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N4,oO H~ 内容简介 mOj; 0 R Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Q(-&}cY 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
Z:^#9D{ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 9soEHG=P "|I.j) 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 V5$Gb6?K 目录 rP]|`*B Preface 1 db,?b>,EE 内容简介 2 "XxmiK 目录 i eEBNO*2 1 引言 1 ?xv."I% 2 光学薄膜基础 2 v3cMPN 2.1 一般规则 2 A^FkU 2.2 正交入射规则 3
0<v5_pB 2.3 斜入射规则 6 .*YF{!R`h 2.4 精确计算 7 })<u~r 2.5 相干性 8 ?3K~4-!?/ 2.6 参考文献 10 >ye.rRZd` 3 Essential Macleod的快速预览 10 h[qZM 4 Essential Macleod的特点 32 ?=4oxPe 4.1 容量和局限性 33 ~vt*%GN3 4.2 程序在哪里? 33 GdUsv 4.3 数据文件 35 qdZ ^D 4.4 设计规则 35 $"NH{%95} 4.5 材料数据库和资料库 37 ZqrS]i@$ 4.5.1材料损失 38 Mj1f;$ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 0,~s0]h0V 4.5.2 材料库 41 pLe4dz WA 4.5.3导出材料数据 43 A z@@0 4.6 常用单位 43 ` Ny(S2 4.7 插值和外推法 46 &&l
ZUR,` 4.8 材料数据的平滑 50 vdn)+fZ;
4.9 更多光学常数模型 54 ;UgwV/d 4.10 文档的一般编辑规则 55 mZB:j]T 4.11 撤销和重做 56 &)6}.$`
4.12 设计文档 57 @,1_CqV 4.10.1 公式 58 ?bM%#x{e 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ,N:^4A 4.10.3 沉积密度 59 mD7NQ2:wA 4.10.4 平行和楔形介质 60 |~%RSS~b* 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Sak^J.~G[ 4.10.4 性能 61 oQh;lb 4.10.5 保存设计和性能 64 `q]' ^EzJ 4.10.6 默认设计 64 XdThl 4.11 图表 64 \EU3i;BNT% 4.11.1 合并曲线图 67 N KgEs 4.11.2 自适应绘制 68 1Q
FsT 4.11.3 动态绘图 68 (*r2bm2FPO 4.11.4 3D绘图 69 2~/`L=L 4.12 导入和导出 73 Z*w({k7] 4.12.1 剪贴板 73 ]vB^% 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 H0inU+Ih 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 pD[&,gV$ 4.13 背景 77 G"&$7!6[Y 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
Txo{6nd/ 4.15 生成Rugate 84 i_m&qy<v 4.16 参考文献 91 XM!oN^ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 < w}i 5.1 Jobs 92 xib}E[-l# 5.2 创建一个新Job(工作) 93 6!0NFP~b 5.3 输入材料 94 V^FM-bg%9 5.4 设计数据文件夹 95 U%r{{Q1 5.5 默认设计 95 ='D%c^;O8' 6 细化和合成 97 037\LPO 6.1 优化介绍 97 ;DX{+Z[ 6.2 细化 (Refinement) 98 X~m57bj 6.3 合成 (Synthesis) 100 W (TTsnnx 6.4 目标和评价函数 101 Ay6T*Nu` 6.4.1 目标输入 102 z^gz kXx7 6.4.2 目标 103 z5({A2q 6.4.3 特殊的评价函数 104 b/*QV0( 6.5 层锁定和连接 104 An(gHi;1$ 6.6 细化技术 104 FEhBhv|m 6.6.1 单纯形 105 o7+<sL 6.6.1.1 单纯形参数 106 1f^oW[w& 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 zx"EAF{ 6.6.2.1 Optimac参数 108 hU( 6.6.3 模拟退火算法 109 0e"KdsA:<U 6.6.3.1 模拟退火参数 109 yD3vq}U! 6.6.4 共轭梯度 111 M6cybEk` 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
PC@HNto{ 6.6.5 拟牛顿法 112 F !v01]O 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 N%:uOX8{ 6.6.6 针合成 113 o(v` 6.6.6.1 针合成参数 114 !^L}LtqHI 6.6.7 差分进化 114 (*eX'^Q)d 6.6.8非局部细化 115 .Sw4{m[g 6.6.8.1非局部细化参数 115 k(>J?\iNW 6.7 我应该使用哪种技术? 116 q{*[uJ}Xc" 6.7.1 细化 116 EX<1hAw 6.7.2 合成 117 .6n|hYe 6.8 参考文献 117 /:A239=+ ? 7 导纳图及其他工具 118 *URY8a`bO 7.1 简介 118 HSG9|}$ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 }1CO>a< 7.2.1 四分之一波长规则 119 >oy%qLHe~t 7.2.2 导纳图 120 ZPM7R3%V)z 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Y
uZ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 coaJDg+ 7.5 斜入射导纳图 141 -$s1k~o 7.6 对称周期 141 zXGI{P0O 7.7 参考文献 142 &C,]c#-+ 8 典型的镀膜实例 143 _mdJIa0D6k 8.1 单层抗反射薄膜 145 )`5-rm~* 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 m|cRj{xZF 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 xop\W4s_ 8.4 W-膜层 148 !5m~qet. 8.5 V-膜层 149 N]c:8dOj 8.6 V-膜层高折射基底 150 *Z"Kvj;>u 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 g+.E=Ef8<4 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 *qMjoP, 8.9 四层抗反射薄膜 153 6*ZZ)W< 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 e!i.u'z 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 NFIFCy! 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 \hzx? 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Pd
6 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 #2.C$ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 r
Z5eXew6 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ?K}KSJ6_ 8.17 1/4波长堆栈 162 P#A|Pn<p 8.18 陷波滤波器 163 Dhg/>@tw 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 )[sSCt] 8.20 褶皱 165 Pt;\]?LVrD 8.21 消偏振分光器1 169 +xmZK<{< 8.22 消偏振分光器2 171 4f0dc\$ 8.23 消偏振立体分光器 172 >273V+dy 8.24 消偏振截止滤光片 173 SLd9-N}T 8.25 立体偏振分束器1 174 )>=|oY3 8.26 立方偏振分束器2 177 x~yd/ R 8.27 相位延迟器 178 6d 8n1_ 8.28 红外截止器 179 ~b4fk^u`+ 8.29 21层长波带通滤波器 180 [7)#3 8.30 49层长波带通滤波器 181 8>:2li 8.31 55层短波带通滤波器 182 IZ4jFgpR 8.32 47 红外截止器 183 M[T!AO-S$ 8.33 宽带通滤波器 184 9>@"W- 8.34 诱导透射滤波器 186 Sag\wKV8 8.35 诱导透射滤波器2 188 h"nv[0!) 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 QaEXk5>e 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 7@VR:~n}k 8.35 增益平坦滤波器 193 w@f_TG"Vt 8.38 啁啾反射镜 1 196 WHF:>0B 8.39 啁啾反射镜2 198 `[1]wV5(5@ 8.40 啁啾反射镜3 199 ==j39 8.41 带保护层的铝膜层 200 PsD]gN5" 8.42 增加铝反射率膜 201 &9g#Vq% 8.43 参考文献 202 3?/} 9 多层膜 204 &l|B>{4v 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 q`;URkjk 9.2 内部透过率 204 N=L
urXv 9.3 内部透射率数据 205 55N/[{[ 9.4 实例 206 `Op
";E88 9.5 实例2 210 tbk9N( R 9.6 圆锥和带宽计算 212 <$9AP 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 vqxTf)ys 10 光学薄膜的颜色 216 2W~2Hk=0+% 10.1 导言 216 'XQv> J 10.2 色彩 216 khu,P[3> 10.3 主波长和纯度 220 Qg oXOVo6 10.4 色相和纯度 221 qx? lCz a" 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 aA
yFu_ 10.6 色差 226 'Ph;:EMj 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 O "h+i>|l 10.8 颜色渲染指数 234 h/w- &7t 10.9 色差计算 235 I~T?tm 10.10 参考文献 236
nocH~bAf2 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 KJkcmF}Q 11.1 短脉冲 238 FRF}V@~ 11.2 群速度 239 rC*n Z* 11.3 群速度色散 241 4-n.4j| 11.4 啁啾(chirped) 245 3 \WdA$Wx 11.5 光学薄膜—相变 245 %yrP: fg/ 11.6 群延迟和延迟色散 246 NAocmbfNz 11.7 色度色散 246 ^e 6(#SqR 11.8 色散补偿 249 #5I "M WA 11.9 空间光线偏移 256 n*xNMw1x"T 11.10 参考文献 258 5Q'R5]?h 12 公差与误差 260 u1kbWbHu( 12.1 蒙特卡罗模型 260 MR6vr.~ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 *:_hOOT+[ 12.2.1 误差工具 267 nz&JG~Qfm 12.2.2 灵敏度工具 271 aH#|LrdJ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 J8D-a! 12.2.2.2 灵敏度分布 275 MU^Z*r 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 6u7HO-aa 12.3 参考文献 276 tw')2UGg 13 Runsheet 与Simulator 277 ^b.J z} 13.1 原理介绍 277 i!nl%% 13.2 截止滤光片设计 277 dk ?0r 14 光学常数提取 289 1wM
p3 14.1 介绍 289 8+ W^t I 14.2 电介质薄膜 289 /][U$Q;Ke 14.3 n 和k 的提取工具 295 S9BJjo 14.4 基底的参数提取 302 u@3w$"Pv1 14.5 金属的参数提取 306 =w5w=qB 14.6 不正确的模型 306 ={oO9.9 14.7 参考文献 311 MG@19R2s 15 反演工程 313 S {H8}m|MW 15.1 随机性和系统性 313 , $=V 15.2 常见的系统性问题 314 C!P6Z10+j 15.3 单层膜 314 3IxT2@H) 15.4 多层膜 314 ),Rj@52l 15.5 含义 319 KKzvoc?Bt 15.6 反演工程实例 319 "869n37 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 >JMKEHl.q 15.6.2 反演工程提取折射率 327 L$Q+R' 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 k4P.}SJ? 16.1 光学性质的热致偏移 329 G~Sfpf 16.2 应力工具 335 (
FRf.mv{ 16.3 均匀性误差 339 '$VR_N\ 16.3.1 圆锥工具 339 ^pP
14y*go 16.3.2 波前问题 341 {%Y7]*D 16.4 参考文献 343 V_QVLW 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 \4[Ta,;t 17.1 引言 345 hd B[H8Q 17.2 操作数 345 F*=RP$sj 18 如何在Function中编写脚本 351 8FITcK^ 18.1 简介 351 @:@rks& 18.2 什么是脚本? 351 '9gI=/29D 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ao!r6:&v$e 18.4 基础 352 @!da1jN 18.4.1 Classes(类别) 352 SJ-Sac58r 18.4.2 对象 352 YB|9k)Z2[ 18.4.3 信息(Messages) 352 -G 'lyH 18.4.4 属性 352 `vSsgG 18.4.5 方法 353 4@I]PG 18.4.6 变量声明 353 v#FUD-Z 18.5 创建对象 354 =.c"&,c?L 18.5.1 创建对象函数 355 _;{-w%Vf 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 86g+c 18.5.3 丢弃对象 356 K;PpS*! 18.5.4 总结 356 Q/9b'^UJ 18.6 脚本中的表格 357 M)7enp) F. 18.6.1 方法1 357 I1~g?jpH 18.6.2 方法2 357 0Pk-FSY|f 18.7 2D Plots in Scripts 358 3@L%#]xwi 18.8 3D Plots in Scripts 359 @El<"\ 18.9 注释 360 P>-,6a> 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Biwdb 18.11 一个更高级的脚本 362 [
UJj*n 18.12 <esc>键 364 08a|]li 18.13 包含文件 365 !*gAGt_ 18.14 脚本被优化调用 366 Hi9z<l=$
18.15 脚本中的对话框 368 0 y%R 18.15.1 介绍 368 ]r6bJ2 18.15.2 消息框-MsgBox 368 {)qP34rM 18.15.3 输入框函数 370 (&,R1dLo 18.15.4 自定义对话框 371 U^&Cvxc[[ 18.15.5 对话框编辑器 371 K7c8_g*>4= 18.15.6 控制对话框 377 |5Pbc&mH8A 18.15.7 更高级的对话框 380 =jt_1L4 18.16 Types语句 384 1`{ib
18.17 打开文件 385 h6 i{5\7. 18.18 Bags 387 ZZ*k3Ce 18.13 进一步研究 388 z%tu6_4j 19 vStack 389 ~0|hobk 19.1 vStack基本原理 389 vM/v}6;_K2 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 KT71%?P 19.3 五棱镜 393 (K6StNtN 19.4 光束距离 396 su;S)yZb 19.5 误差 399 I/jr`3Mj 19.6 二向分色棱镜 399 %LHV 0u 19.7 偏振泄漏 404 V?BVk8D}; 19.8 波前误差—相位 405 )6^xIh 19.9 其它计算参数 405 S45>f(! 20 报表生成器 406 GNc|)$ 20.1 入门 406 _ZBR<{ 20.2 指令(Instructions) 406 u$8MVP 20.3 页面布局指令 406 o q)"1 20.4 常见的参数图和三维图 407 ZiYzsn 20.5 表格中的常见参数 408 V JL;+ 20.6 迭代指令 408 22~X~= 20.7 报表模版 408 cV,Dl`1r 20.8 开始设计一个报表模版 409 q)+n2FM 21 一个新的project 413 r$Y!Y#hwQ 21.1 创建一个新Job 414 WI_mJ/2 21.2 默认设计 415 %0]b5u 21.3 薄膜设计 416 `|Z@UPHzG 21.4 误差的灵敏度计算 420 JSK5x(GlH 21.5 显色指数计算 422 4ZpF1Zc4B 21.6 电场分布 424 $4JX#lkt 后记 426 #`0z=w/) 有兴趣扫码加微联系 G!%XQ\a!
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