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摘要 q.Jsf+ <
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:Q_3hK y('k`>C 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 vXv;1T 5o)Y$>T0 建模任务 m$wlflt IP3E9z_L
^/@jwZ n~.*1. P 微结构 V'G Ju UZ2TqR
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xY<{qHcX }V]R+%:w@ 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: IiJZ5'{ 7Nzbz3 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 J00VTb` P7.' kX9 微结构组件的配置 ABh&X+YD #%lo;W~IY
x =q;O+7] ?r=jF)C<' - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 HKDID[d0 - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。
rl08R - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。
2]cRXJ7h - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 _S}A=hK' 4_/?:$KO 总结-组件… /Ncm^b4 c; 2#,m^
Wb}c=hZv zfA
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k,yZ[n|` 监测器平面上的衍射图案 eW J`$"z r!PpUwod
=O).Lx2J 0Hxmm@X2 监测器平面上的衍射图案 qOih`dla 7&qy5y-Ap
@Fp_^5 `-h8vj5uG 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 0'YG6(h c2t=_aAIPQ 高度缩放调制 pi<TFe@eG G s+3e8
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