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;u8W 内容简介 )C rsm& Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 !=6 \70lJ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Yt=2HJY 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 n
ON]YDg [Y^h)k{-$ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 .(yJ+NU 目录 D|'[ [= Preface 1 A}_pJH 内容简介 2 cV4Y=
& 目录 i 8K&=]:( 1 引言 1 &/g^J\ 0M) 2 光学薄膜基础 2 3L{)Y`P 2.1 一般规则 2 g3(LDqB'. 2.2 正交入射规则 3 6Q]JY,+ 2.3 斜入射规则 6 U+!&~C^y 2.4 精确计算 7 Hv%$6,/ *v 2.5 相干性 8 XaMsIyhI 2.6 参考文献 10 +R;s<pZ^ 3 Essential Macleod的快速预览 10 ;ssI8\LG 4 Essential Macleod的特点 32 9xFI%UOb# 4.1 容量和局限性 33 zA/Fh(uX 4.2 程序在哪里? 33 xRqA^Ad 4.3 数据文件 35 9VSi2p* 4.4 设计规则 35 '@HCwEuz 4.5 材料数据库和资料库 37 pv"s!q& 4.5.1材料损失 38 Sar1NkD# 4.5.1材料数据库和导入材料 39 >G As&\4hs 4.5.2 材料库 41 o1uM( 4.5.3导出材料数据 43 s3VD6xi7 4.6 常用单位 43 (D{J| 4.7 插值和外推法 46 Y)l=r^Ap> 4.8 材料数据的平滑 50 `Io#440; 4.9 更多光学常数模型 54 /NxuNi;5 4.10 文档的一般编辑规则 55 -x|!?u5F 4.11 撤销和重做 56 [ B*r{ 4.12 设计文档 57 n98sY+$-z 4.10.1 公式 58 M;YJpi 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 )RQQhB 4.10.3 沉积密度 59 !t\sg 4.10.4 平行和楔形介质 60 F6C7k9 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 QXgfjo 4.10.4 性能 61 t=fP^bJ 4.10.5 保存设计和性能 64 @|e
we.r 4.10.6 默认设计 64 3jHg9M23[^ 4.11 图表 64 '~1Zr uO 4.11.1 合并曲线图 67 6E.[F\u 4.11.2 自适应绘制 68 (*AJ6BQWa 4.11.3 动态绘图 68 6;;2e> e 4.11.4 3D绘图 69 W{~ y< `D 4.12 导入和导出 73 2IGU{&s 4.12.1 剪贴板 73 w(K|0|t 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 }{Ra5-PY 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 aX
Ie 4.13 背景 77 U} w@,6 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 <`wOy[e 4.15 生成Rugate 84 <qEBF`XP = 4.16 参考文献 91 ,Z}ST|$u 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 r|i) 5.1 Jobs 92 ^66OzT8A 5.2 创建一个新Job(工作) 93 *kcc]*6@s 5.3 输入材料 94 N>1d]DrQR 5.4 设计数据文件夹 95 aIh} j, 5.5 默认设计 95 @.`k2lxGd~ 6 细化和合成 97 !YZKa- 6.1 优化介绍 97 *zW]IQ'A 6.2 细化 (Refinement) 98 rmr :G 6.3 合成 (Synthesis) 100 Nbv b_ 6.4 目标和评价函数 101 ze21Uj1x* 6.4.1 目标输入 102 O\)Kg2 6.4.2 目标 103 k4E9=y? 6.4.3 特殊的评价函数 104 W=OryEV? 6.5 层锁定和连接 104 @]p{%" $ 6.6 细化技术 104 YHMJ5IM@. 6.6.1 单纯形 105 {7;QZk( 6.6.1.1 单纯形参数 106 kE|x'(x 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 p1(" 6.6.2.1 Optimac参数 108 _x^rHADp 6.6.3 模拟退火算法 109 I5`>XfO) 6.6.3.1 模拟退火参数 109 bbDm6, 6.6.4 共轭梯度 111 oJ`=ob4WDo 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ^7Z;=]8J 6.6.5 拟牛顿法 112 WNKg>$M 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 uZ'Z-!=CL 6.6.6 针合成 113 g,W34*7=Q 6.6.6.1 针合成参数 114 Mc!LC
.8 6.6.7 差分进化 114 5UG9&:zu'V 6.6.8非局部细化 115 q8FpJ\ 6.6.8.1非局部细化参数 115 rBy0hGx 6.7 我应该使用哪种技术? 116 8Op^6rX4 6.7.1 细化 116 xtKU;+# 6.7.2 合成 117 t1yOAbI 6.8 参考文献 117 0Ub'=`]5a 7 导纳图及其他工具 118 oe0YxSauL 7.1 简介 118 b?qV~Dgk` 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 J@}PySq 7.2.1 四分之一波长规则 119 G6G-qqXy6 7.2.2 导纳图 120 (:?bQA'Td 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 +{C)^!zBK 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 rK`^A 7.5 斜入射导纳图 141 Q
w - z 7.6 对称周期 141 {9.UeVz 7.7 参考文献 142 o4Cq /K 8 典型的镀膜实例 143 h.KgHMV` 8.1 单层抗反射薄膜 145 ;Krb/qr4_ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 +
#E?) 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 a|.IAxJ 8.4 W-膜层 148 l&:8 'k+%= 8.5 V-膜层 149 5\w*W6y 8.6 V-膜层高折射基底 150 ^u1Nbo 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 o?j8"^!7 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 11kyrv 8.9 四层抗反射薄膜 153 ('$*QC.M 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 V\opC6*L_e 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 !H{>c@i 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 O:pg+o& 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 DT)][V^w 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 k;2.g$)W[c 8.15十五层宽带抗反射膜 159 <>Dw8?O
8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ~TeOl|!lE+ 8.17 1/4波长堆栈 162 0a#v}w^* 8.18 陷波滤波器 163 (E&M[hH+ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 UK1 )U)*+ 8.20 褶皱 165 .:B>xg~2 8.21 消偏振分光器1 169 4[MTEBx 8.22 消偏振分光器2 171 yFQaNuZPC 8.23 消偏振立体分光器 172 H$ g* 8.24 消偏振截止滤光片 173 CR%h$+dzy 8.25 立体偏振分束器1 174 ,d&3IhYhD 8.26 立方偏振分束器2 177 )pT5"{ 8.27 相位延迟器 178 (v|<"
tv 8.28 红外截止器 179 + G[zE 8.29 21层长波带通滤波器 180 u%E8&T8, 8.30 49层长波带通滤波器 181 s/s&d pT* 8.31 55层短波带通滤波器 182 -1d*zySL 8.32 47 红外截止器 183 c00rq ~<K 8.33 宽带通滤波器 184 D %)L"5C 8.34 诱导透射滤波器 186 m)"(S 8.35 诱导透射滤波器2 188 EzjK{v"> 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Dq$1
j%4Y 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 \[.qN 8.35 增益平坦滤波器 193 %"fO^KA.h] 8.38 啁啾反射镜 1 196 RWo7_X O 8.39 啁啾反射镜2 198 /j4G} 8.40 啁啾反射镜3 199 F;h^o !W7r 8.41 带保护层的铝膜层 200 (w5cp!qW9J 8.42 增加铝反射率膜 201 gO"G/ 8.43 参考文献 202 VKX|0~ 9 多层膜 204 = >tkc/aa 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 "VSx?74q 9.2 内部透过率 204 %6 GM[1__ 9.3 内部透射率数据 205 0)~c)B:5 9.4 实例 206 3oH/34jj 9.5 实例2 210 8wOscL f: 9.6 圆锥和带宽计算 212 LP|YW*i=IQ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ruB D
^- 10 光学薄膜的颜色 216 3W_7xLA 10.1 导言 216 \4G9YK-N> 10.2 色彩 216 7Re\*[)T 10.3 主波长和纯度 220 S7nx4c2xK~ 10.4 色相和纯度 221 ha=2isq 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 0H^*VUyW/ 10.6 色差 226 `67i1w` 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Q~svtN 10.8 颜色渲染指数 234 .Wy' 10.9 色差计算 235 'ROz| iJ 10.10 参考文献 236 GN!
R<9 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 E?P>s T3B 11.1 短脉冲 238 >(.|oT\Tb 11.2 群速度 239 <f8j^ 11.3 群速度色散 241 .udLMS/_ 11.4 啁啾(chirped) 245 ,(K-;Id4 11.5 光学薄膜—相变 245 <,n:w[+!`P 11.6 群延迟和延迟色散 246 R2-F@_ 11.7 色度色散 246 y2s(]#8 11.8 色散补偿 249 #Pf<2S
11.9 空间光线偏移 256 @P75f5p}< 11.10 参考文献 258 42"nbJ 12 公差与误差 260 Q>Z~={" 12.1 蒙特卡罗模型 260 g@4~, 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 S\A0gOL^ 12.2.1 误差工具 267
J9*;Bqzim 12.2.2 灵敏度工具 271 ,h'Q 12.2.2.1 独立灵敏度 271 EC[]L'IL 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ?#(LH\$l_ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 j<0;JAL 12.3 参考文献 276 Q8m%mJz~] 13 Runsheet 与Simulator 277 @_-,Q5 13.1 原理介绍 277 rM
A%By^L- 13.2 截止滤光片设计 277 *!&?Xy%\"j 14 光学常数提取 289 l9a81NF{s 14.1 介绍 289 |/n7(!7$[v 14.2 电介质薄膜 289 %,02i@Fc 14.3 n 和k 的提取工具 295 q6C`hVMl 14.4 基底的参数提取 302 NFEr ,n 14.5 金属的参数提取 306 n(eo_.W2| 14.6 不正确的模型 306 i({\fb|0 14.7 参考文献 311 @!!u>1 15 反演工程 313 b5^>QzgD 15.1 随机性和系统性 313 Er~KX3vF 15.2 常见的系统性问题 314 H8? Y{H 15.3 单层膜 314 uZrp ^ 15.4 多层膜 314 %~Rg`+ 15.5 含义 319 kG!hqj 15.6 反演工程实例 319 d!R+-Fp 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 sV{\IgH/x 15.6.2 反演工程提取折射率 327 +<F3}]] 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 i^.eX
VV/ 16.1 光学性质的热致偏移 329 a4~B 16.2 应力工具 335 y _"V=: 16.3 均匀性误差 339 M NwY
16.3.1 圆锥工具 339 [j'!+)>_ 16.3.2 波前问题 341
S 4
17.n 16.4 参考文献 343 $G"\@YC< 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 o(Z~J}l({ 17.1 引言 345 ij-'M{f 17.2 操作数 345 Fovah4q%V 18 如何在Function中编写脚本 351 Q`AlK"G, 18.1 简介 351 hwXsfh | 18.2 什么是脚本? 351 q&v~9~^}d 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 zM&ro,W 18.4 基础 352 ,IboPh&Q78 18.4.1 Classes(类别) 352 v8y Cf7+" 18.4.2 对象 352 -`\rDPGf 18.4.3 信息(Messages) 352 v(.mM9> 18.4.4 属性 352 Bt@?l]Y 18.4.5 方法 353 6&SNFOX{@ 18.4.6 变量声明 353 8HBwcXYoHh 18.5 创建对象 354 O5p$
A@ 18.5.1 创建对象函数 355 ~210O5^ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 @hg[v`~ 18.5.3 丢弃对象 356 L
QV@]z& 18.5.4 总结 356 h092S |iY 18.6 脚本中的表格 357 ]ASw%Lw) 18.6.1 方法1 357 ~"`e9Im 18.6.2 方法2 357 c{y'&3\
18.7 2D Plots in Scripts 358 zi6J|u 18.8 3D Plots in Scripts 359 v0 :n:q 18.9 注释 360 SEzjc ~@3 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 "*X\'LPs= 18.11 一个更高级的脚本 362 UG`~RO 18.12 <esc>键 364 *'8q?R?7g 18.13 包含文件 365 &57~i=A
3 18.14 脚本被优化调用 366 IW<rmP=R& 18.15 脚本中的对话框 368 \X*y~)+K` 18.15.1 介绍 368 }9\6!GY0 18.15.2 消息框-MsgBox 368 "M
iJM+, 18.15.3 输入框函数 370 w@,p` 18.15.4 自定义对话框 371 \D z? h 18.15.5 对话框编辑器 371 aanS^t0 18.15.6 控制对话框 377 QlMLWi 18.15.7 更高级的对话框 380 us|Hb 18.16 Types语句 384 sd%)g<t 18.17 打开文件 385 COHBjufmR 18.18 Bags 387 A8mc+ Bf( 18.13 进一步研究 388 >e6 OlIW 19 vStack 389 de W1>yh^_ 19.1 vStack基本原理 389 u,8)M'UU 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ;AOLbmb)H4 19.3 五棱镜 393 jnJ*e-AW 19.4 光束距离 396 >fP;H}S6 19.5 误差 399 +fboTsp% H 19.6 二向分色棱镜 399 |-S!)iG1V 19.7 偏振泄漏 404 v^o`+~i 19.8 波前误差—相位 405 fWEQ vQ 19.9 其它计算参数 405 `W)?d I?#M 20 报表生成器 406 FNLS=4 20.1 入门 406 l59\Lo: 20.2 指令(Instructions) 406 AeEdqX) 20.3 页面布局指令 406 (,o@/ -o 20.4 常见的参数图和三维图 407 JGvhw,g 20.5 表格中的常见参数 408 d]sqj\Q57 20.6 迭代指令 408 .gC.T`/m 20.7 报表模版 408 o[Qb/ 7 20.8 开始设计一个报表模版 409 #OM'2@ 21 一个新的project 413 Q+Q"J U 21.1 创建一个新Job 414 *\'t$se+ 21.2 默认设计 415 Rf`_q7fm 21.3 薄膜设计 416
$6UU58>n 21.4 误差的灵敏度计算 420 "!vY{9, 21.5 显色指数计算 422 +=9iq3<yfS 21.6 电场分布 424 Yu" Q 后记 426 Yn [
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