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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 K<_H`k*x  
    z KWi9  
    在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。  
    N4 mQN90t  
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    2. 建模任务 eZJOI1wNp  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    Y2D) $  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    O 1X !  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Ia"bP` L  
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    |m EJJg`"7  
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    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Tp6ysjao  
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    G`W+m*[U+M  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 1-[{4{R  
    &]c9}Ic  
    Mo<p+*8u:  
    4'8.f5  
    6. 3D仿真与结果对比 nb!m>0*/  
    e O}mZN  
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    7. 走进VirtualLab Fusion V)Xcn'h  
    .lnD]Q  
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    8. VirtualLab Fusion的工作流程 C|JWom\J  
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     计算光栅结构内部的场分布 rYqvG  
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