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摘要 _hLM\L |^@TA=_ 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 Kc\0-3 Z $y> J=
TO)wjF_ e:.Xs 设计任务 ^fb4g+Au }qXi;u)) 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 4//Ww6W: 0:nQGX!N
M ~!*PCd5 ]0dp^% 光栅级次分析模块设置 }EOn=* 4Kt?; y
; !=0N38wA 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 -]PW\}w1 G0//P
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3!CI=(^IY Q_1EAxt }` 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 t/S~CIA 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 \aT._'=M+ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 12E@9s$Z 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 ^ tm,gh P[ KJuc
Mp$ uEi 衍射分束器表面 JT<Ia *RM#F!A
m(Bv}9 wEzLfZ Oz/ 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 ZT_ EpT=1 x_(B7ob
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mKnkHGM S`X;2\: 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) F/RV{} 17E h.~S^uKi*
JYKA@sZHe (g~&$&pa 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 Pd^ilRB 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 Gz~P
0Z^w} 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 )X| uOg&| HPwmi[
jPA?0h eB!0:nHN 光栅级次和可编程光栅分析仪 =`vUWONn 8<?60sj
&&(sZGw 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 31YzTbl[H 2lHJ&fck< N9:xtrJ]_J 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 tq>QZEg }L@!TWR-Qu -jFt4Q7}8 设计与评估结果 #xE"]; 相位功能设计 [al$7R& 结构设计 b^5rV5d TEA评价 tX Z5oG7 FMM评估 P",~8Aci( 高度标度(公差) .wS' Xn& 81H04L9K 7 通用设置 *]O[ZjyOY .#J'+LxFr Eh0R0;l5> 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 i+T$&$b 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 (K>5DU {o5E#<) oXV 纯相位传输设计 n>Q/XQXB AVi
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/{1Q* fkyj&M/ 结构设计 O^4:4tRpt f(7/
)iluu1,o p?=rQte([ `gD'q5.z;3 更深的分析 4wMKl6mL •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 Qy5\qW' •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 (?I8/KYR •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 :kflq {Qg"1+hhM
&T}~h^/t 7oh6G 使用TEA进行性能评估 "f(iQI \qi=Us|=
>j_,3{eJ *ukugg. 使用FMM进行性能评估 ]f-< s,@ r2qxi'
Mfuw y Bj;Fy9[yb 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 `8KWZi4
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+JB. EW/ QOcB ]G 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 'kL>F&| `\(Fax
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$F`jM/B6 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 P+wV.pF| ~aNK)<Fznd
$j)Er.!9|R +kd88Fx VirtualLab Fusion技术 |/Am\tk#13 |Xlc2?e
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