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L;;x%> 内容简介 '=xl}v Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 _GS2&|7` 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 dx#N)? 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 L'(^[vR( i "xq SLf= 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ]T1"3
[si 目录 <=lP6B Preface 1 b`'
;`*AN+ 内容简介 2 wP'`!O[W 目录 i YN^8s 1 引言 1 1'iRx, 2 光学薄膜基础 2 Oc1ZIIkh\ 2.1 一般规则 2 x<" e 2.2 正交入射规则 3 ft5 Bk'ZJ 2.3 斜入射规则 6 pa7fTd
2.4 精确计算 7 - >2ej4C 2.5 相干性 8 .%o:kq@B 2.6 参考文献 10 H!N,PI?rn 3 Essential Macleod的快速预览 10 gDH x+"? 4 Essential Macleod的特点 32 /W;;7k 4.1 容量和局限性 33 )+J?(&6 4.2 程序在哪里? 33 YV9%^ZaN7 4.3 数据文件 35 >2ct1_ 4.4 设计规则 35 !eW<4jYB 4.5 材料数据库和资料库 37 rW6LMkt72 4.5.1材料损失 38 W'[!4RQL 4.5.1材料数据库和导入材料 39 /*[a>B4-q 4.5.2 材料库 41 NEvt71k 4.5.3导出材料数据 43 *i|hcDk 4.6 常用单位 43 PO#FtG 4.7 插值和外推法 46 (%bfNs| 4.8 材料数据的平滑 50 ;YB8X&H$ 4.9 更多光学常数模型 54 ]l4\/EW6 4.10 文档的一般编辑规则 55 @{j-B
IRZ0 4.11 撤销和重做 56 K_xn> 4.12 设计文档 57 ls=<c< 4.10.1 公式 58 U6{ RHS[ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 0\/7[nwS 4.10.3 沉积密度 59 d(&vIjy 4.10.4 平行和楔形介质 60 TYp{nWwi 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 nV'B!q 4.10.4 性能 61 sM4N`$Is23 4.10.5 保存设计和性能 64 %j'lWwi 4.10.6 默认设计 64 tW(E\#!|p< 4.11 图表 64 YO=;)RA 4.11.1 合并曲线图 67 nC z[#t 4.11.2 自适应绘制 68 {T$;BoR#O
4.11.3 动态绘图 68 $.`(2 4.11.4 3D绘图 69 sQR;!-j 4.12 导入和导出 73 Bk8U\Ut 4.12.1 剪贴板 73 -Z:al\e<g 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 CnO$xE|{ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ]UMwpL&rY 4.13 背景 77 Kl^Yq 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 "~GudK & 4.15 生成Rugate 84 n^'{{@&(v 4.16 参考文献 91 3>;U||O 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
3o/f#y 5.1 Jobs 92 `toSU>: 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ;e-iiC]PI 5.3 输入材料 94 1wwhTek 5.4 设计数据文件夹 95 iud%X51 5.5 默认设计 95 %$b
5&>q 6 细化和合成 97 $
\jly 6.1 优化介绍 97 B3K%V|;z
) 6.2 细化 (Refinement) 98 A1i-QG/6 6.3 合成 (Synthesis) 100 j J9| 6.4 目标和评价函数 101 |>VHV} 4)< 6.4.1 目标输入 102 W0R6<-
1 6.4.2 目标 103 cZ5[A T 6.4.3 特殊的评价函数 104 A=BpB}b 6.5 层锁定和连接 104 lG q;kIQ 6.6 细化技术 104 kQ|}"Tw7 6.6.1 单纯形 105 ctj.rC)6n 6.6.1.1 单纯形参数 106 sW[42A 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Rd 2* 6.6.2.1 Optimac参数 108 O#9Q+BD 6.6.3 模拟退火算法 109 NAL%qQ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 #LF_*a0v 6.6.4 共轭梯度 111 brZ3T`p+.P 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 d
;ry!X 6.6.5 拟牛顿法 112 s*rtm 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 i^j{l_-JE 6.6.6 针合成 113 =PXNg!B}D* 6.6.6.1 针合成参数 114 Rnj2Q!C2 6.6.7 差分进化 114 IDv@r\Xw 6.6.8非局部细化 115 F*}b), 6.6.8.1非局部细化参数 115 -^C;WFh8) 6.7 我应该使用哪种技术? 116 x%LWcT/ 6.7.1 细化 116 p_tMl%K 6.7.2 合成 117 @Yy=HV 6.8 参考文献 117 7v1}8Uk 7 导纳图及其他工具 118 mh|M O( 7.1 简介 118 5JQq?e)n 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ""TRLs!:M 7.2.1 四分之一波长规则 119 ^]OD+ v 7.2.2 导纳图 120 9'O<d/xj/ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Bojm lVg 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 D4_D{\xhO 7.5 斜入射导纳图 141 GMd81@7 7.6 对称周期 141 _Tev503 7.7 参考文献 142 8>
Gp #T 8 典型的镀膜实例 143 3vDV
8.1 单层抗反射薄膜 145 NeUpl./b 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 VM|8HR7U 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Q"%L 8.4 W-膜层 148 OpYq qBf_ 8.5 V-膜层 149 dDAdZxd 8.6 V-膜层高折射基底 150 HnZrRHT0 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 _k
_F 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 9NKZE?5P|D 8.9 四层抗反射薄膜 153 ]oZ$,2#;~ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 M`AbH19 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 WF_G GF{ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 RQv`D&u_ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 to+jQ9q8 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 7-bU9{5 8.15十五层宽带抗反射膜 159 P6;L\9=H< 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 wN"irXG 8.17 1/4波长堆栈 162 O]i}r`E8, 8.18 陷波滤波器 163 (eG#JVsm9 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 5h1FvJg 8.20 褶皱 165 {U7j 8.21 消偏振分光器1 169 IB(5 &u. 8.22 消偏振分光器2 171 a!4'}gHR 8.23 消偏振立体分光器 172 ;\(wJ{u?Y 8.24 消偏振截止滤光片 173 -,3Ka: 8.25 立体偏振分束器1 174 Pqx=j_st 8.26 立方偏振分束器2 177 (~,Q-w" 8.27 相位延迟器 178 '^}l|( 8.28 红外截止器 179 Aln\:1MU 8.29 21层长波带通滤波器 180 (8k3z` 8.30 49层长波带通滤波器 181 Bglh}_X 8.31 55层短波带通滤波器 182 q48V|6X'q 8.32 47 红外截止器 183 zLC\Rc4 8.33 宽带通滤波器 184 2A
{k>TjQ 8.34 诱导透射滤波器 186 : E]A51 8.35 诱导透射滤波器2 188 b[VP"KZ ? 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 #W'jNX,h 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 3>/Yku)t 8.35 增益平坦滤波器 193 N^CD4l 8.38 啁啾反射镜 1 196 y~Sh|2x8v 8.39 啁啾反射镜2 198 $nBzYRc"3 8.40 啁啾反射镜3 199 <wc=SMmO 8.41 带保护层的铝膜层 200 5k<qJ9 8.42 增加铝反射率膜 201 \"5%w *vl 8.43 参考文献 202 oF)+f4 9 多层膜 204 |Zncr9b 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 sR
~1J4 9.2 内部透过率 204 @y{Whun~ 9.3 内部透射率数据 205 Z_cTuu0' 9.4 实例 206 )#M*@e$k 9.5 实例2 210 0B>{31) 9.6 圆锥和带宽计算 212 jvCk+n[ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 .pr- ^ 10 光学薄膜的颜色 216 ?RA^Y N*9 10.1 导言 216 ,d@.@a]
` 10.2 色彩 216 fLxFF 10.3 主波长和纯度 220 \HV%579 10.4 色相和纯度 221 C/tn0 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 \{P(s: 10.6 色差 226 pkM_ @K 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 LH3PgGi, 10.8 颜色渲染指数 234 LKFL2|af 10.9 色差计算 235 ~;3N'o 10.10 参考文献 236 1j9 .Q;9 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 v.c2(w/P 11.1 短脉冲 238 }q)oLC 11.2 群速度 239 km4::'(6 11.3 群速度色散 241 `` 6?;Y 11.4 啁啾(chirped) 245 Nq"/:3@4 11.5 光学薄膜—相变 245 zgJ%Zr!~ 11.6 群延迟和延迟色散 246 P<km?\Xp( 11.7 色度色散 246 pEw &i 11.8 色散补偿 249 w*f.Fu(su 11.9 空间光线偏移 256 S6`4&0' 11.10 参考文献 258 l{E+j% 12 公差与误差 260 /t01z~_ 12.1 蒙特卡罗模型 260 d/j$_NQ&! 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 K#}DXq 12.2.1 误差工具 267 AN\: 12.2.2 灵敏度工具 271 tz6d}$ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 MrXhVZ"d* 12.2.2.2 灵敏度分布 275 U(3{6^>Gc 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 >s1'I:8 12.3 参考文献 276 |l
03,dOF 13 Runsheet 与Simulator 277 CY<,p$ 13.1 原理介绍 277 Q!(C$&f 13.2 截止滤光片设计 277 u0Fu_Rtr 14 光学常数提取 289 oL2|@WNj, 14.1 介绍 289 kz@@/DD/9 14.2 电介质薄膜 289 ZYos.ay 14.3 n 和k 的提取工具 295 $,bLK|<hi 14.4 基底的参数提取 302 KE]!7+8- 14.5 金属的参数提取 306 f|cd_?| 14.6 不正确的模型 306 Wt"fn&R} 14.7 参考文献 311 H$9--p 15 反演工程 313 3tMs613 15.1 随机性和系统性 313 &s>HiL>f 15.2 常见的系统性问题 314 s"*zyLUUo 15.3 单层膜 314 6HW<E~G'6 15.4 多层膜 314 h1^q};3!W\ 15.5 含义 319 ?a+tL'D[ 15.6 反演工程实例 319 QU2\gAM 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ;X[mfg\ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 TartV3;` 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ZTfs&5 16.1 光学性质的热致偏移 329 CLg; 16.2 应力工具 335 ++W_4 B! 16.3 均匀性误差 339 0Y,_
DU 16.3.1 圆锥工具 339 Uvgv<OR`_ 16.3.2 波前问题 341 z_~5c 16.4 参考文献 343 ,Drd s"H 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 9[N+x2q 17.1 引言 345 K'+GK S7. 17.2 操作数 345 }#Z Q\[ 18 如何在Function中编写脚本 351 gk >-h,>" 18.1 简介 351 $?YRy_SI 18.2 什么是脚本? 351 w4H3($
K 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 L1D{LzlBti 18.4 基础 352 f^@`[MJj1C 18.4.1 Classes(类别) 352 (D]l/akP 18.4.2 对象 352 I2hX;pk, 18.4.3 信息(Messages) 352 H[#s&Fk2 18.4.4 属性 352 JEL=,0J 18.4.5 方法 353 zM%ILv4 18.4.6 变量声明 353 ,ilVt 18.5 创建对象 354 U$@p"F@P 18.5.1 创建对象函数 355 3P-qLbJ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 !2s<
v 18.5.3 丢弃对象 356 =/&ob%J)9] 18.5.4 总结 356 J?&lpsB3_l 18.6 脚本中的表格 357 Y0:y72mK 18.6.1 方法1 357 4h\MSTF* 18.6.2 方法2 357 oqH811 18.7 2D Plots in Scripts 358 F2WUG 18.8 3D Plots in Scripts 359 d?C8rkV' 18.9 注释 360 :[z=u 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 fo9O+e s 18.11 一个更高级的脚本 362 Xm`jD'G 18.12 <esc>键 364 UKMr,{iy 18.13 包含文件 365 n&Bolt(tO 18.14 脚本被优化调用 366 SV}q8z\ 18.15 脚本中的对话框 368 12n5{'H2% 18.15.1 介绍 368 uF_gfjR[m 18.15.2 消息框-MsgBox 368 rT9<_< 18.15.3 输入框函数 370 h?5$-#q~ 18.15.4 自定义对话框 371 t$^1A1Ef 18.15.5 对话框编辑器 371 o6,$;-?F_ 18.15.6 控制对话框 377 fz#e4+oH 18.15.7 更高级的对话框 380 ,7,x9qE" 18.16 Types语句 384 Vb*q^
v 18.17 打开文件 385 [ &RZ& 18.18 Bags 387 "PK\;#[W| 18.13 进一步研究 388 ac%%*HN, 19 vStack 389 FZ'|z8Dm 19.1 vStack基本原理 389 (NK$2A/p 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ??0C"8:[ 19.3 五棱镜 393 Z?
u\ 19.4 光束距离 396 zim]3%b*A; 19.5 误差 399 5 fY\0 19.6 二向分色棱镜 399 _Bm/v^( 19.7 偏振泄漏 404 Se7NF@>9_ 19.8 波前误差—相位 405 1^ZQXUzl%i 19.9 其它计算参数 405 &0Yv*,4] 20 报表生成器 406 6KC.l}Y* 20.1 入门 406 &^$dHr6v 20.2 指令(Instructions) 406 Q/&H3N 20.3 页面布局指令 406 Y^$^B, 20.4 常见的参数图和三维图 407 HEH Tj,T 20.5 表格中的常见参数 408 n*~=O ' 20.6 迭代指令 408 #
le<R 20.7 报表模版 408 Hf!o6 o 20.8 开始设计一个报表模版 409 +>mbBu!7 21 一个新的project 413 fQ c%a1' 21.1 创建一个新Job 414 m?bd6'&FR 21.2 默认设计 415 7WK^eW"y8 21.3 薄膜设计 416 \o3)\
e]o 21.4 误差的灵敏度计算 420 3`[f<XaL 21.5 显色指数计算 422 yx?Z&9z < |