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摘要 @\0Eu212 *"D3E7AO 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 eln&]d; t"k*PA
0o+6Q8q 0}$Hi 1. 建模任务 ?%`@ub$ F_;vO%}
nyBJb(5"B J13>i7]L% 2. 结果 L%Ow#.[C2 c%&:6QniZ
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