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k h*WpX 内容简介 =sv?))b` Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ~Ym*QSD 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 <n2'm
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 #`=>Mza 0-aaLC~Z> 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 f<$*,P 目录 )c1Pj#| Preface 1 hR:i! 内容简介 2 t2.jg?`k 目录 i OC-d5P
1 引言 1 7\$ b%A 2 光学薄膜基础 2 .I]v
D#o 2.1 一般规则 2 .HGK 3 2.2 正交入射规则 3 _D@QsQ_Z 2.3 斜入射规则 6 $s]&92 2.4 精确计算 7 xXI WEZA 2.5 相干性 8 *SI,K)BP 2.6 参考文献 10 3D5adI<aq" 3 Essential Macleod的快速预览 10 N%q{CYF6 4 Essential Macleod的特点 32 tn _\E/Q 4.1 容量和局限性 33 =B'Yx 4.2 程序在哪里? 33 zVe,HKF/ 4.3 数据文件 35 s!yD%zO 4.4 设计规则 35 5T9[a 4.5 材料数据库和资料库 37 9-&@Y 4.5.1材料损失 38 W> Pcj EI 4.5.1材料数据库和导入材料 39 F3$8l[O_ 4.5.2 材料库 41 K.&6c,P] 4.5.3导出材料数据 43 'Z,7{U1P 4.6 常用单位 43 `*yOc6i] 4.7 插值和外推法 46 yLnTIE 3) 4.8 材料数据的平滑 50 g2}aEfp!H 4.9 更多光学常数模型 54 WLh!L='{BK 4.10 文档的一般编辑规则 55 8@rF~^-_ 4.11 撤销和重做 56 3m21n7F4* 4.12 设计文档 57 ){u#
(sW 4.10.1 公式 58 FEopNDy@y 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 f* h nzj 4.10.3 沉积密度 59 l
ObY 4.10.4 平行和楔形介质 60 cFJZ|Ld 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 4\ )WMP 4.10.4 性能 61 ts@e
, 4.10.5 保存设计和性能 64 ,,IK} 4.10.6 默认设计 64 =*6frC~ 4.11 图表 64 i? #U>0! 4.11.1 合并曲线图 67 f4dHOH 4.11.2 自适应绘制 68 /Jc^XWf 4.11.3 动态绘图 68 Po\+zZjo 4.11.4 3D绘图 69 Kuk@x.~0m 4.12 导入和导出 73 %4#ChlXB 4.12.1 剪贴板 73 6 W$m,3Dg 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ww%4MHPp8 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ,y/m5-D! 4.13 背景 77 ~U1: 0 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 lD_iIe~c 4.15 生成Rugate 84 %\B?X;( 4.16 参考文献 91 6 {3q l: 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 i
!SN"SY 5.1 Jobs 92 ^;\6ju2 5.2 创建一个新Job(工作) 93 +_f813$C 5.3 输入材料 94 mryT%zSlM 5.4 设计数据文件夹 95 3rX8H`R 5.5 默认设计 95 b+CvA(* 6 细化和合成 97 Z yz)`>cB 6.1 优化介绍 97 Lr"`OzDz 6.2 细化 (Refinement) 98 1'k,P;s 6.3 合成 (Synthesis) 100 vDc&m 6.4 目标和评价函数 101 ?DNeL;6 6.4.1 目标输入 102 IZ.b 6.4.2 目标 103 N$Tzxs 6.4.3 特殊的评价函数 104 gJ$m'kC; 6.5 层锁定和连接 104 2Myz[)<P_ 6.6 细化技术 104 ~%: TE} 6.6.1 单纯形 105 |l?*' = 6.6.1.1 单纯形参数 106 @XKVdtG 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ;b,
bHL 6.6.2.1 Optimac参数 108 ,/Y$%.Rp 6.6.3 模拟退火算法 109 f_QZql 6.6.3.1 模拟退火参数 109 {UhpN"'"n 6.6.4 共轭梯度 111 sNC~S%[ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 S8]YS@@D 6.6.5 拟牛顿法 112 AAc2u^spx 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 %9t=Iu* 6.6.6 针合成 113 VZA>ErB 6.6.6.1 针合成参数 114 fEyc3K'5V 6.6.7 差分进化 114 l W
Lj== 6.6.8非局部细化 115 7bkh")^ 6.6.8.1非局部细化参数 115 %Vsg4DRy 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ;AarpUw' 6.7.1 细化 116 #)KQ-x, 6.7.2 合成 117 Xkp`1UTH 6.8 参考文献 117 0Jm)2@ 7 导纳图及其他工具 118 x^UAtKSy 7.1 简介 118 v%Su#xq/ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 28xLaob 7.2.1 四分之一波长规则 119 62/tg*) 7.2.2 导纳图 120 BOW`{= 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 !f8]gT zN 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 k=5v
J72U 7.5 斜入射导纳图 141 mDIN%/S' 7.6 对称周期 141 G\S_e7$/ 7.7 参考文献 142 Dt+uf5o( 8 典型的镀膜实例 143 1f5;^T
I 8.1 单层抗反射薄膜 145 8d\/ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ZL- ` 3x 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 s#)tiCSVW 8.4 W-膜层 148 'C1yqkIa` 8.5 V-膜层 149 eP|hxqM&9 8.6 V-膜层高折射基底 150 6b=7{nLF 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Kdb:Q0B 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 @LDu08lr 8.9 四层抗反射薄膜 153 ~2U5Wt 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ltG|#( 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 !tv+,l&L 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 @>hXh
+!2h 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 nA XWbavY 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 A ]~%<=b 8.15十五层宽带抗反射膜 159 o7s<G8;? 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 EcmyY,w 8.17 1/4波长堆栈 162 TInp6w+u 8.18 陷波滤波器 163 q8fnUK?i 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 %KmhR2v 8.20 褶皱 165 WEugm603 8.21 消偏振分光器1 169 WzO[-csy 8.22 消偏振分光器2 171 -VRKQNT 8.23 消偏振立体分光器 172 WEB enGQ 8.24 消偏振截止滤光片 173 E@^mlUf 8.25 立体偏振分束器1 174 `}&}2k 8.26 立方偏振分束器2 177 1jQlwT(: 8.27 相位延迟器 178 yM*<BV 8.28 红外截止器 179 23[X mBf 8.29 21层长波带通滤波器 180 a'A'%+2 8.30 49层长波带通滤波器 181 E,:E u< 8.31 55层短波带通滤波器 182 u}IQ)Ma 8.32 47 红外截止器 183 sBm/9vu 8.33 宽带通滤波器 184 WCZeY?_^c 8.34 诱导透射滤波器 186 RkXW(T` 8.35 诱导透射滤波器2 188 N"o+;yR 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Q?TXM1Bp 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ]u@`XVEJ 8.35 增益平坦滤波器 193 D<XRu4^; 8.38 啁啾反射镜 1 196 1 :d,8 8.39 啁啾反射镜2 198 Z }Z]["q 8.40 啁啾反射镜3 199 CaqMLi% 8.41 带保护层的铝膜层 200 QF`o%mI 8.42 增加铝反射率膜 201 "?TKz:9r 8.43 参考文献 202 F
{T\UX 9 多层膜 204 Pi:=0,"XOp 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 "f<+~ 9.2 内部透过率 204 t+Rt*yjO 9.3 内部透射率数据 205 _a~-B@2g 9.4 实例 206 (dVrGa54 9.5 实例2 210 ~`Xu6+1o 9.6 圆锥和带宽计算 212 2k3yf_N 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 TdH~sz 10 光学薄膜的颜色 216 U/I+A|S[ 10.1 导言 216 sz+Uq]Mn 10.2 色彩 216 JqYt^,,Q: 10.3 主波长和纯度 220 Ks-aJ+} 10.4 色相和纯度 221 AilfeHG 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 &SE+7HXw 10.6 色差 226 n32.W?9 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 0ge^pO\Z 10.8 颜色渲染指数 234 9F"Q2^l' 10.9 色差计算 235 MW6KEiQ" 10.10 参考文献 236 ]w[T_4l 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 GcYT<pwN6 11.1 短脉冲 238 #[{xEVf 11.2 群速度 239 vs~lyM/ 11.3 群速度色散 241 CuD ^@ 11.4 啁啾(chirped) 245 PC}m.tE 11.5 光学薄膜—相变 245 Bpw<{U 11.6 群延迟和延迟色散 246 CD+2
w
cy 11.7 色度色散 246 4C{3>BE 11.8 色散补偿 249 ^9C9[$Q 11.9 空间光线偏移 256 ~NtAr1 11.10 参考文献 258 !1\jD 12 公差与误差 260 ep3iI77/ 12.1 蒙特卡罗模型 260 @)YQiE$ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ib%x&?|| 12.2.1 误差工具 267 JKsdPW<? 12.2.2 灵敏度工具 271 z.7'yJIP# 12.2.2.1 独立灵敏度 271 5{&<X.jv 12.2.2.2 灵敏度分布 275 dnP3{!"b 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 )d|hIW]7( 12.3 参考文献 276 f{Dc R" 13 Runsheet 与Simulator 277 CxOBH89( 13.1 原理介绍 277 KVrK:W--p 13.2 截止滤光片设计 277 yNb
:zoT 14 光学常数提取 289 ~t~5ctJ@ 14.1 介绍 289 pH1 9"=p< 14.2 电介质薄膜 289 :9E_L2M 14.3 n 和k 的提取工具 295 ;|Ja|@82 14.4 基底的参数提取 302 j>0~"A 14.5 金属的参数提取 306 7o4 vf~ 14.6 不正确的模型 306 +i[w& P 14.7 参考文献 311 =!`\=!y 15 反演工程 313 iY2%_b!5 15.1 随机性和系统性 313 &Tf R]. 15.2 常见的系统性问题 314 d">Ya !W 15.3 单层膜 314 \O7?!i 15.4 多层膜 314 E+&]96*Lby 15.5 含义 319 ^8V cm* 15.6 反演工程实例 319 (Rc0 l; 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 CKTD27}) 15.6.2 反演工程提取折射率 327 H5N(MihT 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 -e{H 8ro 16.1 光学性质的热致偏移 329 -^(NIl' 16.2 应力工具 335 @Yq! 16.3 均匀性误差 339 _5nQe
! 16.3.1 圆锥工具 339 A_t<SG5
16.3.2 波前问题 341 S %"7`xl 16.4 参考文献 343 z^f-MgWG 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 KcB?[ 17.1 引言 345 i`g>Y5 17.2 操作数 345 Kup-O
u, 18 如何在Function中编写脚本 351 ^j2:fJOU# 18.1 简介 351 _l?5GLl_F$ 18.2 什么是脚本? 351 L#e|t0'# 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 "*@iXJxv5 18.4 基础 352 ~~ON!l9n 18.4.1 Classes(类别) 352 7 #,+Q(2 18.4.2 对象 352 uREc9z`Q' 18.4.3 信息(Messages) 352 |yI?}zyR 18.4.4 属性 352 A&5$eGe9 18.4.5 方法 353 ]T+.kC
M 18.4.6 变量声明 353 dBG]J18 18.5 创建对象 354
FFgy=F 18.5.1 创建对象函数 355 LwUvM 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 w9}I*Nra 18.5.3 丢弃对象 356 f (
`.q 18.5.4 总结 356 )`rC"N) 18.6 脚本中的表格 357 -}UCdaQ3 18.6.1 方法1 357 Iw"?%k\U 18.6.2 方法2 357 eT+MN` 18.7 2D Plots in Scripts 358 \Mlj
7.u] 18.8 3D Plots in Scripts 359 {\t:{.F
A 18.9 注释 360 /$rS0@p 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 9GZF39w u 18.11 一个更高级的脚本 362 ,ASY
&J5)7 18.12 <esc>键 364 PyHE>C% 18.13 包含文件 365 Yb =8\<; 18.14 脚本被优化调用 366 ,)L.^< 18.15 脚本中的对话框 368 vfhip"1 18.15.1 介绍 368 j)F~C8* 18.15.2 消息框-MsgBox 368 I{cn ,,8 18.15.3 输入框函数 370 t9pPG {1 18.15.4 自定义对话框 371 ]Wa,a
T' 18.15.5 对话框编辑器 371 Gz *U?R-T 18.15.6 控制对话框 377 l!i B
-?'u 18.15.7 更高级的对话框 380 <6apv(2a 18.16 Types语句 384 &P ;6P4x 18.17 打开文件 385 udc9$uO 18.18 Bags 387 &8&WY1cU 18.13 进一步研究 388 #8/Z)-G 19 vStack 389 5o~Z> 19.1 vStack基本原理 389 vJq`l3& 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 "Pys3=h 19.3 五棱镜 393 m@c2'*&Y 19.4 光束距离 396 ;U`HvIch 19.5 误差 399 |E7]69=P 19.6 二向分色棱镜 399 5?vIkf 19.7 偏振泄漏 404 [=E<iPl 19.8 波前误差—相位 405 SyYa_=En 19.9 其它计算参数 405 U |4%ydG 20 报表生成器 406 oW+R:2I~O 20.1 入门 406 \O/=g6w|t} 20.2 指令(Instructions) 406 E0oJ|My 20.3 页面布局指令 406 +vbNZqwz 20.4 常见的参数图和三维图 407 b`:Eo+p 20.5 表格中的常见参数 408 fCVSVn"o 20.6 迭代指令 408 Vk_L*lcN 20.7 报表模版 408 d#z67Nl6 20.8 开始设计一个报表模版 409 cL
WM]\Y 21 一个新的project 413 )O&$-4gL' 21.1 创建一个新Job 414 aVtwpkgZ 21.2 默认设计 415 q{_buTARq 21.3 薄膜设计 416 RZ.5:v6 21.4 误差的灵敏度计算 420 OIWo*
% 21.5 显色指数计算 422 a,tP.Xsl 21.6 电场分布 424 9SFiL#1 后记 426 /V*eAn8> 有兴趣扫码加微联系 ]jYl:41yI
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