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    [技术]具有变化周期的亚波长光栅成像 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-07-26
    摘要 LGb.>O^  
    wg?:jK  
    当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 7 R1;'/;  
    x)@G+I \u  
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    oL'  :07_  
    1. 建模任务 = Mc]FCV  
    TI -#\v9  
    G6X  
    g+ `Ie'o<  
    2. 结果 a.F6!?  
    7QiJ1P.z  
    1KxtHLLU  
    6"Tr$E  
    Q"]C" ?  
    @:DS/#!  
     
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