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摘要 %m\G'hY2 %<*pM@ 2d J)4 )*<d1$aM 双螺旋(DH) PSF工程在纵向上为三维成像提供了高分辨率,它可以通过在光瞳平面上增加一个带有漩涡的相位掩膜来产生[Ginni Grover等,Opt. Exp. 2012]。VirtualLab Fusion提供了一种快速方便的方法来计算高NA显微镜系统小离焦的DH PSFs。这个用例说明了DH-PSFs在离焦约130nm时有明显的变化。 lG^nT snzH}$Ls 建模任务 AeQ&V d| N*)8L[7_; =d4',[O ~Wd8>a{w 在VirtualLab Fusion中构建系统 5}^08Xl !";$Zu 系统构建块 ?;7>`F6ld cw-JGqLx iW%0pLn 73Zs/ 元件解算器 6!PX!
UkF v@1Jhns ^|12~d_.T 4)Wzj4qW 利用光线追迹进行几何光学仿真 8[P6c;\ zSufU2 结果:几何光线追迹 <y/AEY1 E0%Y%PQ**{ -hV KPIb ^9~%=k= 利用场追迹进行物理光学仿真 gK_[3FiKt Gkvd{G?F 不同离焦像面的双螺旋PSF 6#63D>OWp 3T^dgWXEG >!.lr9(l "JGig!9
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