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摘要 68R[Lc9q5
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3+"z 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 VN|P(S6 f;#hcRSH
建模任务 g+p?J.+
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 S/ ]2Qt#T hf>JW[>Xo 微结构 =dUeQ?>t=
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 FSd842O W"YFx*W 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： eiI}:5~
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#r qLuqw 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 dGf{d7 D
2# ND( 微结构组件的配置 `Q^G
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 tM <6c+ rq Dre`m - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 y[oc^Zuo - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 a,U[$c - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 L+7L0L bNU - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 )8p FPr
'@i/?rNi%N 总结-组件… eaCv8zdX
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 <Qu]m. z[ DX l3  xDG8C39qrs <43O,Kx'Su 监测器平面上的衍射图案 W2P(!q>r]
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 <0 g.< n, A^nB!veh 监测器平面上的衍射图案 eG* <=.E
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 $ OB 2ZS" s9+Rq*Qd 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 T'B4 3Q
2k b<;Eh`G 高度缩放调制 n4\UoKq
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 W6J%x[>Z "TE F 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 k8IhQ{@
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 g<U\7Vp\1 n'* 4zxAA VirtualLab Fusion技术 @
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