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摘要 s (K SN/ BO WOH 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 IdM~'
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 *% Fu/ Sy' ]fGvx 超构光栅结构和建模 Nv^b yWqu
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 ^qzH( ~g{M u- _1)' VirtualLab Fusion提供： w2 r Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; }'*6 A Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 }m'n1tm;
)*`h)`\y 光栅周围介质 RD46 @Q`
~Hu!iZ2]
 uaz!ze+ ',c~8U#q • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 ;s;3cC! • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 Bhv$
• 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 s <rV1D SZEi+CRs0 光栅堆栈内部材料 tbWf m5 $
]A x z}:
 hf^<lJh~= 78Du • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 :PtZKt; ~X • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 {}$Zff • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。  yIrJaS- Fs]. Fa 柱子的分布 AYgXqmH~+ \+l*ZNYM3  ?3p7MjvZ • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 wapSpSt • 有几种方法可以做到这一点: ' 3Lu_]I- • 逐个柱子，手动; 3+15
yEeA • 一次性定义在等距网格; Ml7
(< J • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 u8]FJQ*\6+ • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 *8WB($T} ,wwO0,"y7 数值参数设置 %IX)+
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'*`#xNu[
 xC,x_:R` @p hVfP"M • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 'gvR?[!t • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 e=WjFnK[x7 • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 z
-!w/Bv@ -cM1]soT 例1:一维Blazed 超构光栅 0z8?6~M;< B*,)@ h 材料和介质的配置 \gk.[={^P
l2qvYNMw
 PDuc;RG see the full Application Use Case }) H d]a
nUOi~cs 柱子几何及分布 :-B+W9'5 {]< G =]'  EUi 70h + RqtBz3v 空间频率数 I I+y `o JQA$UD  n7cy[ %yT x}yl Rg`[ :<t=??4m 例2:二维光束分离超构光栅 f9W:-00QD XP:A"WK" 材料和介质的配置 #*'Qm
A T& ?g)
 IT1YF.i AJ bCC 柱子几何及分布 sD:o
2(G* x# J9 GP.  ]>t~Bcn m
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