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摘要 0F48T<i
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FTu6%~M/ 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 ?X
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建模任务 @nWhU H%
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 4)Jtc2z7Z\ au=A+ 微结构 H ){}28dX
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 ws/e~ T<c xE>jlr? 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： "Yp:{e
TA4>1 2C6 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 :zA/~/Wo
2uSXC*Phz 微结构组件的配置 qb$&BZj]|
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 L<D<3g|4 1`sLbPW - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 `GDWy^-Q+! - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 srbES6 - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 5S9i>B - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 ,|}}Ml
Aj {c s 总结-组件… KIRCye
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64  b#%$y s!IX3rz 监测器平面上的衍射图案 C (%b!Q,2
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 %~e+H| r5,V-5b 监测器平面上的衍射图案 qkbGM-H%U
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 ApD`i+ Y@ .IU\wN 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 AAXlBY6Y-
\V(w= 高度缩放调制 )5[OG7/g
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 BQ:hU F3 {{r. ?m#{ 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 " "@kBY1C
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 ;;|o+4Ob; RW`j^q,c3 VirtualLab Fusion技术 RVN;j4uMg
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