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_eE hIQ9 内容简介 O'OVj Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 aIA9rn 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ;ZSJ-r 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 QQB\$[M!Z KqE5{ q 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ,xJ1\_GI` 目录 ^zv,VD Preface 1 _Kw<4$0<p 内容简介 2 !='?+Ysxs 目录 i Rqk;!N 1 引言 1 %DKQ 2 光学薄膜基础 2 #:Tb(R 2.1 一般规则 2 '}Tf9L% 2.2 正交入射规则 3 *A>I)a<: 2.3 斜入射规则 6 =Z($n:m=* 2.4 精确计算 7 [KT'aGK$ 2.5 相干性 8 sI7<rI.t){ 2.6 参考文献 10 ]4$t'wI. 3 Essential Macleod的快速预览 10 %B,>6 `[ 4 Essential Macleod的特点 32 8w:A"" 4.1 容量和局限性 33 K_fQFuj+ 4.2 程序在哪里? 33 /hojm6MM 4.3 数据文件 35 *gJ:irah 4.4 设计规则 35 ~ PO)>; 4.5 材料数据库和资料库 37 U|Du9_0 4.5.1材料损失 38 rr@S|k:| 4.5.1材料数据库和导入材料 39 6zJ<27 4.5.2 材料库 41 sn4wd:b7% 4.5.3导出材料数据 43 u+&t"B 4.6 常用单位 43 OF4iGFw 4.7 插值和外推法 46 ?D6?W6@ 4.8 材料数据的平滑 50 sO5~!W>Z 4.9 更多光学常数模型 54 #`1@4,iC 4.10 文档的一般编辑规则 55 M[C9P.O%w 4.11 撤销和重做 56 sNet[y:O3 4.12 设计文档 57 3XCePA5z 4.10.1 公式 58 /!V)2j, 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 .+;;-]}) 4.10.3 沉积密度 59 v(=?ge YLo 4.10.4 平行和楔形介质 60 :r{;'[38 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 aCq ) hR 4.10.4 性能 61 yc#0c[ZQu 4.10.5 保存设计和性能 64 yBd#*3K1 4.10.6 默认设计 64 GE2^v_
4.11 图表 64 (iwZs:k- 4.11.1 合并曲线图 67 WSt&?+Y 4.11.2 自适应绘制 68 V<ZohB?y 4.11.3 动态绘图 68
q&j4PR{ 4.11.4 3D绘图 69 yo#aX^v~y 4.12 导入和导出 73 , ;'y <GA 4.12.1 剪贴板 73 Znv3h 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 )2Ru}
-H 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 .4jU G= 4.13 背景 77 69z,_p$@: 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 XM9}ax 4.15 生成Rugate 84 w:|BQ, 4.16 参考文献 91 J6WyFtlyLc 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 r#%e$
5.1 Jobs 92 p~n62( 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Kzj9!'0R 5.3 输入材料 94 z1-JoZ 5.4 设计数据文件夹 95 i'[o,dbE 5.5 默认设计 95 gPo3jw o$ 6 细化和合成 97 j9V*f
HK 6.1 优化介绍 97 R-L*N$@! 6.2 细化 (Refinement) 98 jkzC^aG 6.3 合成 (Synthesis) 100 8PR1RCJ 6.4 目标和评价函数 101 s+EJXoxw 6.4.1 目标输入 102 :`pgdn 6.4.2 目标 103 8lI'[Y?3. 6.4.3 特殊的评价函数 104 jD`p;#~8 6.5 层锁定和连接 104 "kS(b4^ 6.6 细化技术 104 $CgJ+ua\8 6.6.1 单纯形 105 {^Y0kvnd 6.6.1.1 单纯形参数 106 -f{NVX\<0 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 'aW}&!H M 6.6.2.1 Optimac参数 108 4axc05 6.6.3 模拟退火算法 109 h#Z5vH 6.6.3.1 模拟退火参数 109 q ,C)AZ 6.6.4 共轭梯度 111 P?.j
w I 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 *0*1.>Vg 6.6.5 拟牛顿法 112 )L,.KO 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 [m}58?0~x 6.6.6 针合成 113 c{qoASc? 6.6.6.1 针合成参数 114 Xy0KZ ! 6.6.7 差分进化 114 M%\=Fb 6.6.8非局部细化 115 /3(|P 6.6.8.1非局部细化参数 115 L\CufAN 6.7 我应该使用哪种技术? 116 K&\3j-8^ 6.7.1 细化 116 l]bCt b%_ 6.7.2 合成 117 D^G5$hi 6.8 参考文献 117 Y$@?Y/rhR 7 导纳图及其他工具 118 <9BM% 7.1 简介 118 @(~m. p| 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 &!adW@y 7.2.1 四分之一波长规则 119 0~)_/yx?S 7.2.2 导纳图 120 3U_,4qf 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 e5"?ol0 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 jkN-(v(T 7.5 斜入射导纳图 141 Ykt{]# 7.6 对称周期 141 Fz3QSr7FU 7.7 参考文献 142 YgeU>I|v 8 典型的镀膜实例 143 l'K3)yQEJ 8.1 单层抗反射薄膜 145 53i7:1[uV 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 N?RJuDW 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 T!iRg=<bz 8.4 W-膜层 148 |X'Pa9u 8.5 V-膜层 149 l6AG!8H 8.6 V-膜层高折射基底 150 !%1=|PX_ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Q9[$8 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 "G(^v?x:P 8.9 四层抗反射薄膜 153 7jf%-X 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 M_ GN3 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 2E*k@ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 m9&MTRD\ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Dd=iYMm7 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 aCwb[7N 8.15十五层宽带抗反射膜 159 kY$vPHZpN 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 q%RPAe 8.17 1/4波长堆栈 162 +1R
qo 8.18 陷波滤波器 163 {eQ')f 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 qMA K"%x 8.20 褶皱 165 }gfs 8.21 消偏振分光器1 169 B <CK~ybY 8.22 消偏振分光器2 171 ]Zj6W9]m 8.23 消偏振立体分光器 172 nVK`H@5fw 8.24 消偏振截止滤光片 173 z .xOT;t 8.25 立体偏振分束器1 174 =VctG>ct| 8.26 立方偏振分束器2 177 '(qVA>S 8.27 相位延迟器 178 q3~RK[OCq 8.28 红外截止器 179 knPo"GQW 8.29 21层长波带通滤波器 180 4;_<CB 8.30 49层长波带通滤波器 181 Hf
]w 8.31 55层短波带通滤波器 182 --32kuF&( 8.32 47 红外截止器 183 [xrM){ItW 8.33 宽带通滤波器 184 QIcg4\d%s 8.34 诱导透射滤波器 186 _kJ?mTk 8.35 诱导透射滤波器2 188 qXb{A*J 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ckZZ)lW`* 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 m V U(b, 8.35 增益平坦滤波器 193 ,J(+%#$UT 8.38 啁啾反射镜 1 196 dWCU Z,6} 8.39 啁啾反射镜2 198 I|{A&G}|q 8.40 啁啾反射镜3 199 h
/. ^iT 8.41 带保护层的铝膜层 200 p{sbf;-x} 8.42 增加铝反射率膜 201 9qqzCMrI0e 8.43 参考文献 202 7n_'2qY 9 多层膜 204 z ]d^%>Ef 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 @`hnp: 9.2 内部透过率 204 `2j \(N, 9.3 内部透射率数据 205 X5M{No>z 9.4 实例 206 pO;BX5(x 9.5 实例2 210
H/eyc` 9.6 圆锥和带宽计算 212 5T,In+~Kd 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 HifU65"8 10 光学薄膜的颜色 216 +&T;jad2 10.1 导言 216 1VH$l(7IQ 10.2 色彩 216 B;r o(R 10.3 主波长和纯度 220 T{L{<+9% 10.4 色相和纯度 221 K~?M?sa 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 gEE6O%]g 10.6 色差 226 lF=l|.c 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 8ol R#> 10.8 颜色渲染指数 234 +>F #{b 10.9 色差计算 235 6L2Si4OGjG 10.10 参考文献 236 I>]t% YKj 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 !Gphs`YI 11.1 短脉冲 238 !*U#,qY 11.2 群速度 239 49BLJ|:P? 11.3 群速度色散 241 Ix"hl0Kh 11.4 啁啾(chirped) 245 8@S5P$b}; 11.5 光学薄膜—相变 245 .Fz5K&E= 11.6 群延迟和延迟色散 246 4/Vy@h"A3 11.7 色度色散 246 w84
]s%y 11.8 色散补偿 249 A ko}v"d 11.9 空间光线偏移 256 T@GR Tg 11.10 参考文献 258 ,r,~1oV<" 12 公差与误差 260 R/yOy^< 12.1 蒙特卡罗模型 260 )<6zbG 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Qoj}]jve 12.2.1 误差工具 267 a-`OE" 12.2.2 灵敏度工具 271 `f@VX
:aL} 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Y'.WO[dgf 12.2.2.2 灵敏度分布 275
O$> <E8q 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 `%2e?"OOJ 12.3 参考文献 276 8\M%\]_ 13 Runsheet 与Simulator 277 wGqQR)a 13.1 原理介绍 277 >gt_C' 13.2 截止滤光片设计 277 >};6>)0 14 光学常数提取 289 U#B,Q6~ 14.1 介绍 289 I92c!`{ 14.2 电介质薄膜 289 ,sAN,?eG~ 14.3 n 和k 的提取工具 295 R|Oy/RGY$ 14.4 基底的参数提取 302 S;o U'KOY 14.5 金属的参数提取 306 %^L:K5V 14.6 不正确的模型 306 8Ee bWs*1 14.7 参考文献 311 0I.9m[<Fc 15 反演工程 313 a{lDHk`Wf 15.1 随机性和系统性 313 bb6
~H 15.2 常见的系统性问题 314 /S]W<8d 15.3 单层膜 314 ez2 gy" 15.4 多层膜 314 ,_66U;T 15.5 含义 319 :'OCQ.[{s 15.6 反演工程实例 319 BO5gwvyI 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 I5"ew=x# 15.6.2 反演工程提取折射率 327
c|N!ZYJI 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 iA~b[20& 16.1 光学性质的热致偏移 329 Dm@wTt8N( 16.2 应力工具 335 * &j)"hX 16.3 均匀性误差 339 ~&/|J)} 16.3.1 圆锥工具 339 3:$hC8 16.3.2 波前问题 341 qAH@)} 16.4 参考文献 343 4>4*4!KR} 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 8s4y7%,| 17.1 引言 345 Mk=;UBb$X 17.2 操作数 345 mm3goIi;Y 18 如何在Function中编写脚本 351 i^{.Q- 18.1 简介 351 1i}Rc: 18.2 什么是脚本? 351 _tfZg /+) 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 d[.kGytUt 18.4 基础 352 (}Ql#q
K 18.4.1 Classes(类别) 352 fhu-YYJt 18.4.2 对象 352 [aF?1KxNMt 18.4.3 信息(Messages) 352 8wz4KG3SK 18.4.4 属性 352 rK*s/mX < 18.4.5 方法 353
q+{-p?;; 18.4.6 变量声明 353 , #yE#8 18.5 创建对象 354 w5l:^^zF( 18.5.1 创建对象函数 355 2,nKbE9* 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ]McLace& 18.5.3 丢弃对象 356 "C$z) 18.5.4 总结 356 &XosDt 18.6 脚本中的表格 357 =2#a@D6Bl 18.6.1 方法1 357 O)MKEMuA 18.6.2 方法2 357 \?[#>L4 18.7 2D Plots in Scripts 358 _=Y]ZX`j 18.8 3D Plots in Scripts 359
6h
N~< 18.9 注释 360 $Yt29AQ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 #Zpp*S55 18.11 一个更高级的脚本 362 2}u hPW+ 18.12 <esc>键 364 zCD?5*7 18.13 包含文件 365 a z
7Vy- 18.14 脚本被优化调用 366 f>JuxX\G 18.15 脚本中的对话框 368 dtQ>4C"N 18.15.1 介绍 368 p.q:vI$J 18.15.2 消息框-MsgBox 368 V *=To 18.15.3 输入框函数 370 9<5SQ 18.15.4 自定义对话框 371 65VnH= 18.15.5 对话框编辑器 371 FxSBxz<N-A 18.15.6 控制对话框 377 eL9RrSXz 18.15.7 更高级的对话框 380 )2}{fFa% 18.16 Types语句 384 GzK{.xf 18.17 打开文件 385 o#{D;' 18.18 Bags 387 Wy%q9x]} 18.13 进一步研究 388 )t{oyBT 19 vStack 389 "G P!]3t 19.1 vStack基本原理 389 krZ J"` 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 p_Fc:%j> 19.3 五棱镜 393 $]4^ENkI 19.4 光束距离 396 1oaiA/bq 19.5 误差 399 vm)& |