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摘要 zF:
:?L~ ;wGoEN 衍射光学元件(DOEs)和微结构表面实现了各种各样的光学功能,如分束器,光束整形器和扩散器。由于衍射方法,这些元件通常比大多数折射元件更薄和更轻,同时为光学中的许多应用提供了独特和强大的选择。在这个用例中,我们演示了如何在VirtualLab Fusion中使用微结构和衍射光学元件(DOE)元件定义这样的元件。 "x1?T+j4 co^bS;r 在哪里可以找到元件 ^IQtXae6M 9w3KAca 衍射光学元件(DOE)和微结构元件可以在元件 >单一表面 &堆栈中找到。 ?D>%+rK8c 5Z;iK(>IX 这两个元件使用相同的内部求解器,只是为了便于识别和应用而有不同的名称。在这个用例中,我们将展示微结构元件,但一切都可以类似地应用到衍射光学元件(DOE)。 p1F{ v^
RE._Ov> 微结构元件的功能 \_io:{M Q|KD$2rB r+=%Ag 对于光通过期望的微结构的传播,微结构元件应用了一一个复数面响应,这意味着元件对所有场入射光的振幅和相位的响应函数。该响应函数既可以直接定义为传输函数,也可以通过应用薄元件近似TEA)对给定的高度剖面进行计算。 ":v^Y
9 B*Z}=$1j 基底界面 ^8.s"4{ F\u]X 在固体选项卡上,定义一般参数,比如特定表面后面的介质,也就是预期结构所在的地方。用户可以利用不同材料的扩展库来选择,或使用色散公式如赛米尔方程定义自己的材料。 %-?k [DL6 "2 \},o9 定义为复数表面响应 #~}4< 18 `d c&B 在通道操作员选项卡上,可以通过设置复数传输函数来定义所需DOE的复杂表面响应... E!A+J63zsw C6"{-{H 定义为堆栈——真实高度剖面 inHlL HIGTo\]Z g3|k- 微结构的方向 !w1acmo<_ FPb4VJ|xm 应用解算器 =W*Ro+wWb @[LM8 @: :>CD; 精度系数 /+wCx#! \h>6k Sq]VtQ( 添加背面 *j~ObE_y DX0#q # 由于微结构元件只定义了微结构所在的表面,因此为了在基板上配置元件,背面是必要的。这可以通过在元件 > 单一表面&薄膜下添加平面来实现,并配置适当的距离(基板厚度)和材料。 t5CJG '!ql =Q,D3F
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