切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 先进光刻机曝光系统光学设计 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 925阅读
    • 0回复

    [技术]具有变化周期的亚波长光栅成像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7377
    光币
    31026
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-07-26
    摘要 t/LQ|/xo  
    N^pTj<M<g  
    当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 jt?4raNW  
    "qjkw f)\  
     `@q[&^  
    Ikql  
    1. 建模任务 X:bv ?o>Y  
    i,1=5@rw5  
     J^8(h R  
     <|[G=GA\S!  
    2. 结果 56t9h/y  
    AM  cHR=/  
    "{1`~pDj?  
    _^;+_6&[  
     +?Vj}p;  
    u :AKp<'  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表