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摘要 Z;>~<#!4
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_23sIUN c3 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 "L8V!M_e Q|ik\
建模任务 |ni cvg@
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 +XpRkX&- ^mJvB[ u| 微结构 nZ bg
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 Vbj?:29A O]Kb~jkd 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： g$ 2M|Q
& )X<yd0 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 rmabm\QY
i;xg[e8. 微结构组件的配置 j}VOr >xz
D{loX6
 =d5!O~}r> & U=f,9H - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 +%<Jr<~W - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 'I<j`)4`d - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 pc. 0;g N - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 \
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4z*_,@OA 总结-组件… X*JD
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=#V11j O#EBR<CuK 监测器平面上的衍射图案 d#d~t[=
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 > Qtyw.n E, v1F! 监测器平面上的衍射图案 0* AlLwO
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 F0JFx$AoD E^Yby J=1 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 62 _$O"
B.G!7>= 高度缩放调制 eLTNnz
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 *Vc=]Z2G^ +| H'I j$ 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 < 5 PeI
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 p)jxqg /iN \)y#u1 VirtualLab Fusion技术 TkBBHg;
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