  
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    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) )Y,>cg:z~  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ]]bL;vlw  
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    6. 3D仿真与结果对比 >=Un=Q%  
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    7. 走进VirtualLab Fusion q9c:,k  
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    8. VirtualLab Fusion的工作流程 S[cVoV  
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     构造光栅结构 z,B'I.)M  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] O486:tF  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] mam2]St"  
     计算光栅结构内部的场分布 nr<&j#!L  
    9:tKRN_D  
     ~?n)1Vr|  
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    9. VirtualLab Fusion技术 `P<m`*  
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