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摘要 #}5uno M&M6;Ph XW92gI<O 4E}Yt$| 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 H3oFORh lPAQ3t!, 建模任务 w_V P
J Z0r'S]fe %iqD5x$OA vW@=<aS Z 微结构 <9b&<K: ;}p [{/jI\?v )0k53-h& )D%~`,#pQ 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: J]r^W)O cso8xq|b7 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 fI|$K)K .x&%HA 微结构组件的配置 K)iF>y|{*q _,*r_D61S &BSn? ;qV>L=a - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 *qpSXmOz - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 RPbZ(. - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 I5W~g.<6 - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 #4;wjcGWw tX~w{|k 总结-组件… EKN~H$. |k9
C/ =-Ck4e *T tO&^>&;5 X5w$4Kj&4l A]3k4DLYS 监测器平面上的衍射图案 cidP|ie^ iN.n8MN=I
{K!)Ss "9807OME 监测器平面上的衍射图案 Pc]HP 7-V/RChBm 5IpDeJ$ u$`a7Lp,n 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 Ew$C
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kX 高度缩放调制 NCD04U5y f?)-}\[IR{ .A|@?p[ YchH~m| 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 $Ygue5{c Qv ?"b '0,^6'VWOV %]7d`/ VirtualLab Fusion技术 BL4-7 A/?7w
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