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摘要 \3:{LOr%* 1oW]O@R fvBC9^3 uxJiec`& 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 \ g[f4xAV xY}j8~k 建模任务 #pn AK 0@/E%T1c" o >4>7
N, +g/o\f 微结构 hG3$ ]i9 E,?aBRxy ;<)-*?m9 Gt%?[ ]3#
@t:> 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: Hr,gV2n 4y}a, 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 \,#4+&4b wm`"yNbD 微结构组件的配置 F1[[fH |/Q. "d ~4X!8b_ J2k'Ke97o - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 NeZYchR - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 }~,cCtg:o - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 $mg h.3z0 - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 z)y(31K<1 9d(v^T 总结-组件… p~;z"Z pC.P UlZ)|Ya<M /@}# KP= #K*q(ei,7h tfIBsw.
监测器平面上的衍射图案 6]A\8Ty | BWK"G 3A/MFQ#2 LO*a>9LI 监测器平面上的衍射图案 >oYwzK0& NbMH@6%E {"AYOc>2| Pw{{+PBu R 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 t4W0~7 bN%MT#X 高度缩放调制 Vx8.FNJh c)~|#v nE.s @!HMd{r 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 T<,tC" (&x\,19U$ zq>"a&Y, v"TH[}C9D VirtualLab Fusion技术 xH-k~# 6>7LFV1tvy K4L#%KUPW R.$Y1=U6
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